LCD-工艺流程PPT课件.ppt
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1、KW 健威液晶健威液晶湿制程湿制程工工艺艺流程流程KW 健威液晶健威液晶湿制程工湿制程工湿制程工湿制程工艺艺艺艺流程流程流程流程玻璃清洗玻璃清洗IR Oven涂光刻胶涂光刻胶预预固化固化曝光曝光显显影影显显影影检查检查修复修复固膜固膜蚀蚀刻刻脱膜脱膜后清洗后清洗干制程干制程KW 健威液晶健威液晶玻璃清洗玻璃清洗玻璃清洗玻璃清洗清洗清洗剂剂+毛刷清洗毛刷清洗DI水水+US气刀气刀喷喷干干SiO2ITO玻璃玻璃灰灰尘尘水水KW 健威液晶健威液晶涂光刻胶涂光刻胶涂光刻胶涂光刻胶/预预预预固化固化固化固化光刻胶光刻胶光刻胶光刻胶涂胶涂胶轮轮匀胶匀胶轮轮支持支持轮轮光刻胶滴入匀胶光刻胶滴入匀胶轮轮与涂胶
2、与涂胶轮轮的的夹缝夹缝,涂胶,涂胶轮轮上的凹槽将光刻胶上的凹槽将光刻胶转转移到移到ITO表面。表面。热热板将玻璃加板将玻璃加热热,使溶使溶剂挥发剂挥发。KW 健威液晶健威液晶曝光曝光曝光曝光/显显显显影影影影UVMask(菲林)(菲林)曝光区域曝光区域未曝区域未曝区域显显影影过过程中程中浓浓度极度极小的小的NaOH就能将就能将被曝光的胶被曝光的胶层层溶解溶解光刻胶受光刻胶受UV光照射光照射以后以后发发生化学反生化学反应应KW 健威液晶健威液晶显显显显影影影影检查检查检查检查、修复,固膜、修复,固膜、修复,固膜、修复,固膜检查发现检查发现有固定位置的短路,用有固定位置的短路,用针针去除光刻胶。固
3、去除光刻胶。固膜的主要作用是使光刻胶与膜的主要作用是使光刻胶与ITO粘接更牢固。粘接更牢固。短路短路KW 健威液晶健威液晶酸刻酸刻酸刻酸刻这这个个过过程是除去不需要的程是除去不需要的ITO层层,制成,制成ITO图图案。案。使用的是加使用的是加热热的的FeCl3+HCl+H2O做做蚀蚀刻液。刻液。ITOSiO2光刻胶光刻胶玻璃基板玻璃基板光刻胶光刻胶KW 健威液晶健威液晶脱膜脱膜脱膜脱膜/后清洗后清洗后清洗后清洗浓浓NaOH3%DI水水+uS气刀气刀喷喷干干这这个个过过程是用程是用浓浓NaOH除去除去ITO上的光刻胶,再用上的光刻胶,再用DI水水清洗玻璃表面的清洗玻璃表面的杂质杂质。为为干制程干
4、制程PI印刷做准印刷做准备备。KW 健威液晶健威液晶干制程干制程 工工艺艺流程流程KW 健威液晶健威液晶 PI印刷印刷PI预预固化固化PI主固化主固化摩擦摩擦印框印框框框预预烘烘印点印点喷喷粉粉组组合合干制程工干制程工干制程工干制程工艺艺艺艺流程流程流程流程 湿制程湿制程后工序后工序热压热压KW 健威液晶健威液晶PI PI 印刷印刷印刷印刷玻璃基板玻璃基板PITOP CoatPIPI印刷是用网版或者印刷是用网版或者ARP版在版在图图案上印刷案上印刷Polyamide,它是,它是为为液晶分子定向所准液晶分子定向所准备备的材料。的材料。SiO2ITOKW 健威液晶健威液晶预预固化固化100主固化主
5、固化250*70min降温降温PIPI固化流程固化流程PI固化是极重要的固化是极重要的环节环节,固化条件决定,固化条件决定Polyamide的聚合状的聚合状态态,对对LCD显显示性能有重要的作用。示性能有重要的作用。KW 健威液晶健威液晶摩擦摩擦摩擦摩擦摩擦即在摩擦即在PI的表面的表面产产生微小、一致的沟槽,液晶分子能生微小、一致的沟槽,液晶分子能够够沿着沟槽排列。沿着沟槽排列。摩擦摩擦轮轮的的转转速,玻璃的移速,玻璃的移动动速度,玻璃与毛的接触速度,玻璃与毛的接触长长度(摩擦度(摩擦轮压轮压入量)决定入量)决定了沟槽的密度、深度,直接影响了了沟槽的密度、深度,直接影响了显显示效果。示效果。摩
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