图形电镀工艺指导书样本.doc
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1、资料内容仅供您学习参考,如有不当或者侵权,请联系改正或者删除。图形电镀工艺指导书 编制: 审核: 批准: 一.目的:本指导书规定图形电镀工位的工作内容及步骤。二.范围:适用于图形电镀工位的操作过程。三.设备: LPW706线 MP40021.生产能力:-载料阴极杠宽度1300mm, 共10只阴极杠。-板子最高高度570mm-每小时最多能生产6.3只阴极杠0.62m2=3.94 m2的板子2.程序:01上料03去油04喷淋09微腐蚀04喷淋010预浸11-13或14-15电镀铜04喷淋09微腐蚀04喷淋07浸酸08浸酸05-06电镀铅锡04喷淋02干燥01卸料程序时间: DPF: 非DPF: 0
2、3缸 120S 120S05缸 1040S 720S06缸 1040S 720S07缸 60S 60S09缸 120S 60S11缸 3960S 2700S12缸 3960S 2700S13缸 3960S 2700S14缸 3960S 2700S15缸 3960S 2700S对于特殊要求的型号, 请查阅工艺卡片。四.材料:41 去离子水( 电导率10us/cm PH:5.5-8) 42 自来水43 硫酸( 化学纯) H2SO4( C.P) 44 硼酸( 化学纯) H3BO3( C.P) 45 氟硼酸 50% METEX HBF446 硫酸铜(化学纯) METEX CuSO4.H2O47 氟硼酸
3、锡 50% METEX Sn(BF4)248 氟硼酸铅 50% METEX Pb(BF4)249 镀铜光亮剂 9241410 镀铅锡光亮剂 LA1411 镀铅锡光亮剂 LA2412 镀铅锡光亮剂 LA3413 微腐蚀剂 METEX G-4 MICROETCH414 去油溶液 METEX ACID CLEANER 717415 铜阳极( 高纯度含磷0。4-0。65%) 及阳极袋416 铅锡阳极(铅/锡 37/63)及阳极袋五.工艺与控制:5.1 溶液配制与控制( 按工艺顺序排列) -槽03-去油( DEGREASING) 配制容积: 400L注入80%槽体积(去离子水) 320L。加入 40 L
4、 METEX CLEANER 717(去油溶液)加去离子水至液位, 充分搅拌, 加热。工作温度: 40-60 0C分析: 每周一、 四,进行分析。717浓度:7-12%-槽09-微腐蚀( ETCHING) 配置容积: 400L注入50%槽体积的去离子水( 200L) 加入 20公斤 G-4( METEX) 缓缓加入15L硫酸H2SO4 搅拌加入去离子水至液位, 充分搅拌至充分溶解。工作温度: 20-350C 分析: 每天分析一次G-4 浓度: 20-70G/LH2SO4 浓度: 3%-8% 铜含量25g/L每次分析后将G4添加至60g/L H2SO4添加至5%当溶液中铜含量超过25g/L时,
5、更换溶液。-槽10-浸酸( ACID DIP) 配制容积 340L注入50%槽体积(去离子水).加入20L H2SO4 搅拌。加入去离子水至液面并搅拌每周更换一次。-11-13 电镀铜( COPPER PLATING) 配制容积: 2550 L加入CuSO4.5H2O 800 L(METEX)加入1400L 去离子水并搅拌加入250L H2SO4并搅拌溶液组成: CuSO4.5H2O: 60-100 g/lH2SO4: 160-220 g/l工作温度: 20-300C电流密度:2-3 A/DM2光亮剂9241为自动添加.(生产时每班检测光亮剂流量)范围: 25-35ML/100AH阴极移动+空
6、气搅拌分析: 由实验室每周一,四进行分析.CuSO4.5H2OH2SO4电流密度按工艺要求。保持循环槽与主槽液面差-14-15 电镀铜( COPPER PLATING) 配制容积: 1950 L加入CuSO4.5H2O 450 L(METEX)加入1150L 去离子水并搅拌加入200L H2SO4并搅拌电镀工艺同槽11-13-槽07-氟硼酸( ACID DIP) 配制容积 340L注入50%槽体积(去离子水).加入30L HBF4 搅拌。加入去离子水至液面并搅拌每周更换一次。-槽08-氟硼酸( ACID DIP) 配制容积 340L 注入50%槽体积(去离子水)。加入30L HBF4 搅拌。加
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