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3 第第 1 1 章章 三坐标测量仪的概要三坐标测量仪的概要 三坐标测量仪的外观及名称三坐标测量仪的外观及名称 軸 軸 （内部）温度計 制御装置 軸 測定子又 X 横梁 支柱 Z 轴轴芯 工作台 控制装置 温度模块 空气过滤器 支柱 X 轴滑行部分 Z 轴轴芯 测头接头 测头 测量头或测针 4 所谓三坐标所谓三坐标 在测量时，经常使用的测量工具有“千分尺”“卡尺”，这种测量工具测量的是某一个方向（长度）。像这种只测量一个方向（长度）的测量工具叫做一维测量器。另外，也有利用两个一维测量器，同时测量出“边”的距离（长度），和“纵深”的距离（）长度的测量仪器。这种测量仪器叫做二维测量仪，本社的代表产品有“投影仪”基準点一辺距離奥行距離測点X 軸軸 所谓三坐标测量仪，在投影仪的平面两方向测量的基础上，加上高度的距离（长度）测量的机器，也就是可以进行“边”，“纵深”，“高度”的同时测量。各軸名称 正面見 左右動 軸方向軸方向 前後動 軸方向軸方向 上下動 軸方向軸方向 軸方向 軸方向 軸方向 平 台 構造 三坐标测量仪的各个轴都装有一根尺子，轴在滑动的时候，由检出器读出轴的移动量 移动量作为尺子的信号传送至电脑，作为三座标的 计数值来进行计算 尺子 平 台 单边距离 要测量的点 纵深距离 作基准的点 各轴的名称 从正面看，左右方向 X X 轴方向轴方向 从正面看，前后方向 Y Y 轴方向轴方向 从正面看，上下方向 Z Z 轴方向轴方向 5 第第 章章 基础知识基础知识 关于要素关于要素 三坐标测量仪通过测量被测物上的点，根据这些单数的点或复数的点求得圆，线之类的几何形状（表示图形的性质）。这些被求得的几何形状叫做要素。可以求得以下的要素。点要素 面要素 円筒要素 線要素 円錐要素 楕円要素 円要素 球要素 輪郭要素（选购）6 关于坐标系关于坐标系 所谓坐标系就是把原点作为 0 点，由各轴的长度（各轴为直角）做出的测量空间。三坐标测量仪有两种坐标系。X Y Z X Y Z 关于基准面关于基准面 基准面是作为测量基准的三个平面。X-Y 面：包含 X,Y 轴的面 Y-Z 面：包含 Y,Z 轴的面 Z-X 面：包含 Z,X 轴的面 XYZ X 軸Y 軸Z 軸XYXY 面面YZYZ 面面ZXZX 面面 機械座標系機械座標系 测量仪固有的坐标系 測定物座標系測定物座標系 以测量物为基准建立的坐标系 7 关于投影关于投影 所谓投影就是入力点或者要素向指定的基准面垂直移动。基準面 8 关于单位设定关于单位设定 长度，角度的单位，坐标系的模式可以在单位设定处设定 球座標 円柱座標 直角座標 坐标系模式的种类坐标系模式的种类 直角坐标系模式，由 X,Y,Z 指定 圆柱坐标系模式，（点击按钮可以更换基准轴）根据动径（R）,投影角（Phi）,Z 来指定 9 球坐标模式（点击按钮更换基准轴）由空间动径(R),投影角（Phi）,天顶角（Theta）来指定。10 如何如何打印打印 必须在打印的测量结果，对照结果显示前事先加入打印指令。打印格式指定 输出内容除了被遮盖的 全部打勾后点击“OK”表示結果 11 打印各式结束 表示結果 打印格式结束后点击“OK”，指定打印格式以后的测量结果，对照结果开始打印。12 第第 章章 要素測定要素測定 本章说明各个要素的测量方法，测量结果。点要素点要素 測定測定 求点的位置。可以选择下列的三种计算方法。点 测头半径不补偿。