第四章4新一代制造技术精密与超精密加工技术.pptx

1主要内容主要内容n精密与超精密加工概念精密与超精密加工概念n精密、超精密加工精密、超精密加工设备n加工工具和被加工材料加工工具和被加工材料n主要加工方法主要加工方法n精密、超精密加工精密、超精密加工环境境n超精密加工超精密加工发展展趋势21.概念概念n按加工精度，可将机械加工分按加工精度，可将机械加工分为一般加工、精密加工、一般加工、精密加工、超精密加工。超精密加工。n精密加工：精密加工：加工精度（包括尺寸精度和形位精度）在加工精度（包括尺寸精度和形位精度）在0.11m，表面粗糙度，表面粗糙度Ra小于小于0.1m的加工技的加工技术；n超精密加工超精密加工：加工精度小于：加工精度小于0.1m，表面粗糙度，表面粗糙度Ra小于小于0.025m，以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高，以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于于0.01m的加工技的加工技术，亦称之，亦称之为亚微米微米级加工技加工技术，且，且正在向正在向纳米米级加工技加工技术发展。展。3超精密加工是以高精度超精密加工是以高精度为目目标的技的技术，必，必须综合合应用各种新用各种新技技术、且在各方面要求精益求精。、且在各方面要求精益求精。实现超精加工的主要超精加工的主要条件包括以下各方面高新技条件包括以下各方面高新技术：n（1）超精密加工机床与装、）超精密加工机床与装、夹具；具；n（2）超精密切削刀具、刀具材料、刀具刃磨技）超精密切削刀具、刀具材料、刀具刃磨技术；n（3）超精密加工工）超精密加工工艺；n（4）超精密加工）超精密加工环境控制（包括恒温、隔振、境控制（包括恒温、隔振、洁净控制控制等）等）n（5）超精密加工的）超精密加工的测控技控技术。42.超精密加工的超精密加工的发展、展、应用用n超精密加工技超精密加工技术是在是在20世世纪50年代初美国用年代初美国用单刃金刃金刚石石车刀刀镜面切削面切削铝合金和无氧合金和无氧铜开始的。开始的。n1977年日本精机学会精密机床研究委年日本精机学会精密机床研究委员会根据当会根据当时技技术发展的展的要求，要求，对机床的加工精度机床的加工精度标准提出准提出补充充IT1和和IT2两个等两个等级（见下表），比原来最高精度等下表），比原来最高精度等级IT0提高了很多。提高了很多。精度等级精度等级/mIT2IT1IT0IT-1IT-2零零件件尺寸精度尺寸精度2.51.250.750.30.25圆度圆度0.70.30.20.120.06圆柱度圆柱度1.250.630.380.250.13平面度平面度1.250.630.380.250.13表面粗糙度表面粗糙度0.20.070.050.030.01机机床床主轴跳动主轴跳动0.70.30.20.120.06运动直线度运动直线度1.250.630.380.250.135n近年来，超精密加工精度从近年来，超精密加工精度从0.1m提高到提高到0.01m。随。随着大着大规模集成模集成电路的路的发展及微机械的要求，人展及微机械的要求，人们期望达期望达到甚至突破到甚至突破0.01m的加工精度，使超精密加工技的加工精度，使超精密加工技术从从亚微米微米级向向纳米米级发展。展。n1980年，美国国防部空年，美国国防部空军兵器研究所和兵器研究所和LLNL实验室提室提出了出了POMA精度提高精度提高计划：将直径划：将直径800mm的大型非球面的大型非球面反射反射镜的形状精度由的形状精度由1.5m提高到提高到0.1m数量数量级以上。以上。n当前已当前已经有了有了纳米米级加工加工记录，但，但还只是一种只是一种实验阶段段的的实验数据，用机械去除法加工数据，用机械去除法加工还不能超越不能超越0.01m的界的界限。限。