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位移传感器位移传感器位移传感器位移传感器n n位移测量包含：偏心、间隙、位置、倾斜、弯曲、变形、移动、圆度、冲击、偏心率、冲程、宽度等等。来自不同应用领域的许多量都可归结为位移或间隙变化。n n位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型和结构型两种。机械位移传感器分类机械位移传感器分类电位器式位移传感器电位器式位移传感器n n电位器式位移传感器它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。n n电位器转轴上的电刷将电阻体电阻R0分为R12和R23两部分，输出电压为U12。n n改变电刷的接触位置，电阻R12亦随之改变，输出电压U12也随之变化。n n通过测量输出电压或者将其进行转换就可以得到位移参数n n常见用于传感器的电位器有：n n 线绕式电位器、合成膜电位器、金属膜电位器、导电塑料电位器、导电玻璃釉电位器、光电电位器。金属膜电位器金属膜电位器n n金属膜电位器由合金、金属膜电位器由合金、金属或金属氧化物等材料通过真空溅射或金属或金属氧化物等材料通过真空溅射或电镀方法，电镀方法，在瓷基体上沉积一层薄膜而制成。在瓷基体上沉积一层薄膜而制成。金属膜电位器具有无金属膜电位器具有无限分辨力，限分辨力，接触电阻很小，接触电阻很小，耐热性好，耐热性好，满负荷达满负荷达7070。与线绕电位与线绕电位器相比，器相比，它的分布电容和分布电感很小，它的分布电容和分布电感很小，特别适合在高频条件下使特别适合在高频条件下使用。用。它的噪声仅高于线绕电位器。金属电位器的缺点是耐磨性较差，它的噪声仅高于线绕电位器。金属电位器的缺点是耐磨性较差，阻值范围窄，一般在阻值范围窄，一般在1010100 100。由于这些缺点，由于这些缺点，限制了它的使用范限制了它的使用范围。围。导电塑料电位器导电塑料电位器n n导电塑料电位器又称实心电位器，这种电位器的电阻是由塑料粉及导电材料的粉料经塑压而成的。导电塑料电位器的耐磨性很好，使用寿命较长，允许电刷的接触压力很大，在振动、冲击等恶劣环境下仍能可靠工作。此外，它的分辨率较高，线性度较好，阻值范围大，能承受较大的功率。导电塑料电位器的缺点是阻值易受湿度影响，故精度不易做得很高。导电塑料电位器的标准阻值有1 k、2 k、5 k和10 k，线性度为0.1%和0.2%。电位移传感器优点与缺点电位移传感器优点与缺点n n优点：结构简单，性能稳定。n n 受环境温度影响小n n缺点：受骨架尺寸和导线直径限制，分辨率小于20umn n 磨损影响使用寿命，有较大噪声，降低可靠性。应用：主要用于测量线位移与角位移电容式位移传感器电容式位移传感器n n电容式位移传感器的形式很多，常使用变极距式电容传感器和变面积式电容传感器进行位移的测量.空气介质变极距式电容传感器工作原理图。1个电极板固定不动，称为固定极板，极板的面积为，另一极板可左右移动，引起极板间距离d相应变化。n n变极距式电容传感器的初始电容C0:n n只要测出电容变化量C，便可计算得到极板间距的变化量，即极板的位移量d。n n除用变极距式电容传感器测位移外，还可以用变面积式电容传感器测角位移。C0=0A/d0 n n(a)变极距式示意图；(b)变极距式的特性；(c)差动式示意图螺管式电感位移传感器螺管式电感位移传感器n n螺管式电感位移传感器主要由螺管线圈和铁芯组成，铁芯插入线圈中并可来回移动。n n 当铁芯发生位移时，将引起线圈电感的变化。线圈的电感量与铁芯插入线圈的长度有如下的关系：n n 铁芯随被测物体一起移动，导致线圈电感量发生变化。其检测位移量可从数毫米到数百毫米。缺点是灵敏度低。n n变气隙式自感式传感器的结构原理图n n（a）单边式；（b）差动式 n n 变气隙截面式电感传感器 差动传感器差动传感器n n初级线圈L1加交流励磁电压Uin，次级线圈上由于电磁感应而产生感应电压。由于两个次级线圈相反极性串接，所以两个次级线圈中的感应电压UOUT1和UOUT2的相位相反，当铁芯处于中心对称位置时，则UOUT1=UOUT2，所以UOUT=0。n n 当铁芯向两端位移时，UOUT1大于或小于UOUT2，使UOUT不等于零，其值与铁芯的位移成正比。