有补偿的点 CNC OFF（手动测量）时测头半径向坐标轴方向补偿。CNC ON 时测头半径向测量方向补偿。离接近距离方向最近的轴作为补偿方向的轴。端面 测量垂直坐标轴的端面。补偿方向根据坐标系的模式不同而不同。直角坐标系 向坐标轴方向补偿半径。円柱座標系 向动径方向补偿半径。球座標系 向空间动径方向补偿半径。測定方向 点 有补偿的点 端面 CNC 入力方向 J/S 入力方向 13 在这个画面进行测量。端面测量时求出补偿轴方向的补偿值，其他两轴结果是零。表示結果 点击“OK”后变成测量画面。14 线线要素要素 測定測定 向 XY,YZ,ZX 面中的一个面把入力点投影，求线。或者半径补偿。投影面在线要素的进行选择。设定时 XY、YZ、ZX 面的任意面自动选择后投影求得线。根据指定的计算方法，选择以下内容。最小二乗法 外接法 内接法 最小領域法 表示結果 线方向的正负 起点指向末点。基準面基準面 投影投影 在这个画面测量 点击“OK”后进入测量画面。15 圆圆要素要素 測定測定 在 XY、YZ、ZX 面的任意平行面上求圆。并且进行补偿。投影面在选择。設定時、根据入力点群和矢量方向自动选择投影面。选择接近于平行 XY、YZ、ZX 的面。请向平行于断面的方向入力。点击后、投影于 XY、YZ、ZX 面上。根据计算方法选择以下内容。最小二乗法 外接法 内接法 最小領域法 表示結果 基準面 NG！用圆柱测量 在这个画面测量。点击“OK”后处出现测量画面。16 面要素面要素 測定測定 根据测量求面。面的法线方向和入力方向相反。使用面设定基准面时，面的法线方向会影响坐标系的方向请注意。根据指定的计算方法选择。最小自乗法 外接法 内接法 最小領域法 測定方向 法线方向 在这个画面进行测量。点击 OK 后进入测量画面 17 表示結果 原点的距离 点数 平面度 和 X 軸角度 和 Y 軸角度 和 Z 軸角度 面的代表点的坐标值 表示结果图示。X Y Z 原点的距离 18 球要素球要素 測定測定 通过测量求球。在这个画面测量。表示結果 点击 OK 后进入测量画面。19 圆椎圆椎要素要素 測定測定 通过测量求圆锥。测量方法在垂直于中心轴的同一个面上测量三点，剩的点在和最初三点不同的面上测量。如果这三点的圆心轴和圆锥的中心轴偏移大的话，可能会出现无法计算的报警画面。用于面补偿的时候会轴线会影响坐标系的方向请注意。中心軸从尖处指向开口处。点測定時的表示結果 点以上測定時表示結果 在这个画面进行测量。全頂角 半頂角 点击 OK 进入测量画面。20 圆柱圆柱要素要素 测量测量 通过测量求圆柱。测量方法在垂直于中心轴的同一个面上测量三点，剩的点在和最初三点不同的面上测量。如果这三点的圆心轴和圆锥的中心轴偏移大的话，可能会出现无法计算报警。剩余的点在不同面上的不同位置（上下点的位置圆周方向偏移大概 90 度）进行测量 圆柱的中心轴的方向从测量点的起点到测量点的终点。用于面补偿的时候轴线会影响坐标系的方向，请注意。在这个画面测量。表示結果 点击 OK 出现测量画面 21 阶台圆柱阶台圆柱 測定測定 通过测量求阶台圆柱。按照测量同轴不同直径的两个圆柱的测量方法，第一个圆柱取点 3 个以上。测量结束后点击“测定终了”。接着测量第二个圆柱，3 点以上取点后点击“测定终了”。圆柱的中心轴从始点指向末点。用于面补偿的时候，注意对坐标系的影响。在此画面上测量第一个圆柱。点击“要素测定终了”后测量第二个圆柱。点击 OK 进行测量 22 在此画面上测量第二个圆柱。