YIG带阻滤波器的研究进展.pdf

第4 5卷第4期压 电 与 声 光V o l.4 5N o.42 0 2 3年8月P I E Z O E L E C T R I C S&A C OU S TOO P T I C SA u g.2 0 2 3 收稿日期:2 0 2 3-0 2-2 1 基金项目:国际合作项目(S Q 2 0 1 8 Y F E 0 2 0 5 6 0 0);国家自然科学基金资助项目(5 2 0 7 2 0 6 2;5 1 4 7 2 0 4 6)作者简介:刘凌彤(1 9 9 6-),女,四川省广安市人,硕士生,主要从事微波磁性器件的研究。通信作者:杨青慧(1 9 7 9-),教授,主要从事液相外延及微波毫米器件的研究。文章编号:1 0 0 4-2 4 7 4(2 0 2 3)0 4-0 5 6 6-0 4D O I:1 0.1 1 9 7 7/j.i s s n.1 0 0 4-2 4 7 4.2 0 2 3.0 4.0 1 7Y I G带阻滤波器的研究进展刘凌彤,杨青慧,杜姗姗,张怀武(电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川 成都6 1 0 0 5 4)摘 要:随着通信与雷达系统在高频、宽带和小型化方面的高速发展,钇铁石榴石(Y I G)带阻滤波器是其发展道路中不可缺少的磁调谐器件。该文针对Y I G带阻滤波器阐述了Y I G带阻滤波器设计原理,介绍了近年来几种典型谐振器结构的发展状况,并分析了这几种结构的优缺点。关键词:钇铁石榴石(Y I G);带阻滤波器;磁调谐中图分类号:T N 6 1 文献标志码:A R e v i e wo fR e s e a r c hP r o g r e s so fY I GB a n d s t o pf i l t e rL I UL i n g t o n g,Y A N GQ i n g h u i,D US h a n s h a n,Z H A N GH u a i w u(S t a t eK e yL a b.o fE l e c t r o n i cT h i nF i l m sa n dI n t e g r a t e dD e v i c e s,U n i v e r s i t yo fE l e c t r o n i cS c i e n c ea n dT e c h n o l o g yo fC h i n a,C h e n g d u6 1 0 0 5 4,C h i n a)A b s t r a c t:W i t ht h er a p i dd e v e l o p m e n to fc o mm u n i c a t i o na n dr a d a rs y s t e m st o w a r dh i g hf r e q u e n c y,b r o a d b a n da n dm i n i a t u r i z a t i o n,Y t t r i u mi r o ng a r n e t(Y I G)b a n d-s t o pf i l t e r i sa n i n d i s p e n s a b l em a g n e t i c t u n i n gd e v i c e i n i t sd e-v e l o p m e n tp a t h.T h i sp a p e r d e s c r i b e s t h ed e s i g np r i n c i p l e o fY I Gb a n d-s t o p f i l t e r,i n t r o d u c e s t h ed e v e l o p m e n t s t a t u so f s e v e r a l t y p i c a l r e s o n a t o r s t r u c t u r e s i nr e c e n t y e a r s,a n da n a l y z e s t h e a d v a n t a g e sa n dd i s a d v a n t a g e so f t h e s e s t r u c-t u r e s.K e yw o r d s:Y I G;b a n d-s t o pf i l t e r;m a g n e t i c t u n i n g 0 引言钇铁石榴石(Y I G)滤波器是一类在军事应用和远距离通信中不可缺少的器件,可用于雷达和通信系统中进行信号检测、控制射频信号频谱及抗干扰等方面1-3。如电子对抗领域要实现一体化超宽带对抗,则需要装配具备高选择性、高灵敏度的超宽带微波接收机,而Y I G带阻滤波器已应用于这种宽带接收机的接收前端,实现信号的选频功能,是接收机中重要的器件4。Y I G带阻滤波器是基于Y I G材料而设计的磁调谐带阻滤波器。