HitachiS4800型扫描电镜简易操作指南.pptx
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1、Hitachi S-4800 型扫描电镜简易操作指南注意!本文件的目的在于帮助用户记忆培训的内容,不能代替培训。有意自己操作扫描电镜的用户请到现场参加培训。为了把此文件的篇幅限制在一个合理程度,文件内容难于面面俱到。欢迎各位对本文件的内容提出宝贵意见!S4800 扫描电镜外观S4800 扫描电镜剖面图S-4800主要技术参数二次电子成像分辨率二次电子成像分辨率1.0nm15KV放大倍数放大倍数20 800000 加速电压加速电压0.130kV样品台样品台三轴马达台三轴马达台样品最大尺寸样品最大尺寸 100mm扫描电镜使用时的安全注意事项扫描电镜及其附属设备中有高压电、低温、高温、高压气流等危险
2、因素,因此不正确的使用有可能造成人身伤亡。请您正确操作仪器,不要打开仪器的面板或试图接触培训过程中未允许您操作的部分,即使您对自己的操作很有信心。未获得授权的用户请勿操作电镜。请勿用扫描电镜观察磁性样品,磁性样品有可能给电镜造成严重伤害。如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况,请垂询技术员彭开武/闫晓英(Tel:82545516/82545517)。S4800扫描电镜的基本操作过程启动操作程序PCSEM观察样品加载样品加高压及条件设定调节电子光学系统记录图像SEM数据管理器图像处理取出样品刻录光盘结束操作1、启动操作程序PCSEM打开显示器Display的开关;系统启动,要求输入系统的用户
3、名和密码;核实用户名和密码后,电镜操作程序PCSEM自动启动,要求输入程序的用户名和密码;核实用户名和密码后,电镜操作程序打开。2、加载样品1)将样品装在样品托(specimen stub)上(1)根据样品大小选择合适尺寸的样品托(15mm,1inch,1.5inch,2inch);(2)用碳导电胶带或银导电胶将样品粘在样品托上。注意:(a)对于不导电或导电性不好的样品,需要进行喷金等的导电处理;(b)当在较高倍率下观察时(大于等于10万倍),建议使用银导电胶,可以防止样品漂移;用了导电胶的样品需要用台灯烤干或用吹风机吹干后再插入样品室。2、加载样品2)将样品托装在样品架(specimen h
4、older)上(1)把样品托安装在样品架的顶端;(2)调整样品的高度,使得样品的上表面与样品高度计的下面尽量相平。注意:(a)取放样品操作时必须带手套以减少污染;(b)必须使用样品高度计调节样品的高度,使WD与Z尽量保持一致,这样不仅操作性好,而且有利于保护仪器和样品。(c)注意调节螺杆(adjusting screw)不要从样品架底座下面伸出来,这样会造成机械故障。2、加载样品3)将样品架插入样品室插入样品之前需要确认:(a)样品台的位置处于交换位置,并且没有处于锁定状态(Lock开关的灯不亮)(b)加速电压处于OFF状态(1)按交换室操作部分的AIR键,使交换室放气;(2)峰鸣器响后(对应
5、键的灯不闪),将交换室打开;(3)轻轻推入交换棒,此时保证交换棒后端的旋钮处于UNLOCK状态;(4)用一只手拿着交换棒的旋钮,另一只手将样品插入交换棒中;2、加载样品(5)按逆时针方向旋转交换棒的旋钮到LOCK状态,然后将交换棒完全拉出;(6)关闭交换室,按EVAC键,交换室抽真空;(7)峰鸣器响后,按OPEN键,打开样品室与交换室之间的门(气阀);(8)峰鸣器响后,一边探视里面,一边将样品架充分地插入样品台的槽中(交换棒推到底);(9)按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置,卸下样品,然后将交换棒完全拉出;(10)按CLOSE键,气阀关闭。3、加高压及条件设定1)设定样品尺寸点击STAG
6、E设定键,在SPECIMEN窗口画面,点击SET键,设定样品的尺寸。2)设定加速高压和发射电流点击加速电压显示部分,设定所需要的加速电压和发射电流。发射电流一般设为10A3)加高压点击ON键,出现确认样品尺寸对话框,确定后,开始自动加电压3、加高压及条件设定4)条件设定(1)选择图形信号及探测器类型:SE,BSE(2)设定工作距离WD(3)设定高度Z Z与WD密切相关,它们设定的先后顺序并不重要,最终目的是在Z与WD的允许范围内使图像聚焦清楚。为安全起见,本机高度Z应在3mm以上(范围330)。4、调节电子光学系统加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质量的图像,通常要进行电子光学
7、系统的调节,也称为合轴或对中(Alignment)。(1)点击ALIGN键,出现合轴画面(2)主要的合轴有:a.电子束合轴:Beam Align 目标:把光圈调到中心b.物镜光栏合轴:Aperture Align目标:把图像晃动量调到最小c.象差校正合轴:Stigma Align X,Y目标:把图像晃动量调到最小(3)操作:调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT X 和Y5、观察样品(1)移动样品可以通过操作面板上的滚动球来实现,在低倍下寻找感兴趣的区域,然后到合适的放大倍数观察和记录图像(2)亮度和对比度调节使用操作面板上的BRIGHT和CONTRAST旋钮,或点击ABCC进行自动调
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