压电型传感器与测量电路111素材.pptx
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1、第三章、压电型传感器与测量电路第三章、压电型传感器与测量电路图图:正(顺)压电效应示意图正(顺)压电效应示意图第第3 3章、压电型传感器与测量电路章、压电型传感器与测量电路压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应,压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应,是一种典型的有源传感器。是一种典型的有源传感器。通过材料受力作用变形时,其表面会有电荷产生而实现非电通过材料受力作用变形时,其表面会有电荷产生而实现非电量测量。在各种动态力、机械冲击与振动测量,以及声学、医量测量。在各种动态力、机械冲击与振动测量,以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。学、力学、宇航等方面
2、都得到了非常广泛的应用。3.1 3.1 压电效应及压电材料压电效应及压电材料 3.1.13.1.1、压电效应及压电材料、压电效应及压电材料某些离子型晶体电介质,当沿着一定方向对其施力而使某些离子型晶体电介质,当沿着一定方向对其施力而使晶体变形时,内部就产生极化现象,同时在它的两个表面上晶体变形时,内部就产生极化现象,同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷,当外力去掉后,又重新恢复到不带便产生符号相反的电荷,当外力去掉后,又重新恢复到不带电状态,这种现象称压电效应。电状态,这种现象称压电效应。当作用力方向改变时,电荷的极性也随之改变。当作用力方向改变时,电荷的极性也随之改变。有时人有时人们把这
3、种机械能转换为电能的现象,称为们把这种机械能转换为电能的现象,称为“正压电效应正压电效应”。当在电介质极化方向施加电场,这些电介质也会产生几何当在电介质极化方向施加电场,这些电介质也会产生几何变形,这种现象称为变形,这种现象称为“逆压电效应逆压电效应”(电致伸缩效应电致伸缩效应)。具有压电效应的材料称为压电材料,压电材料能实现机一具有压电效应的材料称为压电材料,压电材料能实现机一电能量的相互转换,电能量的相互转换,如图如图3-13-1所示。所示。FF极化面Q压电介质正压电效应逆压电效应T(S)电能Q(E)机械能图图3-1 3-1 压电效应压电效应(a)(b)+-在自然界中大多数在自然界中大多数
4、晶体晶体都具有压电效应,但压电效应十都具有压电效应,但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究,发现石英晶体、钛酸钡、分微弱。随着对材料的深入研究,发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。二、压电材料及特性二、压电材料及特性压电传感器中的压电元件材料一般有三类:压电传感器中的压电元件材料一般有三类:压电晶体(如石英晶体);压电晶体(如石英晶体);经过极化处理的压电陶瓷;经过极化处理的压电陶瓷;高分子压电材料;高分子压电材料;图图:石英晶体石英晶体(a)晶体外形;晶体外形;(b)切割方向;切割方向;(c)晶片晶片 现象:现象:(a)是在)是在X
5、轴方向受压力,(轴方向受压力,(b)是在)是在X轴方向受拉力,(轴方向受拉力,(c)是在)是在Y轴方向受压力,(轴方向受压力,(d)是在)是在Y轴方向受拉力轴方向受拉力石英晶体的压电机理分析石英晶体的压电机理分析石英的晶体结构为六方晶体系,化学式为石英的晶体结构为六方晶体系,化学式为SiOSiO2 2。定义:定义:lx x:垂直此轴压电效应最强。称为电轴。:垂直此轴压电效应最强。称为电轴。ly y:在电场作用下变形最大,称为机械:在电场作用下变形最大,称为机械轴。轴。lz z:无压电效应,中心轴,也称光轴。:无压电效应,中心轴,也称光轴。当在轴当在轴x方向施加作用力时方向施加作用力时,在与电轴
6、在与电轴 x 垂直的平面上将产生电荷垂直的平面上将产生电荷,其大小为其大小为 qx=d11 Fx 式中式中:d11x方向受力的压电系数方向受力的压电系数;Fx作用力作用力若在同一切片上若在同一切片上,沿轴沿轴y方向施加作用力方向施加作用力Fy,则则仍在与仍在与x轴垂直的平面上产生电荷轴垂直的平面上产生电荷qy,其大小为:其大小为:qy=d12fya/b 式中式中:d12y轴方向受力的压电系数轴方向受力的压电系数,d12=-d11;a、b晶体切片长度和厚度。晶体切片长度和厚度。一种天然晶体,压电系数一种天然晶体,压电系数d112.311012C/N;2 2、等效电路及信号变换电路、等效电路及信号