与传统带阻滤波器相比,Y I G带阻滤波器的品质因数Q值高,线性度及稳定性高,体积小,多倍频程调谐范围小5-6。本文将介绍其设计原理,从不同类型Y I G谐振器的角度出发,介绍几种Y I G谐振器典型结构的研究进展并分析其优缺点,最后对Y I G带阻滤波器做出总结和展望。1 Y I G带阻滤波器设计原理与常见的带阻滤波器一样,阻带的形成都是谐振器在中心频率0从传输信号的微波电路中吸收能量,使得该频率处的信号无法通过。但Y I G带阻滤波器利用Y I G铁磁共振原理,通过改变外加偏置磁场H0,其频率0也随之改变,进而实现了阻带的调谐,故Y I G铁磁共振原理是Y I G带阻滤波器设计的核心7。以小球结构的Y I G谐振子为例,如图1(a)所示,设一Y I G小球置于外加偏置磁场H0中,则Y I G小球中的各自旋磁矩沿H0方向排列,成为一个磁矩为m的磁偶极矩,当H0方向发生改变时,磁矩m的方向也随着发生改变,基于铁磁共振线宽H,Y I G谐振器是有耗谐振器,磁矩做阻尼进动,进动角逐渐减小,最终磁矩m与H0方向平行。为使进动保持,在H0方向一定的情况下,在与磁矩m旋转的同方向上施加一个圆极化高频磁场H+,如图1(b)所示。当H+的频率与磁矩m进动的频率相同时,则磁矩m的进动将会无衰减地保持下去,即发生铁磁共振现象。但在与磁矩m旋转的反方向上施加一个圆极化高频磁场H-,或圆极化高频磁场H+频率与磁矩m进动频率不一致时,磁矩m不再做无衰减进动。图1 铁磁共振原理示意图由铁磁共振原理可知,磁矩m的进动得以维持,是因为磁矩m进动时的阻尼得到了抵消,而圆极化高频磁场H+为此提供了能量,故当Y I G小球发生铁磁共振时,谐振器从圆极化高频磁场H+中吸收大量能量,在铁磁共振频率0处形成阻带,信号无法通过8。铁磁共振频率0与外加偏置磁场的H0呈线性关系,设在x y z坐标系中,H0的方向与z轴平行,忽略各向异性场,对于椭球形Y I G谐振器,谐振频率为f0=2.8H0-Nz-Nx()4 MS12H0-(Nz-Ny)4 MS12(1)式中:MS为饱和磁化强度;Nx、Ny、Nz分别为Y I G谐振器在x、y、z方向上的去磁系数,其值与Y I G谐振器的形状有关,可见不同形状下Y I G谐振器的Nx、Ny、Nz不同,其铁磁共振频率0与外加偏置磁场H0的具体关系也有差异。2 基于Y I G小球设计的带阻滤波器小球是最早用于设计Y I G带阻滤波器的谐振器形状,这种设计结构非常经典,只需一条特性阻抗满足设计要求的传输线与数个Y I G单晶小球经过环耦合结构设计即可实现Y I G带阻滤波器,环耦合结构也分半环耦合结构和整环耦合结构。1 9 8 1年,E ATON公司公开了一种基于Y I G小球设计的多导体铁磁谐振耦合结构9,如图2所示,这是一种可调谐带阻滤波器结构,且滤波器结构中特殊耦合回路可增强Y I G小球间的耦合,同时也能减少寄生阻带。相较于文献9 提出的半圆环耦合结构,文献1 0 提出一种多阶的整圆环耦合结构如图3所示。该Y I G带阻滤波器在28GH z内可调谐,阻带在-4 0d B处的带宽大于1 5MH z(从半耦合环递进到整耦合环)。基于Y I G小球的与传输线的环 耦 合 结 构,美 国M I C R O L AMB D A公 司 在2 0 0 8年推出了ML F R D系列多款双通道带阻滤波器产品,覆盖整个21 8GH z,分别为两款低频调谐带阻滤波器和两款高频调谐带阻滤波器,2个低频型号提供至少52 0MH z的-4 0d B阻带,2个高频滤波器提供1 53 5 MH z的-4 0d B阻带1 1。2 0 1 1年,该公司又推出ML B F系列台式Y I G调谐滤波器,具有工作频率高达2 0GH z的带阻信号,适用于实验室或一般台式应用1 2。2 0 2 0年,隋明明等利用Y I G小球设计了一款中心频率 可在26GH z内调谐的带阻滤波器,与常规器件相比,该滤波器体积缩小了1 3倍3。图2 半耦合环结构的Y I G带阻滤波器图图3 Y I G小球与传输线的耦合结构图3 基于Y I G薄膜设计的带阻滤波器与Y I G小球相比,基于Y I G薄膜设计的Y I G带阻滤波器易制造,结构平面化,且耦合结构较多。T s a i.C.S等基于Y I G薄膜设计了一种宽调谐范围的带阻滤波器,微带线以G a A s材料为基板,Y I G薄膜放置于微带电路上,谐振频率的调谐范围为1.61 3.6GH z1 3。该团队在2 0 0 0年对上述结构做了改进,在可调谐范围和阻带深度两方面都有很大的改善,如图4所示1 4。将基于G a A s基板的微带线通带扩展到2 6.5GH z后,在相同磁化方向下实现阻带调谐范围为2.52 3GH z,最大阻带深度可达-3 8d B。Y I G带阻滤波器实现的阻带都较窄,若想获得大的吸收带宽,可考虑非均匀磁场对阻带产生的影响。