6n近年来，超精密加工技近年来，超精密加工技术的的应用呈每年翻一番的增用呈每年翻一番的增长率，率，这标志着精志着精密、超精密加工技密、超精密加工技术已成已成为一个国家制造技一个国家制造技术水平的主体。水平的主体。图1为精密精密与超精密加工的与超精密加工的应用。用。图173.超精密加工方法机理超精密加工方法机理n根据加工方法的机理和特点，超精密加工方法可分根据加工方法的机理和特点，超精密加工方法可分为去去除加工、除加工、结合加工和合加工和变形加工三大形加工三大类。图2 超精密加工方法、机理84 精密、超精密加工精密、超精密加工设备n加工机床是加工机床是实现精密、超精密加工的首要条件。精密、超精密加工的首要条件。要要实现超微量切削，必超微量切削，必须配有微量移配有微量移动工作台的工作台的微微进给驱动装置和装置和满足刀具角度微足刀具角度微调的微量的微量进给机构，并能机构，并能实现数字控制。数字控制。n（1）主）主轴及其及其驱动装置：主装置：主轴是超精密机床的是超精密机床的圆度基准，要求极高的回度基准，要求极高的回转精度，范精度，范围为0.020.1m；还要有相要有相应的的刚度以抵抗受力度以抵抗受力变形。主形。主轴广泛广泛采用空气静采用空气静压轴承，主承，主轴驱动采用皮采用皮带卸卸载驱动和磁性和磁性联轴节驱动的系的系统。9n（2）导轨及其及其驱动装置：装置：导轨是超精密机床的直是超精密机床的直线性性基准，精度要求达到基准，精度要求达到0.020.2m。有滑。有滑动导轨、滚动导轨、液体静、液体静压导轨、空气静、空气静压导轨，用的最多的是液，用的最多的是液体静体静压导轨、空气静、空气静压导轨。利用静。利用静压支撑的摩擦支撑的摩擦驱动。n（3）微量）微量进给装置：用于刀具微量装置：用于刀具微量调整，保整，保证零件尺寸零件尺寸精度。有机械式、精度。有机械式、弹性性变形式、形式、热变形式、形式、电致伸致伸缩式、式、微致伸微致伸缩、流体膜、流体膜变形微量形微量进给装置。装置。105 加工工具和被加工材料加工工具和被加工材料n加工工具主要是刀具、磨具及其刃磨、修整装置：加工工具主要是刀具、磨具及其刃磨、修整装置：n（1）切削加工：）切削加工：n刀具材料：金刀具材料：金刚石、立方氮化硼、陶瓷等石、立方氮化硼、陶瓷等n（2）磨削加工：）磨削加工：n主要磨具：金主要磨具：金刚石、立方氮化硼（石、立方氮化硼（CBN）等粉末砂）等粉末砂轮n其修整比其修整比较困困难n（3）研磨和抛光：）研磨和抛光：n为获得高精度和低表面粗糙度，采用得高精度和低表面粗糙度，采用铸铁、聚、聚酯、呢毡、呢毡等材料作等材料作为研具或抛光器，采用金研具或抛光器，采用金刚石、石、CBN、铬刚玉、玉、氧化氧化铝等磨料。等磨料。11n被加工材料被加工材料n工件材料的化学成分、物理性能、熔工件材料的化学成分、物理性能、熔炼、塑性加工、塑性加工、热处理等工理等工艺都有都有严格要求；格要求；n金属材料各金属元素必金属材料各金属元素必须混合均匀，通混合均匀，通过正确的正确的热处理控制晶粒理控制晶粒细化；化；n材料必材料必须无气泡，加工后残余无气泡，加工后残余应力小，能力小，能长期保持尺期保持尺寸精度寸精度稳定性。定性。126.超精密加工的主要加工方法超精密加工的主要加工方法要求如下：要求如下：n（1）高精度）高精度：包括高的静精度和：包括高的静精度和动精度，主要性能指精度，主要性能指标有几何精度、定位精度和重复定位精度、分辨率等。有几何精度、定位精度和重复定位精度、分辨率等。n（2）高）高刚度度：包括高的静：包括高的静刚度和度和动刚度，除本身度，除本身刚度外，度外，还应注意接触注意接触刚度，同度，同时应考考虑工件、工件、车床、刀具、床、刀具、夹具具所所组成的工成的工艺系系统刚度。度。n（3）高）高稳定性定性：机床在使用：机床在使用过程中程中应能能长时间保持精度、保持精度、抗干抗干扰、稳定工作，定工作，应具有良好的耐磨性、抗振性等。