7、变换电路压电元件的等效电路;压电元件的等效电路;压电式传感器的信号调节电路;压电式传感器的信号调节电路;1.1.压电元件的等效电路压电元件的等效电路2.压电式传感器的等效电路压电式传感器的等效电路(a)、等效为一个电荷源、等效为一个电荷源Q与一个电容与一个电容Ca并联的电路;并联的电路;(b)、等效成一个电源、等效成一个电源U=Q/Ca 和一个电容和一个电容Ca的串联电路;的串联电路;3、压电材料的加载结构、压电材料的加载结构由于压电材料的电荷是有极性的,因此接法也有两种。由于压电材料的电荷是有极性的,因此接法也有两种。图图2-2(a)2-2(a)是两个压电片的负端粘结在一起,是两个压电片的负
8、端粘结在一起,中间插入的金属电中间插入的金属电极成为压电片的负极,正电极在两边的电极上。极成为压电片的负极,正电极在两边的电极上。从电路上看,从电路上看,这是并联接法,类似两个电容的并联。这是并联接法,类似两个电容的并联。图图2-2(b)2-2(b)是两压电片不同极性端粘结在一起,从电路上看是串是两压电片不同极性端粘结在一起,从电路上看是串联的。联的。图图2-2 2-2 压电元件的连接方式压电元件的连接方式(a a)相同极型端粘接)相同极型端粘接并联并联 (b b)不同极性端粘接)不同极性端粘接串联串联l两个压电片的联结方式两个压电片的联结方式(a)“并联并联”,Q=2Q,U=U,C=2C;并
9、联接法输出电荷大,本身电容大,时间常数大;并联接法输出电荷大,本身电容大,时间常数大;适宜用在测量慢变信号并且适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的地方。以电荷作为输出量的地方。(b)“串联串联”Q=Q,U=2U,C=C/2;而串联接法输出电压大,本身电容小;而串联接法输出电压大,本身电容小;适宜适宜用于以电压作输出信号,且测量电路输入阻抗很高的地方。用于以电压作输出信号,且测量电路输入阻抗很高的地方。压电式传感器中的压电元件,按其受力和变形方式不同,压电式传感器中的压电元件,按其受力和变形方式不同,大致有大致有厚度变形、长度变形、体积变形和厚度剪切变形等厚度变形、长度变形、体积变形和厚度
10、剪切变形等几几种形式,如图种形式,如图2-32-3所示。目前最常使用的是厚度变形的压缩所示。目前最常使用的是厚度变形的压缩式和剪切变形的剪切式两种。式和剪切变形的剪切式两种。图图2-3 2-3 压电元件加载方式压电元件加载方式l压电式传感器的输出可以是电压信压电式传感器的输出可以是电压信号,也可以是电荷信号。号,也可以是电荷信号。电压放大器电压放大器电荷放大器电荷放大器2.22.2、压电式传感器的测量电路、压电式传感器的测量电路(二)压电式传感器的信号调节电路(二)压电式传感器的信号调节电路1.1.压压电电式式传传感感器器要要求求负负载载电电阻阻R RL L必必须须有有很很大大的的数值,数值,
11、才能使测量误差小到一定数值以内。才能使测量误差小到一定数值以内。2.2.常常先先接接入入一一个个高高输输入入阻阻抗抗的的前前置置放放大大器器,然然后再接一般的放大电路及其它电路。后再接一般的放大电路及其它电路。压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量压电传感器在实际使用时总要与测量仪器或测量电路相连接,因此还电路相连接,因此还需考虑连接电缆的等效电容需考虑连接电缆的等效电容CcCc,放大器的输入电阻放大器的输入电阻RiRi、输入电容、输入电容CiCi以及压电传感器的以及压电传感器的泄漏电阻泄漏电阻RaRa。这样一来,压电传感器在测量系统中的这样一来,压电传感器在测量系统中的实际等效电路如图实
12、际等效电路如图2-52-5所示。所示。图图2-5 2-5 压电传感器的实际等效电路压电传感器的实际等效电路(a a)电压源)电压源 (b b)电流源)电流源(a)(b)CaUaCaQCcRaRiCiRiCiCcRa(1 1)电压放大器)电压放大器C Ca a:传感器的电容;:传感器的电容;R Ra a:传感器的漏电阻;:传感器的漏电阻;C Cc c:连接电缆的等效电容;:连接电缆的等效电容;R Ri i:放大器的输入电阻;:放大器的输入电阻;C Ci i:放大器的输入电容;:放大器的输入电容;l电压放大器电压放大器CaCa压电式传感器在与电压放大器压电式传感器在与电压放大器配合使用时,配合使用