2 0 0 5年,T s a i.C.S等将2个基于单阶Y I G薄膜设计的Y I G带阻滤波器结构级联,2个滤波器分别置于不同磁场大小的外加磁场内,将2个中心765 第4期刘凌彤等:Y I G带阻滤波器的研究进展频率不同但相近的阻带叠加,在通带外电路提供宽调谐范围(13 0GH z),实现极大的吸收带宽。如在1 1GH z的阻带中心频率处显示出19 0 0MH z的大吸收带宽,但平均吸收峰值较低,约为1 3d B1 5。图4 基于单阶Y I G薄膜设计的Y I G带阻滤波器虽然基于单个Y I G薄膜设计的各类磁调滤波器早已应用在系统中1 5,但要使单阶Y I G带阻滤波器实现较好的阻带性能,Y I G薄膜的使用面积通常较大(见图4)。考虑到Y I G谐振器成本和滤波器更大的阻带抑制,减小Y I G薄膜使用面积,采用多阶Y I G谐振器是一种实现更高性能且结构紧凑滤波器的途径。2 0 0 3年,M a r c e l l iR等1 6提出了一种基于2个级联Y I G/钆镓石榴石(G G G)谐振器组合的微波可调谐带阻滤波器结构,如图5所示。谐振器为Y I G薄膜,与文献1 3-1 5相比,该谐振器结构更紧凑。利用静磁表面波技术,频率可调谐范围为1 01 7GH z,全频带内阻带深度大于1 5d B,最大阻带深度可达-4 0d B。2 0 0 6年,M a r c e l l iR等提出了新的基于两个级联Y I G/G G G谐振器组合的微波可调谐带阻滤波器结构1 7,用共面波导替代了原微带线结构,在可调谐范围为7.51 1.5GH z内实现阻带深度大于2 5d B。图5 双谐振器Y I G带阻滤波器除利用Y I G薄膜与传输线耦合的结构外,研究者也探索了将Y I G薄膜与周期光栅和电磁带隙结构结合 的 可 能 性。A.M a e d a等 利 用 机 械 工 艺 在Y I G薄膜表面雕刻出各种周期光栅1 8,并利用Y I G光栅制备了一种可调谐带阻滤波器,其在阻带内具有较高的抑制度,在中心频率为3GH z处陷波高达-4 0d B,但阻带外的插入损耗较大。2 0 1 9年,A l i n aC i s m a r u等 探 索 了Y I G薄 膜 与 耦 合 线 结 构 的EMB G谐振器间的耦合,设计了一种调谐范围为51 8GH z的Y I G可调谐带阻滤波器,在高阶模式下阻带深度可达-2 5d B,显示出良好的选择性,电路结构如图6所示1 9。图6 基于EMB G结构的Y I G带阻滤波器4 基于Y I G基板的微带线带阻滤波器以Y I G材料为电路基板设计磁调带阻滤波器是一种新颖的设计思路,但这方面的研究较少,与用Y I G小球或Y I G薄膜来设计可调谐带阻滤波器的设计原理不同,其中心思想是以部分磁化的方式,改变外加偏置磁场H0来控制Y I G基板的张量磁导率,Y I G基板的张量磁导率进一步影响基板上微带线带阻滤波器的中心频率f0,进而实现微带线带阻滤波 器 的 频 率 可 调 谐。2 0 1 9年,Z E RMAN E A等2 0提出一种工作在X波段的Y I G可调谐带阻滤波器,如图7所示。将Y I G材料设为基板,基板上实现方形回匝开口谐振环的超材料图案,微带电路为阻带传输特性,在较低强度范围内改变外加偏置磁场,使Y I G材料处在部分磁化状态,H0影响张量磁导率,进而影响阻带中心频率,在超材料图案形成的阻带中心频率处获得高达1 0.8 1%的可调性,且滤波器整体结构紧凑,实现了滤波器小型化。图7 基于Y I G衬底的磁调带阻滤波器5 结束语以M I C R O L AMB D A公司为首,基于小球结构的Y I G带阻滤波器仍是主流,因为Y I G小球接近于椭圆结构,具有温度稳定轴可调节,激发的射频磁场均匀等优点,现利用小球结构的Y I G带阻滤波器的设计理论已较成熟,但Y I G小球腔体结构设计复杂,结构立体,不便于微波集成。此外,目前这类器件的直通传输低于2 0GH z2 1,这些问题限制了Y I G带阻滤波器在更高频率及多功能集成方面的865压 电 与 声 光2 0 2 3年 发展。在国内工艺方面仍存在改进的空间,主要集中在Y I G小球的量产、器件装配及调试等方面,使用平面结构的Y I G薄膜可避免小球结构面临的谐振器晶向 调节、制备、装配及集成 化等方面的 问题2 2。目前采用单个Y I G薄膜谐振器的Y I G带阻滤波器虽然可实现阻带的激励,但存在阻带深度小及带宽窄等缺点。这类Y I G带阻滤波器的Y I G薄膜平面面积较大,存在磁路体积大和功耗高等问题。减小Y I G薄膜的使用面积并采用多谐振器结构的Y I G带阻滤波器具有低成本、小体积及低功耗等优点。多谐振器结构能够增强阻带的选择性,加大阻带内的衰减,所以无论是经济或性能上,多谐振器结构Y I G带阻滤波器更具有工程实用意义。但与小球结构相比,Y I G薄膜会面临退磁场大、激励的射频磁场不均匀易激寄生阻带等问题。将Y I G材料设作电路基板为Y I G带阻滤波器平面化设计提供了新思路,目前用这种方法设计的Y I G带阻滤波器的结构紧凑,易集成,但阻带中心频率的可调谐范围窄,线性度低,不能很好地满足工程需求。