二氧化钒薄膜.pptx
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1、二氧化钒(二氧化钒(二氧化钒(二氧化钒(vovo2 2 )薄膜薄膜薄膜薄膜ThemeGallery王翔雲王翔雲自自强强不不息息独独树树一一帜帜ContentsContents4VOVO2 2薄膜的发展薄膜的发展1235VOVO2 2薄膜的应用薄膜的应用VOVO2 2薄膜的制备薄膜的制备VOVO2 2薄膜的性能及表征薄膜的性能及表征总结总结自自强强不不息息独独树树一一帜帜VOVOVOVO2 2 2 2薄膜的发展:薄膜的发展:薄膜的发展:薄膜的发展:20世纪50年代末,F.J.Morin 发现二氧化钒在341K(68oC)存在半导体到金属的相变转换,称为SMT。从那时起,人们对VO2的金属半导体相
2、变以及与这些相变伴随的光学和电学性质上的突然变化很感兴趣。到了90年代初期,美国Honeywell公司研制成功一种利用二氧化钒薄膜作为热敏材料的新型红外器件后,对而氧化钒特性的研究己经日益引起人们广泛的兴趣。迄今,VO2薄膜应经广泛应用在智能窗、光电开关、激光保护层、红外传感器、信息储存介质、航天器热控、军事伪装等方面。自自强强不不息息独独树树一一帜帜VO2VO2的应用:的应用:的应用:的应用:光电开关光电开关智能窗智能窗能起到自动调节室外太阳辐射能流和室内因热传递、对流、辐射损耗的热量,避免室内过热或过冷,同时不影响室内的采光。激光保护激光保护利用其红外波段光学特性的突变性质作为3-5m 和
3、8-12m波段红外探测器的激光防护材料。红外传感红外传感 器器MEMS 非致冷红外传感器具有体积小、重量轻、功耗小、易维护等优点。光储存光储存常见的有CD、VCD、DVD、电脑光碟、游戏碟、软件碟等。VO2的金属半导体相变。自自强强不不息息独独树树一一帜帜VOVO2 2薄膜的制作方法:薄膜的制作方法:薄膜的制作方法:薄膜的制作方法:化学气相沉积法化学气相沉积法蒸镀法蒸镀法热氧化法热氧化法溶胶溶胶-凝胶法凝胶法脉冲激光沉积脉冲激光沉积VO2实验周期短、样品表面均匀、光电性能好。自自强强不不息息独独树树一一帜帜自自强强不不息息独独树树一一帜帜脉冲激光沉积(脉冲激光沉积(脉冲激光沉积(脉冲激光沉积(
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