具有良好的耐磨性、抗振性等。n（4）高自）高自动化化：为保保证加工加工质量，减小人量，减小人为因素影响，因素影响，加工加工设备多用数控系多用数控系统实现自自动化。化。13超精密切削超精密切削n主要借助于主要借助于锋利的金利的金刚石刀具石刀具对工件工件进行行车削和削和铣削，用于加工要求高表面削，用于加工要求高表面质量和高形状精度的量和高形状精度的有色金属和非金属零件。有色金属和非金属零件。n超精密超精密车削可达削可达Ra0.05m粗糙度和粗糙度和0.1m非球面非球面形状精度。形状精度。14n镜面加工大直径面加工大直径光学光学镜头；n双立柱立式双立柱立式车床床结构；构；n六角刀六角刀盘驱动；n分辨力：分辨力：0.7nm；n定位定位误差：差：0.0025m;n低低热膨膨胀材料材料组合技合技术，恒温液，恒温液体冷却，液体温体冷却，液体温度控制在度控制在200.0005美国美国Lawrence Livemore 实验室和美国空实验室和美国空军合作研制出的大型光学金刚石超精密车床军合作研制出的大型光学金刚石超精密车床15n美国、日本、英国等国家很重美国、日本、英国等国家很重视新型超精密加工机床的研究，新型超精密加工机床的研究，下下图为日本一台比日本一台比较理想的盒式超精密立式理想的盒式超精密立式车床。床。图316超精密磨削超精密磨削n在一般精密磨削基在一般精密磨削基础发展而来；展而来；n提供提供镜面面级的表面粗糙度，保的表面粗糙度，保证精确的几何形状精确的几何形状和尺寸。和尺寸。n加工加工对象：玻璃、陶瓷等脆硬材料。象：玻璃、陶瓷等脆硬材料。n砂砂轮修整技修整技术非常关非常关键，砂，砂轮表面容易被切屑堵表面容易被切屑堵塞。塞。n加工精度：加工精度：0.01m圆度、度、0.1m尺寸精度、尺寸精度、Ra0.005m表面粗糙度的表面粗糙度的圆柱形零件。柱形零件。n图例：英国四面体超精密磨床例：英国四面体超精密磨床1718超精密研磨、抛光超精密研磨、抛光n研磨、抛光均是利用研磨研磨、抛光均是利用研磨剂使工件和研具之使工件和研具之间通通过复复杂的的轨迹而迹而获得高得高质量、高精度的加工方法。量、高精度的加工方法。n超精密研磨加工方法包括：机械研磨、化学机械研超精密研磨加工方法包括：机械研磨、化学机械研磨、浮磨、浮动研磨、研磨、弹性性发射加工、磁力研磨。射加工、磁力研磨。n球面度：球面度：0.025m；Ra0.003m，弹性性发射加工射加工可达可达Ra0.5nm。1920n机械零件外机械零件外圆超精研机超精研机n3MZ系列超精研机以无心系列超精研机以无心贯穿方穿方式式对轴承套圈、承套圈、圆柱柱滚子、子、圆锥滚子、子、滚针、油、油针、柱塞、柱塞、阀芯芯等外表面等外表面进行超精加工。行超精加工。n本本设备可在磨削的基可在磨削的基础上上显著改著改善表面善表面质量，提高几何精度，具量，提高几何精度，具有高效率、高精度、高可靠性等有高效率、高精度、高可靠性等特点，广泛特点，广泛应用于用于轴承、汽承、汽车、摩托摩托车、油、油泵油嘴、液油嘴、液压件等行件等行业，尤其适用于，尤其适用于圆柱和柱和圆锥滚子子的凸度超精，通的凸度超精，通过导辊的特的特别设计与加工，可与加工，可获得得对数型、数型、圆弧弧全凸型等多种全凸型等多种滚子凸度形式。子凸度形式。21型号型号3MZ62303MZ62053MZ61303MZ6312加工对象加工对象圆柱凸度滚子圆柱凸度滚子滚针凸度滚针凸度圆锥滚子凸度圆锥滚子凸度外圆外圆加工范围（加工范围（mm）6352.55630 6120圆度改善率（圆度改善率（%）30%粗糙度（粗糙度（Ra/m）0.080.04,超前为超前为0.20.1凸度量（凸度量（m）20315直素线振荡频率振荡频率（r/min）2000（无极（无极调调速）速）振荡幅度（振荡幅度（mm）04（无极调速）（无极调速）导辊转速导辊转速（r/min）250（无极（无极调调速）速）气动系统最大压力气动系统最大压力（Mpa）0.6外形尺寸（外形尺寸（mm）186018001760净重（净重（Kg）320022n无无锡华康机床厂康机床厂 237 加工加工环境境n要求恒温、恒湿、要求恒温、恒湿、洁净、隔、隔绝振振动n（1）洁净度：在高度：在高洁净室内室内进行加工，无灰行加工，无灰尘。