总体来说,与Y I G小球相比,Y I G薄膜仍在微波易集成及低成本等方面具备优势。随着器件将朝向集成化发展,利用Y I G薄膜技术,设计更紧凑平面化的多倍频程调谐的Y I G带阻滤波器迫在眉睫,进一步推动整机的小型化、轻量化发展。参考文献:1 冯辉煜.62 6.5GH zY I G带阻滤波器设计与仿真J.通讯世界,2 0 1 8(2):1 2 6-1 2 7.F E N G H u i y u.D e s i g na n ds i m u l a t i o no f62 6.5GH zY I Gb a n d-s t o pf i l t e rJ.C o mm u n i c a t i o n W o r l d,2 0 1 8(2):1 2 6-1 2 7.2 崔荃,李兰琼,雍涛.基于Y I G技术的四通道干扰抑制模块的设计与研究J.通讯世界,2 0 2 1,2 8(1 1):1 5-1 7.C U IQ u a n,L IL a n q i o n g,YON G T a o.D e s i g na n dr e-s e a r c ho f f o u r-c h a n n e l i n t e r f e r e n c es u p p r e s s i o nm o d u l eb a s e do nY I Gt e c h n o l o g yJ.C o mm u n i c a t i o n W o r l d,2 0 2 1,2 8(1 1):1 5-1 7.3 隋明明,张平川,张星梅.一种微型化Y I G带阻滤波器设计J.通讯世界,2 0 2 0,2 7(5):3 7-3 8.S U I M i n g m i n g,Z HA N G P i n g c h u a n,Z HA N G X i n g m e i.D e s i g no f am i n i a t u r i z e dY I Gb a n d-s t o pf i l t e rJ.C o m-m u n i c a t i o nW o r l d,2 0 2 0,2 7(5):3 7-3 8.4 何卫国,全海江,陈劲松.Y I G调谐带阻滤波器的新应用J.磁性材料及器件,2 0 0 7,3 8(6):2 9-3 3,4 4.HE W e i g u o,QUAN J i a n g h a i,CHE N J i n g s o n g.N e wa p p l i c a t i o no fY I Gt u n e db a n d-s t o p f i l t e rJ.M a g n e t i c-M a t e r i a l sa n dD e v i c e s,2 0 0 7,3 8(6):2 9-3 3,4 4.5 D U S,YANG Q,WANG M,e ta l.A m a g n e t i c a l l yt u n a b l eb a n d p a s s f i l t e rw i t hh i g ho u t-o fb a n ds u p p r e s-s i o nJ.I E E ET r a n s a c t i o n so nM a g n e t i c s,2 0 2 2,5 8(8):1-56 王津丰,谌贵和,刘进.可变带宽Y I G调谐带阻滤波器仿真设计J.磁性材料及器件,2 0 1 3(5):4 9-5 3.WANGJ i n f e n g,CHE N G u i h e,L I UJ i n.S i m u l a t i o nd e-s i g no fv a r i a b l eb a n d w i d t hY I Gt u n e db a n d s t o pf i l t e rJ.M a g n e t i cm a t e r i a l sa n dd e v i c e s,2 0 1 3(5):4 9-5 3.7 甘本祓,吴万春.微波单晶铁氧体磁调滤波器M.北京:科学出版社,1 9 7 2.8 钟 智 勇,微 波 磁 性 器 件 基 础 M.北 京:科 学 出 版社,2 0 2 09 ME Z AKJA,P A R R OT T R A.M u l t i-c o n d u c t o rf e r r o-m a g n e t i cr e s o n a n tc o u p l i n g s t r u c t u r e:U S 0 6/0 3 9 9 0 7P.1 9 7 9-0 5-1 7.1 0何成潘.21 8GH z超宽带Y I G调谐带阻滤波器J.