点击“要素测定终了”后阶台圆柱测定终了 点点測定時的結果表示 点点測定時的結果表示 23 斜面斜面圆圆要素要素 用于相对于基準面（XYYZZX）以外的平面、垂直加工的孔或轴的測定。面測定和圆測定指令是一体的。这样就把测量的圆投影到测量后的平面或是呼出的平面上，求出空间圆的中心位置 在这个画面上进行测量。点击 OK 进入测量画面 面测量结束后变成圆测量画面。24 在这个画面上测量圆。面要素円要素測定時的結果表示 25 第第 章章 测头校正测头校正 本章说明测头校正（测头数据的校正）及登录方法。关于测头关于测头 测头径 在三坐标上入力数据是根据测针的中心来求得的。（图参照）例如用球测针测量孔的时候，通过计数器的值得出的直径比实际小一个直径量。为了补偿测头直径的差，测量前有必要登录测头的直径。触发测头需要触发力。安装的测头长度及重量不同，触发移动量也不同。补偿测头直径就是把这个量从测头的直径中去除。补偿测头直径是以标准球为基准的，测量用的测针一定要用标准球来校正。不要根据产品目录的直径来指定测头直径进行测量。位置关系【三坐标测量仪的情况】测头上安装多个测针，或是使用回转测头变更姿势的时候，不同的测针或姿势即使前端的位置一致计数器的值也不一样。为了补偿这个差，事先必须把位置关系登录。圆的直径 无测头补偿 图 测针（測定子）（X、Y、Z）图 a 计数器（、，）计数器（50、，50）26 自动校正自动校正（PH9PH9、PH10MPH10M、PH10MQPH10MQ）启动测头数据管理器 在“新規作成”处制作测头 输入公称直径 触发式测头不用输入 指定要使用的测头角度。一号测头必须是 A=、B=0。27 事先定义好要使用的测头姿势角度。接着全选测头进行校正。全选 校正 输入数据自动校正。自动校正 出现以下画面后，在标准球的定点测量一点。测头回转中心到测针 中心的长度 测量时的逃离距离 测针中心到球中心的高度（一般为零，但是测针短或是标准球太大的 话需要更改）指定使用的标准球的直径 回转长度 接近距离 Z 修正 28 测量后进入自动测量。标准球 球的頂点 校正完了后测头资料保存。点击测头数据保存。测头数据保存 在球的顶点入力一点 29 文件取名保存OK 选择要使用的测头资料OK 出现下记画面点击 YES 30 手动校正手动校正（MIPMIP、万万向向测头测头等等）启动侧头数据管理器 在新規作成处作出测头数据 不用输入数据 使用触发测头时不用输入数据 不能使用 31 要使用的测头数据事先做好。接着选好要校正的测头进行校正 校正 出现以下画面后进行校正。指定使用的标准球的直径 指定点数 手动校验 自动校验（用于自动机）32 測定方法 测定结束后变更测头姿势后返回 这是要先在下记画面上切断 TS 开关后再接触测头。万用测头不需要变更姿势。全部校正后测头资料保存。标准球 测头 切断 TS 开关后变更测头姿势，变更后再打开开关 不把 TS 开关设置为 ON 的话，测头队不会触发。33 点击测头数据保存按钮。测头数据保存 取文件名OK 选择要使用的测头文件OK 出现下记画面后点击 YES 34 测头交换测头交换（PH9PH9、PH10MPH10M、PH10MQPH10MQ）说明测头号码（使用的测头姿势）的交换方法。选择测头交换 选好要使用的测头OK 出现测头更换画面确认安全位置Yes 都可以 注意 自动测头回转要避开测量物 35 测头交换测头交换（MIPMIP、万用测头万用测头等等）说明测头号码（使用测头姿势）的交换方法。变换测头姿势 接触测头时要切断 TS 变换后再接通（万用测头不需要）切断 TS 后变更测头姿势，变更后再打开 TS 不打开的话测头不会触发。