通常要。通常要求求洁净度度为100级（每立方英尺空气内大于（每立方英尺空气内大于0.5m的灰的灰尘粒不超粒不超过100个）以上的个）以上的洁净室。室。n（2）温度：）温度：环境温度控制在境温度控制在200.06之之间。n（3）湿度：在）湿度：在4050RH之之间。低于。低于40，会，会产生生静静电，高于，高于50会生会生锈。n（4）气流和）气流和压力：室内气流以均匀速度向同一个方向流力：室内气流以均匀速度向同一个方向流动；室内；室内压力高于室外，保持正力高于室外，保持正压。n（5）振）振动：带防振沟的隔振地基；把机床放在地下室；防振沟的隔振地基；把机床放在地下室；使用隔振气使用隔振气垫。248 发展展趋势n不断探索新型超精密加工方法的机理。不断探索新型超精密加工方法的机理。n向高精度、高效率方向向高精度、高效率方向发展。展。n研究开研究开发加工、加工、测量一体化技量一体化技术。n在在线测量与量与误差差补偿。n新材料研制。新材料研制。n向大型化、微型化方向向大型化、微型化方向发展，分展，分别满足航天、足航天、MEMS需要需要25超高速加工技超高速加工技术n超高速加工技超高速加工技术是指采用超硬材料的刃具，通是指采用超硬材料的刃具，通过极大地提高切削速度和极大地提高切削速度和进给速度来提高材料切除速度来提高材料切除率、加工精度和加工率、加工精度和加工质量的量的现代加工技代加工技术。n 超高速加工的切削速度范超高速加工的切削速度范围因不同的工件材料、因不同的工件材料、不同的切削方式而异。目前，一般不同的切削方式而异。目前，一般认为，超高速，超高速切削各种材料的切速范切削各种材料的切速范围为：n铝合金已超合金已超过1600m/min，n铸铁为1500m/min，n超耐超耐热镍合金达合金达300m/min，n钛合金达合金达1501000m/min，n纤维增增强塑料塑料为20009000m/min。一、技术概述一、技术概述 26n各种切削工各种切削工艺的切速范的切速范围为：n车削削7007000m/min，n铣削削3006000m/min，n钻削削2001100m/min，n磨削磨削250m/s以上等等。以上等等。n超高速加工技超高速加工技术主要包括：超高速切削与磨削机主要包括：超高速切削与磨削机理研究，超高速主理研究，超高速主轴单元制造技元制造技术，超高速，超高速进给单元制造技元制造技术，超高速加工用刀具与磨具制造技，超高速加工用刀具与磨具制造技术，超高速加工在，超高速加工在线自自动检测与控制技与控制技术等。等。27n 工工业发达国家达国家对超高速加工的研究起步早，水平超高速加工的研究起步早，水平高。在此高。在此项技技术中，中，处于于领先地位的国家主要有先地位的国家主要有德国、日本、美国、意大利等。德国、日本、美国、意大利等。n在超高速加工技在超高速加工技术中，超硬材料工具是中，超硬材料工具是实现超高超高速加工的前提和先决条件，超高速切削磨削技速加工的前提和先决条件，超高速切削磨削技术是是现代超高速加工的工代超高速加工的工艺方法，而高速数控机床方法，而高速数控机床和加工中心和加工中心则是是实现超高速加工的关超高速加工的关键设备。n目前，刀具材料已从碳素目前，刀具材料已从碳素钢和合金工具和合金工具钢，经高高速速钢、硬、硬质合金合金钢、陶瓷材料，、陶瓷材料，发展到人造金展到人造金刚石及聚晶金石及聚晶金刚石（石（PCD）、立方氮化硼及聚晶立）、立方氮化硼及聚晶立方氮化硼（方氮化硼（CBN）。）。