磁性材料及器件,2 0 0 9,4 0(6):5 5-5 6.HEC h e n g p a n.21 8GH zu l t r a-w i d e b a n dY I Gt u n e db a n d-s t o pf i l t e rJ.M a g n e t i c m a t e r i a l sa n dd e v i c e s,2 0 0 9,4 0(6):5 5-5 6.1 1B R OWN E J.D u a l-c h a n n e l Y I G s f i l t e r s i g n a l s t o1 8GH zJ.M i c r o w a v e s&R F,2 0 0 8,4 7(1 0):1 1 6-1 1 7.1 2B R OWN EJ.T e s t f i l t e r t u n e0.5t o5 0GH zJ.M i c r o-w a v e s&R F,2 0 1 1,5 0(1):1 1 2-1 1 2.1 3CHE NS T,S U J.A w i d e b a n de l e c t r o n i c a l l yt u n a b l em i c r o w a v en o t c hf i l t e ri ny t t r i u mi r o ng a r n e t-g a l l i u ma r s e n i d e m a t e r i a l s t r u c t u r eJ.A p p l i e d P h y s i c sL e t t e r s,1 9 9 9,7 4(1 4):2 0 7 9-2 0 8 0.1 4CHE NST.W i d e b a n dt u n a b l em i c r o w a v ed e v i c e su s i n gf e r r o m a g n e t i c f i l m-g a l l i u ma r s e n i d em a t e r i a l s t r u c t u r e sJ.J o u r n a lo f M a g n e t i s m&M a g n e t i c M a t e r i a l s,2 0 0 0,2 0 9(1/3):1 0-1 4.1 5T S A ICS,Q I U G,G AO H,e ta l.T u n a b l ew i d e b a n dm i c r o w a v eb a n d-s t o pa n db a n d-p a s s f i l t e r su s i n gY I G/G G G-G a A s l a y e rs t r u c t u r e sJ.I E E ET r a n s a c t i o n so nM a g n e t i c s,2 0 0 5,4 1(1 0):3 5 6 8-3 5 7 0.1 6MA R C E L L IR,S A J I N G,C R A C I UNO I U F,e ta l.B a n d-s t o pm a g n e t o s t a t i cw a v er e s o n a t o r so nm i c r o m a-c h i n e ds i l i c o n m e m b r a n eC/S.l.:C o n f e r e n c eo nMEM S C o m p o n e n t sa n d A p p l i c a t i o n sf o rI n d u s t r y,A u t o m o b i l e s,A e r o s p a c e,a n dC o mm u n i c a t i o nI I,2 0 0 3,4 9 8 1:1 5 6-1 6 3.(下转第5 7 8页)965 第4期刘凌彤等:Y I G带阻滤波器的研究进展A n a l y t i c a lC h e m i s t r y,2 0 1 9,9 1(9):5 8 3 4-5 8 4 0.5 P A T I M I S C O P,S AMP AO L O A,G I G L I O M,e ta l.T u n i n gf o r k sw i t ho p t i m i z e dg e o m e t r i e s f o rq u a r t z-e n-h a n c e dp h o t o a c o u s t i cs p e c t r o s c o p yJ.O p t i c sE x p r e s s,2 0 1 9,2 7(2):1 4 0 1-1 4 1 5.6 WU H o n g p e n g,Y I NX u k u n,D ON GL e i,e t a l.S i m u l t a-n e o u s d u a l-g a sQ E P A S d e t e c t i o n b a s e d o n af u n d a m e n t a l a n