36 指定测头交换 选择要使用的测头OK 都可以 37 第第 章章 设定测量坐标系设定测量坐标系 设定测量坐标系设定测量坐标系 设定测量坐标系就是在测量物上设定基准原点。设定坐标系有以下三个内容：面补偿 设定测量物的空间倾斜（例：Z 轴方向）轴补偿 平面内的倾斜设定（XY 面内的 XY 轴）XYX XY Y 原点 基准的位置设定（轴的零点）X XY YXY 38 坐标系的样板坐标系的样板（坐标系坐标系坐标系设定坐标系设定）所谓坐标系样板，启动单动&示教模式后，选择测头后自动出现的功能。本功能可以通过菜单的坐标系呼出 从菜单呼出 选择需要的样板后点击OK.所谓样板 坐标系的设定项目已经事先定好，选择要做的坐标系种类，按照提示操作即可做出坐标系。注意注意：本功能不可用于本功能不可用于 CNC ONCNC ON 的状态的状态。以下为例介绍三种坐标系【坐标系完成图】坐标系样板 机械坐标系 呼出坐标系 39 面面線線線座標系線座標系样样 坐标系的基准是 XY 面，和线平行的是 X 轴，原点是测量物的角【坐标系完成图】声音指令 座标系保存 使用机器的 Z 轴 使用显微镜 測定点数 【測量顺序】测量面，定位XY面 测量线，定位X轴 测量线，定义原点 原点在角部的坐标系 注意注意：测量线时，入力点顺序不同的话坐标系的方向(/)也会改变。40 面面圆圆圆圆 坐标系模板坐标系模板 基准面是 XY 面，原点是 1 号圆的圆心，基准轴是 2 号圆的圆心，形成 X 轴（默认）【坐标系完成図】声音指令 坐标系保存 使用三座标的 Z 轴（使用显微镜时）測定点数 可以选择园或椭圆要素 【測量顺序】测量要设定为原点的圆要素 圆 测量圆，通过基准轴 圆 原点1号圆，基准轴通过2号圆 注意注意：X 轴的正方向是作为原点的 1 号圆的指向 2 号圆 41 面面圆圆线线 坐标系模板坐标系模板 基准面是 XY 面，原点是 1 号圆，基准轴和线平行【坐标系完成图】声音指令 座标系保存 使用机械 Z 轴 装载显微镜时使用 測定点数 【測量顺序】测量平面设为基准面 测量圆设为原点 圆 测量线设为基准轴 原点圆X軸線的座標系完成 注意注意：测量号的线时，入力点的顺序不同的话，坐标系的方向(/)也会随之改变。42 第第 6 6 章章 要素间的处理要素间的处理 使用测量过的要素进行计算的功能。結合要素結合要素 呼出被保存的点要素，或是各要素上的点（圆，球，与椭圆的中心等），计算出通过这些点的要素。結合圆（间距圆）间距圆就是实际存在的圆的中心在假想圆的圆周上的圆。因此，测头无法直接在圆的圆周上入力来计算出圆。所以可以通过测量实际存在的圆，计算被保存的圆的中心座标值来求出 PCD.操作操作顺序顺序 使用圆的测量机能测量 13 号圆。圆要素 圆 圆 2 圆 3 X Y 间距円 请选好要使用的要素后进行移动。选择结合要素 43 选好移动好后OK 也可以在导航器上直接点击进行选择，选上的要素变成红色。44 結合結合线线 连接要素上的点（点、圆、椭圆的中心）来求线。操作順操作順序序 使用圆测量机能测量 1 号圆，2 号圆。线要素 Y X 圆 圆 请选好要素后移动。选择結合要素 45 选好要用的要素后OK 46 交叉要素交叉要素 本功能可以呼出测量好被保存的两个要素进行组合计算，算出相交的新要素。交点 计算出可以交叉的两个要素的交点。圆柱，圆锥的中心轴可以作为线要素使用。也可以把要素投影到基准面上进行计算。