二二 现状及国内外发展趋势现状及国内外发展趋势 28n切削速度亦随着刀具材料切削速度亦随着刀具材料创新而从以前的新而从以前的12m/min提高到提高到1200m/min以上。以上。n砂砂轮材料材料过去主要是采用去主要是采用刚玉系、碳化硅系等，玉系、碳化硅系等，美国美国GE公司公司50年代首先在金年代首先在金刚石人工合成方石人工合成方面取得成功，面取得成功，60年代又首先研制成功年代又首先研制成功CBN。n90年代陶瓷或年代陶瓷或树脂脂结合合剂CBN砂砂轮、金、金刚石砂石砂轮线速度可达速度可达125m/s，有的可达，有的可达150m/s，而，而单层电镀CBN砂砂轮可达可达250m/s。n因此有人因此有人认为，随着新刀具（磨具）材料的不断，随着新刀具（磨具）材料的不断发展，每隔十年切削速度要提高一倍，展，每隔十年切削速度要提高一倍，亚音速乃音速乃至超声速加工的出至超声速加工的出现不会太遥不会太遥远了。了。29n在超高速切削技在超高速切削技术方面，方面，1976年美国的年美国的Vought公司研制了一台超高速公司研制了一台超高速铣床床，最高，最高转速达到了速达到了20000rpm。n特特别引人注目的是，引人注目的是，联邦德国邦德国Darmstadt工工业大大学生学生产工程与机床研究所（工程与机床研究所（PTW）从）从1978年开年开始系始系统地地进行超高速切削机理研究，行超高速切削机理研究，对各种金属各种金属和非金属材料和非金属材料进行高速切削行高速切削试验，联邦德国邦德国组织了几十家企了几十家企业并提供了并提供了2000多万多万马克支持克支持该项研究工作，自八十年代中后期以来，商品化的超研究工作，自八十年代中后期以来，商品化的超高速切削机床不断出高速切削机床不断出现，超高速机床从，超高速机床从单一的超一的超高速高速铣床床发展成展成为超高速超高速车铣床床、钻铣床床乃至各乃至各种高速加工中心等。种高速加工中心等。30n瑞士、英国、日本也相瑞士、英国、日本也相继推出自己的超高速机床。推出自己的超高速机床。日本日立精机的日本日立精机的HG400III型加工中心主型加工中心主轴最高最高转速达速达3600040000r/min，工作台快速移，工作台快速移动速度速度为3640m/min。采用直。采用直线电机的美国机的美国Ingersoll公司的公司的HVM800型高速加工中心型高速加工中心进给移移动速度速度为60m/min。31n 在高速和超高速磨削技在高速和超高速磨削技术方面，人方面，人们开开发了高速、超高了高速、超高速磨削、深切速磨削、深切缓进给磨削、深切快磨削、深切快进给磨削（即磨削（即HEDG）、多片砂）、多片砂轮和多砂和多砂轮架磨削等架磨削等许多高速高效率多高速高效率磨削，磨削，这些高速高效率磨削技些高速高效率磨削技术在近在近20年来得到年来得到长足的足的发展及展及应用。用。n德国德国Guehring Automation公司公司1983年制造出了当年制造出了当时世界第一台最具威力的世界第一台最具威力的60kw强力力CBN砂砂轮磨床，磨床，Vs达达到到140160m/s。n德国阿享工德国阿享工业大学、大学、Bremen大学在高效深磨的研究方大学在高效深磨的研究方面取得了世界公面取得了世界公认的高水平成果，并的高水平成果，并积极在极在铝合金、合金、钛合金、因康合金、因康镍合金等合金等难加工材料方面加工材料方面进行高效深磨的研行高效深磨的研究。究。32n德国德国Bosch公司公司应用用CBN砂砂轮高速磨削加工高速磨削加工齿轮齿形，采用形，采用电镀CBN砂砂轮超高速磨削代替原超高速磨削代替原须经滚齿及剃及剃齿加工的工加工的工艺，加工，加工16MnCr5材料的材料的齿轮齿形，形，Vs155m/s，其，其Q达到达到811mm3/mm.sn德国德国Kapp公司公司应用高速深磨加工用高速深磨加工泵类零件深槽，零件深槽，工件材料工件材料为100Cr6轴承承钢，采用，采用电镀CBN砂砂轮，Vs达到达到300m/s，其，其Q140mm3/mm.s，磨，磨削加工中，可将淬火后的叶片削加工中，可将淬火后的叶片泵转子子10个一次装个一次装夹，一次磨出，一次磨出转子槽，磨削子槽，磨削时工件工件进给速度速度为1.2m/min，平均每个，平均每个转子加工工子加工工时只需只需10秒秒钟，槽槽宽精度可保精度可保证在在2m，一个砂，一个砂轮可加工可加工1300个工件。