do v e r t o n ec o m b i n e dv i b r a t i o no f q u a r t zt u n i n gf o r kJ.A p p lP h y sL e t t,2 0 1 7,1 1 0(1 2):1 2 1 1 0 4.7 P A T I M I S C OP,S AMP AO L OA,G I G L I O M,e t a l.O c-t u p o l ee l e c t r o d ep a t t e r nf o rt u n i n gf o r k sv i b r a t i n ga tt h ef i r s to v e r t o n em o d ei nq u a r t z-e n h a n c e dp h o t o a c o u s t i cs p e c t r o s c o p yJ.O p t i c sL e t t e r s,2 0 1 8,4 3(8):1 8 5 4-1 8 5 7.8 袁宇鹏,张灵舒,李小飞,等.基于纳米修饰导电高分子的电化学气体报警器J.压电与声光,2 0 2 1,4 3(6):7 9 5-7 9 8.YUAN Y u p e n g,Z HAN G L i n g s h u,L IX i a o f e i,e ta l.E l e c t r o c h e m i c a lg a s a l a r m d e t e c t o r b a s e d o n n a n om o d i f i e d c o n d u c t i v e p o l y m e rJ.P i e z o e l e c t r i c s&A c o u s t o o p t i c s,2 0 2 1,4 3(6):7 9 5-7 9 8.9 P A T I M I S C OP,S AMP AO L O A,D ON GL e i,e ta l.A-n a l y s i s o ft h e e l e c t r o-e l a s t i c p r o p e r t i e s o f c u s t o mq u a r t zt u n i n gf o r k sf o ro p t o a c o u s t i cg a ss e n s i n gJ.S e n s o r s a n dA c t u a t o r sB:C h e m i c a l,2 0 1 6,2 2 7:5 3 9-5 4 6.1 0李康敏,张柯,刘永斌,等,压电悬臂梁振动控制系统联合仿 真 与 实 验 研 究 J.压 电 与 声 光,2 0 2 2,4 4(6):9 1 7-9 2 4.L IK a n g m i n,Z HANGK e,L I U Y o n g b i n,e ta l.C o-s i m-u l a t i o n a n d e x p e r i m e n t a l s t u d y o n p i e z o e l e c t r i cc a n t i l e v e rb e a mv i b r a t i o nc o n t r o l s y s t e mJ.P i e z o e l e c-t r i c s&A c o u s t o o p t i c s,2 0 2 2,4 4(6):9 1 7-9 2 4.(上接第5 6 9页)1 7C I S MA R U A,MA R C E L L IR.C P W m a g n e t o s t a t i cw a v eb a n d s t o p r e s o n a t o r sC/S.l.:3 5 t h E u r o p e a nM i c r o w a v eC o n f e r e n c e(E u M C),2 0 0 5,3 5(1/3):1 9 7-2 0 0.1 8MA E D AA,S U S A K IM.M a g n e t o s t a t i cw a v ep r o p a g a t i o ni ny t t r i u m-i r o n-g a r n e tw i t hm i c r o f a b r i c a t e ds u r f a c e sJ.I E E ET r a n s a c t i o n so nM a f n e t i c s,2 0 0 6,4 2:3 0 9 6-3 0 9 8.1 9C I S MA RU,A L D R I GO,M,I O R D AN E S C U S,e ta l.EMB Gm a g n e t o s t a t i cw a v eb a n ds t o pr e s o n a t o r sC/P a r i s,F r a n c