两条直线的交点 操作操作顺序顺序 使用线测量功能测量 1 号，2 号线。点要素 选择要呼出的要素的指令。接着，选择要呼出的要素。线 线 交点 选择交叉要素 47 面和与圆柱轴的交点 操作操作顺序顺序 使用面测量，线测量功能测量 1 号面，1 号圆柱。点要素 交点 圆柱 面 选择要呼出的要素指令。接着，呼出所选要素。选择交叉要素 48 面和线的交点 操作操作顺序顺序 使用圆测量，线测量功能，测量 1 号圆，1 号线 点要素 选择要呼出的要素指令。接着，选择要呼出的要素。X Y 交点 交点 圆 线 选择交叉要素 求交点 1 时点击 X 最小 求交点 2 时点击 X 最大 49 圆和圆的交点 操作操作顺序顺序 使用圆测量功能，测量 1 号圆，2 号圆。点要素 选择要呼出的要素指令。接着，选择要呼出的要素。X Y 交点 交点 圆 圆 选择交叉要素 求交点 1 时点击 Y 最小 求交点 2 时点击 Y 最大 50 交线 求面和面的交线。操作操作顺序顺序 使用面测量功能，测量 1 号面，2 号面。要素 选择要呼出的要素 面面 2交線 选择交叉要素 51 交交圆圆 2 求要素相交的交圆。圆锥，圆柱，球和面的的交圆 测量圆锥，圆柱，球，面要素。圆要素 选择要呼出的要素的指令。接着选择要呼出的要素。圆锥和面的交圆圆锥和面的交圆 冕和球的交圆冕和球的交圆 面和园的交圆面和园的交圆 选择交叉要素 52 单个圆锥的交圆 利用圆锥要素求交圆。使用圆锥测量功能测量圆锥。圆要素 选择要呼出的要素。选择交叉要素 指定直径 到顶点的距离 到 XY 面的距离 到 YZ 面的距离 到 ZX 面的距离 53 中间要素中间要素 中点 利用点，圆，椭圆，球要素求中点。圆和圆的中点 使用圆测量功能测量 1 号圆，2 号圆。点要素 中点 X Y X Y 园 2 园 1 选择要呼出的要素指令。接着，选择要呼出的要素。选择中央要素 54 端面和端面的中点 使用点测量功能测量 1 号点，2 号点。然后，利用点要素。点点中点 点要素 选择要呼出的要素的指令。接着，选择要呼出的要素。选择中央要素 55 56 中线 用两个线要素求中线。用线测量功能测量 1 号线，2 号线。线要素 线 线 2 中线 选择要呼出的要素指令。接着，选择要呼出的要素 选择中央要素 57 键入要素键入要素 键入线 例）做一条和 X 轴平行的线。线要素 X Y 键入线 选择键入要素 58 距离距离 圆和圆的距离 使用测量功能测量 1 号，2 号圆。距离 选择要呼出的要素指令，然后选择要呼出的要素。平行于 Y 轴 平行于 Z 轴 X=90:00:00 X=90:00:00 Y=0:00:00 Y=90:00:00 Z=90:00:00 Z=0:00:00 59 X Y 半径加算半径加算 园 园 X Y 无补偿无补偿 园 园 间距，宽度测量 使用线测量功能测量端面 A 使用点测量功能测量端面 B 点要素 X Y 半径減算半径減算 园 园 XY座標差座標差XY 座標差座標差距離距離 60 距离 选择要呼出的要素指令，然后选择要呼出的要素。半径減算半径減算 宽度宽度 端面 A 端面 B 半径加算半径加算 间距间距 端面 A 端面 B 角度角度 求两条线，轴的夹角 线和线的夹角 使用线测量功能测量 1 号，2 号线 角度 61 选择要呼出的要素的指令，然后选择要呼出的要素。