13、时,连接电缆不能太连接电缆不能太长。电缆长,电缆电容长。电缆长,电缆电容CcCc就大,就大,电缆电容增大必然使传感器的电缆电容增大必然使传感器的电压灵敏度降低。电压灵敏度降低。若若压压电电元元件件受受正正弦弦力力F=FF=Fm msintsint的的作作用用,则则其其电电压为压为:式中:式中:Um压电元件输出电压幅值,压电元件输出电压幅值,Um=dFm/Ca;d压电系数。压电系数。当作用力是静态力(当作用力是静态力(=0=0)时,前置放大器的输入电压为零。原)时,前置放大器的输入电压为零。原理上决定了压电式传感器不能测量静态物理量。理上决定了压电式传感器不能测量静态物理量。压电式传感器突出优点
14、:高频响应相当好。压电式传感器突出优点:高频响应相当好。电荷放大器电荷放大器UoRaRiUiCfCcCiCaq(1+A)CF(Ca+Cc+Ci)Ucf=Ui-Ucf=Ui-(-AUi-AUi)=Ui=Ui(1+A1+A);Q=Qa+Qc+Qi+Qf=Ui;Q=Qa+Qc+Qi+Qf=Ui(Ca+Cc+Ci+Ca+Cc+Ci+(1+A1+A)CfCf)1 1、加速度传感器、加速度传感器:压电加速度传感器,压电加速度传感器,如右图所示。使用时,传感器固定在被测如右图所示。使用时,传感器固定在被测物体上,感受该物体的振动,惯性质量块物体上,感受该物体的振动,惯性质量块产生惯性力,使压电元件产生变形。
15、产生惯性力,使压电元件产生变形。压电元件的变形而压电元件的变形而产生的电荷与加速度成产生的电荷与加速度成正比。正比。三、压电式传感器的应用三、压电式传感器的应用压电加速度传感器可以做压电加速度传感器可以做得很小,重量很轻,故对得很小,重量很轻,故对被测机构的影响就小。被测机构的影响就小。压电加速度传感器的频率压电加速度传感器的频率范围广、动态范围宽、灵范围广、动态范围宽、灵敏度高、应用较为广泛。敏度高、应用较为广泛。UoRaRiUiCfCcCiCaqU U0 0=q/c=q/cf f,q q ka图图2-6所示为用压电式加速度传感所示为用压电式加速度传感器探测桥墩水下部位裂纹。器探测桥墩水下部
16、位裂纹。通过放电炮的方式使水箱振动通过放电炮的方式使水箱振动(激激振器振器),桥墩将承受垂直方向的激,桥墩将承受垂直方向的激励,用压电式加速度传感器测量桥励,用压电式加速度传感器测量桥墩的响应,压电元件受震动产生电墩的响应,压电元件受震动产生电荷。荷。将压电元件受震动产生电荷经电荷将压电元件受震动产生电荷经电荷放大器进行放大后送入数据记录仪,放大器进行放大后送入数据记录仪,再将记录下的信号输入频谱分析设再将记录下的信号输入频谱分析设备,经频谱分析后就可判定桥墩有备,经频谱分析后就可判定桥墩有无缺陷。无缺陷。图图2-6(a)为探测示意图。为探测示意图。没有缺陷没有缺陷的桥墩为一坚固整体,加速度响
17、应的桥墩为一坚固整体,加速度响应曲线为单峰,如图曲线为单峰,如图2-6(b)所示所示。若。若桥墩有缺陷,桥墩有缺陷,激励后的加速度响应激励后的加速度响应曲线将显示出双峰或多峰,曲线将显示出双峰或多峰,如图如图3-6(c)所示。所示。图图2-6 2-6 探测桥墩水下部分裂纹示意图探测桥墩水下部分裂纹示意图(3 3)压电式动态力传感器以及在)压电式动态力传感器以及在车床中用于动态切削力的测量车床中用于动态切削力的测量 三、压电式金属加工切削力测量三、压电式金属加工切削力测量如图是利用压电陶瓷传感器测量刀具切削力。如图是利用压电陶瓷传感器测量刀具切削力。由于压电陶瓷元件的自振频率高由于压电陶瓷元件的
18、自振频率高,特别适合测量特别适合测量变化剧烈的载荷。图中变化剧烈的载荷。图中压电传感器位于车刀前部压电传感器位于车刀前部的下方的下方,当进行切削加工时当进行切削加工时,切削力通过刀具传切削力通过刀具传给压电传感器给压电传感器,压电传感器将切削力转换为电信压电传感器将切削力转换为电信号号Q Q输出。输出。电荷的变化便测得切削力的变化电荷的变化便测得切削力的变化。U U0 0=q/c=q/cf f,q q kF4 4、压电式测力传感器压电式测力传感器压电式测力传感器压电式测力传感器 它用两块晶片作传感元件,它用两块晶片作传感元件,被测被测力通过传力上盖力通过传力上盖l l使石英晶片使石英晶片2 2
19、沿沿电轴方向受压力作用,由于正压电轴方向受压力作用,由于正压电效应使石英晶片在电轴方向上电效应使石英晶片在电轴方向上出现电荷,两块晶片是并联叠加,出现电荷,两块晶片是并联叠加,负电荷由形电极负电荷由形电极3 3输出。输出。两片并联可提高其灵敏度。两片并联可提高其灵敏度。电荷电荷的变化便测得的变化便测得压力压力的变化的变化。这种结构的单向力传感器体积小、这种结构的单向力传感器体积小、质量轻质量轻(仅仅10 g)10 g),固有频率高,固有频率高(约(约505060 kHz)60 kHz)。图图2-11YDS-7812-11YDS-781压电式力传感器压电式力传感器1.1.传传力上盖;力上盖;2.
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