制造工艺流程非技术类.pptx
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1、1液晶显示器系列讲座LCD工程部工程部2006年7月12日液晶显示器前后段制造液晶显示器前后段制造工艺基础工艺基础2一、液晶显示器制造工艺流程一、液晶显示器制造工艺流程液晶显示屏液晶显示屏工艺工艺(LCD)前工序(生前工序(生产一部)产一部)整平、灌晶整平、灌晶图形段图形段定向段定向段组合段组合段切割切割灌晶灌晶后工序(生后工序(生产二部)产二部)清洗、定向清洗、定向目测、电测目测、电测贴片、包装贴片、包装31.1液晶显示屏制造工艺流程液晶显示屏制造工艺流程1.1.1前工序图形段前工序图形段涂胶前清洗涂胶前清洗PR CleaningPR Cleaning涂胶涂胶PR CoatingPR Coa
2、ting预烘预烘Pre BakePre Bake曝光曝光ExposureExposure显影显影DevelopingDeveloping坚膜坚膜Post BakePost Bake蚀刻蚀刻EtchingEtching脱膜脱膜StripingStriping投料投料ITO InputITO Input4图案段工艺示意图玻璃基版玻璃基版UV光光掩膜版掩膜版光刻胶光刻胶玻璃基版玻璃基版光刻胶光刻胶KOH显影液显影液光刻胶光刻胶导电材料导电材料光刻胶光刻胶51.1.2前工序定向段前工序定向段TOPTOP前清洗前清洗CleaningCleaning涂涂TOPTOPTOP CoatingTOP Coati
3、ng预固化预固化Pre CurePre Cure紫外改质紫外改质UV CureUV Cure清洗清洗CleaningCleaning涂涂PIPI CoatingCoating预固化预固化Pre CurePre Cure主固化主固化Main CureMain Cure主固化主固化Main ureMain ure6定向段工艺示意图酸酸光刻胶光刻胶玻璃基版玻璃基版玻璃基版玻璃基版导电材料导电材料定向材料定向材料定向材料定向材料71.1.3前工序组合段前工序组合段摩擦摩擦RubbingRubbing摩擦后水洗摩擦后水洗Rubbing Rubbing CleaningCleaning丝印边框丝印边框Se
4、al PrintSeal Print框胶预烤框胶预烤Sealant Pre-bakingSealant Pre-baking喷粉喷粉Spacer SprayerSpacer Sprayer贴合贴合AssemblyAssembly摩擦摩擦RubbingRubbing摩擦后水洗摩擦后水洗Rubbing Rubbing CleaningCleaning丝印银点丝印银点Silver PrintingSilver Printing冷压冷压Hot PressHot Press热压固化热压固化Hot PressHot Press8框胶框胶定向材料定向材料点胶点胶定向材料定向材料撑垫剂撑垫剂液晶盒液晶盒组合段
5、工艺示意图9投料ITO InputITO基板经拆封后,阻值、尺寸、厚度检查确认无误,以25pcs为一篮,装入Cassette中,准备基板清洗制程。10涂胶前洗净PRCleaningPR 前洗净机之工程目的在于去除基上脏点、油污、纤维以达到PR涂布最佳效果。11涂胶PR CoatingITO基板经洗净后,通过光阻涂布机,将光阻均匀涂布于ITO基板上,以便进行下一制程。12预烘PreBakeITO基板经光阻涂布后,利用预烤温度将其中有机溶剂挥发,使涂布后之均匀性更佳。13曝光ExposureITO基板经过光阻涂布预烤后,来到曝光制程,利用光罩将所需的图形曝光复制于ITO基板上,准备进行显影制程。1
6、4显影DevelopingITO基板经曝光后,进行显影制程,利用显影液将所需之图形显现出来。15坚膜Post-baking经显影后之基板,于蚀刻前需另经过固烤制程,使基板上的光阻表面固化,让产品质量更稳定。16显影检查Developing Inspection基板显影完成后,以图案检查机确认基板有无短路&断路,在蚀刻前处理17蚀刻Etching产品进行显影后,准备蚀刻制程,此制程将基板上无光阻部份之ITO利用蚀刻液去除,成为需要之图形。18回顾图案段工艺示意图玻璃基版玻璃基版UV光光掩膜版掩膜版光刻胶光刻胶玻璃基版玻璃基版光刻胶光刻胶KOH显影液显影液光刻胶光刻胶导电材料导电材料光刻胶光刻胶1
7、9脱膜Stripping剥膜制程,目的将其ITO基板上剩余光阻清除,使整片基板上无光阻覆盖,成为有ITO图形之基板。20蚀刻检查Pattern Inspection基板剥膜完成后,以图案检查机确认基板有无短路&断路。21涂TOPTOP Coating利用APR凸版将无机材图形转印于ITO基板上之出pin 端或面内,增加产品可靠性。22预固化Pre Cure经过无机材印刷后之ITO基板需将印刷在上方之无机材烤过,让其中的有机溶剂挥发。23紫外改质UV Cure 经过无机材预烤后之基板,需经过UV照射,使无机材膜预先固化,防止固烤后表面空洞产生。24主固化Main Cure经过无机材印刷并预烤之I
8、TO基板,需通过高温烘烤,使基板上之无机材膜固化。25PI前洗净PI Cleaning配向膜前洗净配向膜前洗净机,彻底清洗基板表面,脏点、油污,以达到配向膜印刷最佳效果。26涂涂PIPI Coating配向膜涂布利用APR凸版将配向膜图形转印于ITO基板面内,作为基板定向用。27PIPI预烤预烤Pre CurePre Cure配向膜预烤经过配向膜印刷后之基板,需将印刷在上方之配向膜烤过,让其中有的机溶剂挥发。28PI主固化Main cure配向膜固烤经过配向膜印刷并预烤之基板,通过一定温度之固烤炉,使基板上之配向膜固化。29摩擦Rubbing定向制程是利用毛绒布与配向膜进行同一角度摩擦得均一之
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