个工件。33n目前日本工目前日本工业实用磨削速度已达用磨削速度已达200m/s，美国，美国Conneticut大学磨削研究中心，大学磨削研究中心，1996年其无心年其无心外外圆高速磨床上，最高砂高速磨床上，最高砂轮磨削速度达磨削速度达250m/s。n近年来，我国在高速超高速加工的各关近年来，我国在高速超高速加工的各关键领域如域如大功率高速主大功率高速主轴单元、高加减速直元、高加减速直线进给电机、机、陶瓷陶瓷滚动轴承等方面也承等方面也进行了行了较多的研究，但多的研究，但总体水平同国外尚有体水平同国外尚有较大差距，必大差距，必须急起直追。急起直追。34三、三、“十五十五”目目标及主要研究内容及主要研究内容 n 1目目标 超高速加工到超高速加工到2005年基本年基本实现工工业应用，主用，主轴最高最高转速达速达15000r/min，进给速度达速度达4060m/min，砂，砂轮磨削速度达磨削速度达100150m/s；超精密加工基本；超精密加工基本实现亚微米微米级加工，加加工，加强纳米米级加工技加工技术应用研究，达到国用研究，达到国际九十年代初期水平。九十年代初期水平。35n 2主要研究内容主要研究内容 （1）超高速切削、磨削机理研究。）超高速切削、磨削机理研究。对超高速切削和磨削加超高速切削和磨削加工工过程、各种切削磨削程、各种切削磨削现象、各种被加工材料和各种刀具磨象、各种被加工材料和各种刀具磨具材料的超高速切削磨削性能以及超高速切削磨削的工具材料的超高速切削磨削性能以及超高速切削磨削的工艺参参数数优化等化等进行系行系统研究。研究。（2）超高速主）超高速主轴单元制造技元制造技术研究。主研究。主轴材料、材料、结构、构、轴承的研究与开承的研究与开发；主；主轴系系统动态特性及特性及热态性研究；柔性主性研究；柔性主轴及其及其轴承的承的弹性支承技性支承技术研究；主研究；主轴系系统的的润滑与冷却技滑与冷却技术研究；主研究；主轴的多目的多目标优化化设计技技术、虚、虚拟设计技技术研究；研究；主主轴换刀技刀技术研究。研究。36n（3）超高速）超高速进给单元制造技元制造技术研究。高速位置研究。高速位置芯片芯片环的研制；精密交流伺服系的研制；精密交流伺服系统及及电机的研究；机的研究；系系统惯量与伺服量与伺服电机参数匹配关系的研究；机械机参数匹配关系的研究；机械传动链静、静、动刚度研究；加减速控制技度研究；加减速控制技术研究；研究；精密精密滚珠珠丝杠副及大杠副及大导程程丝杠副的研制等。杠副的研制等。（4）超高速加工用刀具磨具及材料研究。研究）超高速加工用刀具磨具及材料研究。研究开开发各种超高速加工（包括各种超高速加工（包括难加工材料）用刀具加工材料）用刀具磨具材料及制磨具材料及制备技技术，使刀具的切削速度达到国，使刀具的切削速度达到国外工外工业发达国家达国家90年代末的水平，磨具的磨削速年代末的水平，磨具的磨削速度达到度达到150m/s以上。以上。37n（5）超高速加工）超高速加工测试技技术研究。研究。对超高速加工超高速加工机床主机床主轴单元、元、进给单元系元系统和机床支承及和机床支承及辅助助单元系元系统等功能部位和等功能部位和驱动控制系控制系统的的监控技控技术，对超高速加工用刀具磨具的磨超高速加工用刀具磨具的磨损和破和破损、磨具的、磨具的修整等状修整等状态以及超高速加工以及超高速加工过程中工件加工精度、程中工件加工精度、加工表面加工表面质量等在量等在线监控技控技术进行研究。行研究。38讨论39The End of Chapter IV