实物夹角 计算的角 矢量间 补角（和 180的差）矢量间角 360补角 （和 360的差）间隔的角 使用圆测量功能测量 1，2，3 号圆 利用 1，2 号圆求结合线 线要素选择结合要素O.K选择 1，2 号圆（注意选择顺序）O.K 結合線 利用 1，3 号圆求结合线 线要素选择结合要素O.K选择 1，3 号圆（注意选择顺序）O.K 結合線 線線 2角度 补角 计算角 62 角度 选择要呼出的要素指令，然后选择要呼出的要素。結合线 結合线 圆 圆 圆 63 第第 章章 CNCCNC 重复运行重复运行（制作程序制作程序）所谓程序，就是把测量物的测量步骤做成文件。做好程序后，测量批量产品就不需要做重复的手动操作了。本章就程序制作做一个说明。手动和手动和 CNCCNC 对于程序制作，根据功能的切换，有两种制作方法。手动（CNC OFF）模式制作程序 运行程序时，测量顺序已经有保存，所以不需要在电脑上操作，使用 J/S 进行测量即可。CNC（CNC ON）模式作程序 运行程序时，测量顺序和测量点都有保存，自动运行测量。对于使用对于使用 CNCCNC 模式制作程序模式制作程序 CNC ON 启动单动模式时，CNC 是 OFF 的状态 MACHINECNC ON或是用CNC PARAMETER CNC ON 从这个指令后，进入 CNC ON 状态 动作命令 运行 CNC 模式作出的程序就三坐标就自动进行测量。制作程序时必须指定机器移动的规避位置。所谓规避位置：自动测量时测量位置和返回位置电脑不自动记忆，也就是机器无法自动分辨不发生碰撞的安全位置。通过使用“GOTO”键进行移动，实现告诉电脑如何进行移动。GOTOMEASMEASGOTO 控制盒（JIS BOX）GOTOGOTO 64 不使用“GOTO”键的区别如下：不使用“GOTO”键：MEASMEASMEAS电脑未认识测量位置和返回位置，一旦运行程序就可能发生碰撞。使用“GOTO”键：MEAS MEAS MEAS 在这里在这里GOTOGOTO 通过点击“GOTO”键，电脑会记录所有的机器的移动轨迹，可以避免发生碰撞。因此因此，在在 CNCCNC 模式下进行测量时模式下进行测量时，必须必须同时同时点击点击“GOTOGOTO”键键 65 CNCCNC 模式制作程序模式制作程序 所谓自动测量并非电脑自动认知被测物的形状，而是通过在制作程序时所建立的坐标系来认识被测物的。也就是说，被测物和坐标系的关系不确定的话，无法正常与型自动测量程序。比如：机器移动至没有测量物的位置进行测量，或移动到和作程序是相反的位置以致发生碰撞。为避免以上情况发生，程序制作方法可以分为有定位夹具，和没有定位夹具 有定位夹具有定位夹具 每次都可以把被测物放置在三座标的相同位置，坐标系和被测物的位置不发生变化，可以使用“坐坐标系保存标系保存”“”“坐标系呼出坐标系呼出”来制作所有的来制作所有的程序程序。没有定位夹具没有定位夹具 被测物再三坐标上的位置无法固定，每次被测物在三坐标上的放置位置和三座标的坐标系的都有偏差，所以有必要事先告诉电脑被测物的所在位置。通过手动设定坐标系来来告诉电脑被测物在通过手动设定坐标系来来告诉电脑被测物在三三坐标坐标上的位置上的位置。手动设置好坐标系后，被测物和三座标的坐标系既可以确定下来，接下来就可以制作测量程序了。程序中从手动到自动运行切换时，必须添加“程序暂时停止”的命令语句。所谓暂时停止所谓暂时停止 下拉菜单下拉菜单 “程序”“可编程序停止”输入语句“OK”。模式切换模式切换 机器CNC on/off或是机器CNC 参数&CNC on。从这个语句命令以后都必须加入从这个语句命令以后都必须加入“GOTOGOTO”语句语句。66 程序制作顺序程序制作顺序 指定程序要保存的所在 PART，然后打开。