n n差动变压器的输出特性n n（a）理想特性；（b）零点残余电压；（c）相敏检波后的特性 n n由绕组不对称引起的零点残余电压可以通过调节衔铁初始位置进行消除，然而因相位误差造成的零点残余电压是无法通过调节衔铁初始位置进行消除的。n n（1）从设计和工艺上尽量保证线圈和磁路对称，选用高性能的导磁材料，导磁体必须经过热处理，消除残余应力，以提高磁性能的均匀性和稳定性。n n（2）采用相敏检波电路不仅可以鉴别衔铁的移动方向，而且有利于消除零点残余电压。n n（3）采用适当的补偿电路。电涡流传感器电涡流传感器n n成块的金属物体置于变化着的磁场中或者在磁场中运动时，在金属导体中会感应出一圈圈自相闭合的电流，称为电涡流。电涡流式传感器是一个绕在骨架上的导线所构成的空心线圈，它与正弦交流电源接通，通过线圈的电流会在线圈周围空间产生交变磁场。当导电的金属靠近这个线圈时，金属导体中便会产生电涡流，如图3-20所示。涡流的大小与金属导体的电阻率、磁导率、厚度d、线圈与金属导体的距离x以及线圈励磁电流的角频率等参数有关。如果固定其中某些参数，就能由电涡流的大小测量出另外一些参数。n n电涡流作用原理图 n n涡流可以用来测量各种形式的位移量。(a)为汽轮机主轴的轴向位移测量示意图；(b)为磨床换向阀、先导阀的位移测量示意图，(c)为金属试件的热膨胀系数测量示意图。电涡流式传感器的转换电路电涡流式传感器的转换电路n n在电工课程中，我们已经知道电感和电容可构成谐振电路，因此电感式、电容式和电涡流式传感器都可以采用谐振电路来转换。谐振电路的输出也是调制波，控制幅值变化的称调幅波，控制频率变化的称调频波。调幅波要经过幅值检波，调频波要经过鉴频才能获得被测量的电压。谐振电路调幅原理如下图所示。谐振电路调幅原理图n n（a）电路原理图；（b）谐振特性曲线；（c）调幅特性 n n晶体振荡器输出频率固定的正弦波，经限流电阻R接电涡流传感器线圈与电容器的并联电路。当LC谐振频率等于晶振频率时输出电压幅度最大，偏离时输出电压幅度随之减小，是一种调幅波。该调幅信号经高频放大、检波、滤波后输出与被测量相应变化的直流电压信号。电涡流轴向贯穿深度的影响电涡流轴向贯穿深度的影响n n电涡流的轴向贯穿深度是指涡流密度衰减到等于表面涡流密度的1/e处时与导体表面的距离。涡流在金属导体中的轴向分布是按指数规律衰减的。衰减深度t可以表示为：式中，为导体电阻率；f为励磁电源的频率。n n为充分利用电涡流以获得准确的测量效果，使用时应注意以下两点：n n（1）导体厚度的选择：采用透射法测厚度时，应使导体的厚度小于轴向贯穿深度。n n（2）励磁电源频率的选择：导体材料确定之后，可以通过改变励磁电源频率来改变轴向贯穿深度。电阻率大的材料应选用较高的励磁频率，电阻率小的材料应选用较低的励磁频率电涡流的径向形成范围电涡流的径向形成范围n n线圈电流所产生的磁场不能涉及到无限大的范围，电涡流密度也有一定的径向形成范围。在线圈轴线附近，电涡流的密度非常小，愈靠近线圈的外径处，电涡流的密度愈大，在等于线圈外径1.8倍处，电涡流密度将衰减到最大值的5。为了充分利用涡流效应，被测金属导体的横向尺寸应大于线圈外径的1.8倍；对圆柱形被测物体，其直径应大于线圈外径的3.5倍。n n电涡流强度与距离的关系电涡流强度与距离的关系n n电涡流强度随着距离与线圈外径比值的增加而减少,当线圈与导体之间的距离大于线圈半径时，电涡流强度已经很微弱。为了能够产生相当强度的电涡流效应，通常取距离与线圈外径的比值为0.050.15。n n 非被测金属物的影响非被测金属物的影响n n由于任何金属物体接近高频交流线圈时都会产生涡流，为了保证测量精度，测量时应禁止其他金属物体接近传感器线圈。电涡流涂层厚度仪电涡流涂层厚度仪 电涡流表面探伤电涡流表面探伤数字位移传感器数字位移传感器n n 数字式位置传感器主要测量轴的旋转角度数字式位置传感器主要测量轴的旋转角度位置、速度变化和直线位移等。现在主要位置、速度变化和直线位移等。现在主要介绍以下几种数字式位移传感器。介绍以下几种数字式位移传感器。旋转编码器旋转编码器光栅位移传感器光栅位移传感器磁栅位移传感器磁栅位移传感器容栅位移传感器容栅位移传感器旋转编码器旋转编码器n n旋转编码器也称为脉冲编码器，是一种位旋转编码器也称为脉冲编码器，是一种位置检测元件，用以测量轴的旋转角度位置置检测元件，用以测量轴的旋转角度位置和速度变化，其输出为电脉冲。和速度变化，其输出为电脉冲。