e:S y m p o s i u mo nD e s i g n,t e s t,I n t e g r a t i o n&P a c k a g i n go fMEM Sa n dMO EM S(D T I P),2 0 1 9.2 0Z E RMAN E A,S AUV I A C B,D J OUA B L I A L,e ta l.T u n a b i l i t yo f m e t a m a t e r i a lc o m p a c tb a n d-s t o pf i l t e r su s i n g Y I G s u b s t r a t eJ.J o u r n a lo fE l e c t r o m a g n e t i cW a v ea n dA p p l i c a t i o n s,2 0 1 9,2 2(1 3):1-9.2 1燕志刚,王大勇,陈运茂,等.带状线谐振器结构及由谐振器结构组成的磁调谐陷波器:C N 2 0 2 0 1 0 5 7 9 5 3 4.XP.2 0 2 0-0 6-2 3.2 2D US,YAN GQ,F ANX,e t a l.Ac o m p a c t a n d l o w-l o s st u n a b l eb a n d p a s s f i l t e r u s i n gY I G/G G Gf i l ms t r u c t u r e sJ.I E E EM i c r o w a v e a n d W i r e l e s s T e c h n o l o g yL e t t e r s,2 0 2 2,3 3(3):2 5 9-2 6 2.(上接第5 7 3页)3 L AM CS.Ar e v i e wo f t h e t i m i n ga n df i l t e r i n gt e c h n o l-o g i e si ns m a r t p h o n e sC/N e w O r l e a n s,L A,U S A:2 0 1 6I E E EI n t e r n a t i o n a lF r e q u e n c yC o n t r o lS y m p o s i u m(I F C S),I E E E,2 0 1 6:1-6.4 Z HOUC,YAN G Y,C A IH,e ta l.T e m p e r a t u r e-c o m-p e n s a t e dh i g h-f r e q u e n c ys u r f a c ea c o u s t i cw a v ed e v i c eJ.I E E E E l e c t r o n D e v i c e L e t t e r s,2 0 1 3,3 4(1 2):1 5 7 2-1 5 7 4.5 A B B OT TB,CHE N A,D AN I E LT,e ta l.T e m p e r a t u r ec o m p e n s a t e ds a ww i t hh i g hq u a l i t yf a c t o rC/W a s h-i n g t o n,D C,U S A:2 0 1 7I E E EI n t e r n a t i o n a lU l t r a s o n i c sS y m p o s i u m(I U S),I E E E,2 0 1 7:1-1.6 R U B YR,G I L B E R TS,L E ESK,e t a l.N o v e l t e m p e r a-t u r e-c o m p e n s a t e d,s i l i c o nS AW d e s i g nf o rf i l t e ri n t e-g r a t i o nJ.I E E E M i c r o w a v ea n dW i r e l e s sC o m p o n e n t sL e t t e r s,2 0 2 1,3 1(6):6 7 4-6 7 7.7 张文斌,高岳,张敏杰.晶圆超精密磨削加工表面层损伤的研究J.电子工业专用设备,2 0 1 5,4 4(5):2 1-2 4.Z HANG W e n b i n,G AOY u e,Z HANG M i n j i e.S t u d yo ns u r f a c e l a y e rd a m a g ei nw a f e ru l t r a-p r e c i s i o ng r i n d i n gJ.S p e c i a lE q u i p m e n tf o rE l e c t r o n i cI n d u s t r y,2 0 1 5,4 4(5):2 1-2 4.875压 电 与 声 光2 0 2 3年