选择要使用的测头OK 指定坐标系模板 67 出现下面画面后，A 平面上入力 4 点，B 端面上入力 3 点，C 端面上入力 3 点 68 进入 CNC ON 之前加入“暂时停止”语句。出现下面画面后点击“OK”.输入提示语句 69 切换至 CNC ON 模式。为保证运行程序时测头部碰撞为保证运行程序时测头部碰撞，进入进入 CNCCNC 制作程序时要制作程序时要（自动测量顺序自动测量顺序）要加入要加入“GOTOGOTO”指令指令 70 圆要素 测量 1 号圆 更换测头 选择可以测量 2 号圆的测头（A=/B=）OK 任选一个 测量同时加入测量同时加入“GOTOGOTO”键键 任意指定一个 71 使用测头OK 出现确认画面后点击“YES”,测头开始旋转。确认测头在安全位置。圆要素 测量 2 号圆 任选一个 测量测量同时加入同时加入“GOTOGOTO”键键 72 更换测头 选择测量 3 号圆的测头（A=/B=）OK 选择要使用的测头OK 出现确认画面后点击“YES”,测头开始旋转。确认测透处于安全位置。任意指定一个 73 斜面圆 测量 D 面 2 号圆 把测头返回（A=/B=）位置 任意点击一个 测量同时加入测量同时加入“GOTOGOTO”键键 74 选择一号测头OK 出现确认画面后点击“YES”,测头开始旋转。确认测头处于安全位置。结束单动&教示模式 点击画面左上角的按键。选择保存程序 終了終了 75 重复模式重复模式（程序运行顺序程序运行顺序）指定保存有程序的 PART，启动重复模式。出现New Part 1内的程序点击OK后程序开始运行 程序名 重复次数 程序开始后，出现以下画面，按照顺序在平面 A 上入力 4 点端面 B 上入力 3 点，端面 C 上入力 3点。76 出现暂时停止画面，把测头移动至安全位置后点击“OK”后自动运行程序。程序运行结束后，出现以下的结果画面，如没有要运行的程序的话点击“结束”。终止程序运行。終了 77 第第 章章 公差对照公差对照 本功能是比较测量结果是否在公差内。几何偏差几何偏差 平行度 测量顺序 面要素面測定面 面要素面測定面 要计算平面度，点击画面下端的。出现以下画面。（例：以基准要素面、测量要素面的画面来说明平行度。）/0.5AA 选择指令 选择要呼出的指令 输入公差值 输入评价要素的 长度，方向 OK 測定要素 基準要素 平行度 评价长度 公差幅 78 直角度 测量顺序 面要素面測定面 圆柱要素圆柱測定圆柱 计算直角度可以点击画面下边的图标。出现以下画面.（例：基准要素面、测量要素圆柱的直角度。）0.5AA 选择图标 选择要呼出的 指令 输入公差值 评价要素的长度 OK 測定要素基準要素直角度評価長公差幅 79 同轴度 测量顺序 圆柱要素圆柱测量圆柱 圆柱要素圆柱测量圆柱 计算同轴度可以点击是画面下部的图标。出现以下画面。（例：基准要素圆柱、测量要素圆柱。）0.5AA 选择指令 选择要呼出的 指令 输入公差值 评价要素范围 OK 同軸度評価範囲公差幅測定要素基準要素 80 同心度 测量顺序 圆要素圆测量圆 圆要素圆测量圆 计算同心度点击画面下的图标。出现以下画面。（例：基准要素圆、测量要素圆的同心度。）0.5AA 选择指令 选择要呼出的要素 输入公差 选择投影面 OK 公差幅測定要素基準要素測定値同心度設計値 81 位置度 测量顺序 圆要素圆测量圆 计算位置度点击画面下的图标。出现以下画面。选择图标 选择要呼出的要素 输入公差值 输入评价位置 OK 公差幅設計値位置度測定値