n n 编码器通常与驱动电动机同轴安装，编码器通常与驱动电动机同轴安装，驱动电动机可以通过齿轮箱或同步齿形带驱动电动机可以通过齿轮箱或同步齿形带驱动丝杆，也可以直接驱动丝杆。随着电驱动丝杆，也可以直接驱动丝杆。随着电动机的旋转，编码器连续发出脉冲信号，动机的旋转，编码器连续发出脉冲信号，数控系统通过对信号的接收、处理。计数数控系统通过对信号的接收、处理。计数即可得到电动机的旋转角度，从而计算出即可得到电动机的旋转角度，从而计算出当前工作台的位置。当前工作台的位置。n n旋转编码器按码盘的读取方式可以分为光旋转编码器按码盘的读取方式可以分为光电式、接触式和电磁式。光电式旋转编码电式、接触式和电磁式。光电式旋转编码器的精度和可靠性优于其他两种编码器，器的精度和可靠性优于其他两种编码器，所以数控机床上常用光电式旋转编码器。所以数控机床上常用光电式旋转编码器。n n光电式编码器按照编码旋转的规律可以分光电式编码器按照编码旋转的规律可以分为绝对式编码器和增量式编码器为绝对式编码器和增量式编码器。绝对式编码器：检测转角的绝对值绝对式编码器：检测转角的绝对值增量式编码器：不仅检测转角的大小，还增量式编码器：不仅检测转角的大小，还可以检测到转角的方向。可以检测到转角的方向。增量式编码器的结构增量式编码器的结构数字式位置传感器的应用数字式位置传感器的应用光栅位移传感器光栅位移传感器n n光栅位移传感器（简称光栅尺），是利用光栅的光学原理光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺位移传感器经常应用于机床与现在加工中心以及测量仪器等方面，可用作直线位移或者角位移的检测。n n常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条莫尔条纹纹的形成原理进行工作的。当指示光栅上的线纹和标尺光栅上的线纹之间形成一个小角度，并且两个光栅尺刻面相对平行放置时，在光源的照射下，位于几乎垂直的栅纹上，形成明暗相间的条纹。这种条纹称为“莫尔条纹”。n n莫尔条纹有两个重要的特性：n n(1)当指示光栅不动，主光栅左右平移时，莫尔条纹将沿着指示栅线的方向上下 移动。n n 查看莫尔条纹的上下移动方向，即可确定主光栅左右移动方向。n n(2)莫尔条纹有位移的放大作用。当主光栅沿与刻线垂直方向移动一个栅距W时，莫尔条纹移动一个条纹间距B。n n 当两个等距光栅的栅间夹角较小时，主光栅移动一个栅距W，莫尔条纹移动KW距离，K为莫尔条纹的放大系数：n n 这样，可把肉眼看不见的光栅位移变成为清晰可见的莫尔条纹移动，可以用测量条纹的移动来检测光栅的位移。可以实现高灵敏的位移测量。光栅位移传感器的结构及工作原光栅位移传感器的结构及工作原理理n n由主光栅、指示光栅、光源和光电器件等组成。主光栅和被测物体相连，它随被测物体的直线位移而产生移动。当主光栅产生位移时，莫尔条纹便随着产生位移。用光电器件记录莫尔条纹通过某点的数目，便可知主光栅移动的距离，也就测得了被测物体的位移量。光栅位移传感器的应用光栅位移传感器的应用n n光栅位移传感器：n n 测量精度高（分辨率为0.1m），n n 动态测量范围广（01000mm），n n 可进行无接触测量，n n 容易实现系统的自动化和数字化。n n 在机械工业中得到了广泛的应用，特别是在量具、数控机床的闭环反馈控制、工作母机的坐标测量等方面。磁栅位移传感器磁栅位移传感器n n 磁栅是一种有磁化信息的标尺。它是在非磁性体的平整表面上镀一层约0.02mm厚的Ni-Co-P磁性薄膜。并用录音磁头沿长度方向按一定的激光波长录上磁性刻度线而构成的。因此又把磁栅称为磁尺。磁栅录制后的磁化结构相当于一个个小磁铁按NS、SN、NS的状态排列起来。磁栅位移传感器磁栅位移传感器n n在用软磁材料制成的铁芯上绕有两个绕组，一个为励磁绕组，另一个为输出绕组，将高频励磁电流通入励磁绕组时，当磁尺与磁头之间产生相对位移时，磁头的铁芯使磁尺的磁通有效地通过输出绕组，当磁头靠近磁尺时在拾磁线圈中感应电压n n该电压随磁尺磁场强度周期的变化而变化，从而将位移量转换成电信号输出。n n下图是磁信号与静态磁头输出信号波形图。n n 磁头输出信号经检测电路转换成电脉冲信号并以数字形式显示出来。磁栅传感器应用磁栅传感器应用n n磁栅的种类可分为单型直线磁栅、同轴型直线磁栅和旋转型磁栅等 n n磁栅主要用于大型机床和精密机床作为位置或位移量的检测元件。磁栅和其它类型的位移传感器相比，具有结构简单、使用方便、动态范围大（120m）和磁信号可以重新录制等优点。n n 缺点是需要屏蔽和防尘。容栅位移传感器容栅位移传感器n n容栅传感器是基于变变面面积积工作原理的电容传感器，它的电极排列如同栅状。激光位移传感器激光位移传感器n n激光位移传感器可精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化，主激光位移传感器可精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化，主要应用于检测物体的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。要应用于检测物体的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。n n按照测量原理按照测量原理,激光位移传感器原理分为激光三角测量法和激光回波分激光位移传感器原理分为激光三角测量法和激光回波分析法析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量，而激光回波激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量，而激光回波分析法则用于远距离测量，下面分别介绍激光位移传感器原理的两种分析法则用于远距离测量，下面分别介绍激光位移传感器原理的两种测量方式。测量方式。三角测量法三角测量法n n激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，经物体反射激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，经物体反射的激光通过接收器镜头，被内部的的激光通过接收器镜头，被内部的CCDCCD线性相机接收，根据不同的距线性相机接收，根据不同的距离，离，CCDCCD线性相机可以在不同的角度下线性相机可以在不同的角度下“看见看见”这个光点。根据这个这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离，数字信号处理器就能计算出传角度及已知的激光和相机之间的距离，数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。感器和被测物体之间的距离。n n同时，光束在接收元件的位置通过模拟和数字电路处理，并通过微处同时，光束在接收元件的位置通过模拟和数字电路处理，并通过微处理器分析，计算出相应的输出值，并在用户设定的模拟量窗口内，按理器分析，计算出相应的输出值，并在用户设定的模拟量窗口内，按比例输出标准数据信号。如果使用开关量输出，则在设定的窗口内导比例输出标准数据信号。如果使用开关量输出，则在设定的窗口内导通，窗口之外截止。另外，模拟量与开关量输出可独立设置检测窗口。通，窗口之外截止。另外，模拟量与开关量输出可独立设置检测窗口。n n采取三角测量法的激光位移传感器最高线性度可达采取三角测量法的激光位移传感器最高线性度可达1um1um，分辨率更是，分辨率更是可达到可达到0.1um0.1um的水平。比如的水平。比如ZLDS100ZLDS100类型的传感器，它可以达到类型的传感器，它可以达到0.01%0.01%高分辨率，高分辨率，0.1%0.1%高线性度，高线性度，9.4KHz9.4KHz高响应，适应恶劣环境。高响应，适应恶劣环境。n n基本原理是光学三角法：n n半导体激光器被镜片聚焦到被测物体。反射光被镜片收集，投射到CMOS阵列上；信号处理器通过三角函数计算阵列上的光点位置得到距物体的距离。回波分析法n n激光位移传感器采用回波分析原理来测量距离以达到一定程度的精度。传感器内部是由处理器单元、回波处理单元、激光发射器、激光接收器等部分组成。激光位移传感器通过激光发射器每秒发射一百万个激光脉冲到检测物并返回至接收器，处理器计算激光脉冲遇到检测物并返回至接收器所需的时间，以此计算出距离值，该输出值是将上千次的测量结果进行的平均输出。即所谓的脉冲时间法测量的。激光回波分析法适合于长距离检测，但测量精度相对于激光三角测量法要低，最远检测距离可达250m。常见的一些数字式常见的一些数字式 激光位移传感激光位移传感器器 的产品：的产品：谢谢！谢谢！