半导体理器件物.pptx
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1、双极结型晶体管双极结型晶体管 1947.12.231947.12.23日第一只点接触晶体管诞生日第一只点接触晶体管诞生-Bell Bell Lab.(BardeenLab.(Bardeen、ShockleyShockley、Brattain)Brattain)1949 1949年提出年提出PNPN结和双极结型晶体管理论结和双极结型晶体管理论-Bell Lab.(Shockley)Bell Lab.(Shockley)19511951年制造出第一只锗结型晶体管年制造出第一只锗结型晶体管-Bell Bell Lab.(Shockley)Lab.(Shockley)195 1956 6年制造出第一只
2、硅结型晶体管年制造出第一只硅结型晶体管-美德州仪器公司(美德州仪器公司(TITI)19561956年年BardeenBardeen、ShockleyShockley、BrattainBrattain获诺获诺贝尔奖贝尔奖 1956 1956年中国制造出第一只锗结型晶体管年中国制造出第一只锗结型晶体管-(吉林大学(吉林大学 高鼎三)高鼎三)19701970年硅平面工艺成熟,双极结型晶体管大年硅平面工艺成熟,双极结型晶体管大批量生产批量生产发展历史发展历史双极结型晶体管双极结型晶体管3.13.1双极结型晶体管的结构双极结型晶体管的结构1.1.双极型晶体管有两种基本结构:双极型晶体管有两种基本结构:P
3、NP PNP 型和型和 NPN NPN 型型双极结型晶体管双极结型晶体管3.13.1双极结型晶体管的结构双极结型晶体管的结构2.2.双极型晶体管工艺复合图双极型晶体管工艺复合图双极结型晶体管双极结型晶体管3.13.1双极结型晶体管的结构双极结型晶体管的结构4)光刻硼扩散窗口光刻硼扩散窗口 1 1)衬底制备)衬底制备 衬底为低阻N型硅,电阻率在 左右,沿(111)面切成厚约 的圆片,研磨抛光到表面光亮如镜。3.3.制造工艺制造工艺2 2)外延)外延 外延层为N型,按电参数要求确定其电阻率及厚度。3 3)一次氧化)一次氧化 高温生长的氧化层用来阻挡硼、磷等杂质向硅中扩散,同时也起表面钝化作用。双极
4、结型晶体管双极结型晶体管3.13.1双极结型晶体管的结构双极结型晶体管的结构5 5)硼扩散和二次氧化)硼扩散和二次氧化 硼扩散后在外延层上形成P型区,热生长的氧化层用来阻挡磷向硅中扩散,并起钝化作用。6 6)光刻磷扩散窗口)光刻磷扩散窗口 7)磷扩散和三次氧化磷扩散和三次氧化 磷扩散后在P型区磷杂质补偿硼而形成N+区,热氧化层用作金属与硅片间电绝缘介质。8)光刻发射极和基极接触孔光刻发射极和基极接触孔9)蒸发铝蒸发铝 10)在铝上光刻出电极图形)在铝上光刻出电极图形 双极结型晶体管双极结型晶体管3.3.2 2基本工作原理基本工作原理 双极晶体管四种工作模式(工作区)双极晶体管四种工作模式(工作
5、区)基极对集电极电压基极对发射极电压(1)正向有源模式:(2)反向有源模式:(3)饱和模式:(4)截止模式:加在各加在各 PN 结上的电压为结上的电压为根据两个结上电压的正负,晶体管有根据两个结上电压的正负,晶体管有 4 种工作状态,种工作状态,双极结型晶体管双极结型晶体管3.23.2基本工作原理基本工作原理 3.2.13.2.1共基极连接晶体管的放大作用共基极连接晶体管的放大作用 图图3-6 3-6(b b)NPNNPN晶体管共基极能带图晶体管共基极能带图 晶体管放大电路有两种基本类型:共基极接法 与 共发射极接法。双极结型晶体管双极结型晶体管3.23.2基本工作原理基本工作原理 3.2.2
6、3.2.2电流分量电流分量 从发射区注入到基区中的电子流。从发射区注入到基区中的电子流。到达集电结的电子流。到达集电结的电子流。基区注基区注入电子通过基区时复合所引起的复入电子通过基区时复合所引起的复合电流合电流从基区注入到发射区的空穴电流从基区注入到发射区的空穴电流发射结空间电荷区内的复合电流。发射结空间电荷区内的复合电流。集电结反向电流,它包括集电结反集电结反向电流,它包括集电结反向饱和电流和集电结空间电荷区产向饱和电流和集电结空间电荷区产生电流生电流。双极结型晶体管双极结型晶体管3.23.2基本工作原理基本工作原理 3.2.23.2.2电流分量电流分量(3-2-1)(3-2-2)(3-2
7、-3)(3-2-4)双极结型晶体管双极结型晶体管3.23.2基本工作原理基本工作原理 为描述晶体管的增益特性引进以下物理量 发射极注射效率(3-2-5)(3-2-7)基区输运因子 共基极直流电流增益(3-2-6)3.2.3.3.2.3.电流增益电流增益 双极结型晶体管双极结型晶体管3.23.2基本工作原理基本工作原理 (3-2-8)(3-2-10)利用(3-3)式,(3-7)式可以改写成 考虑到集电结正反两种偏压条件 的完全表达式为(3-2-9)3.2.3.3.2.3.电流增益电流增益 双极结型晶体管双极结型晶体管3.23.2基本工作原理基本工作原理 图图3-8 3-8 集电结电流集电结电流电
8、压特性:(电压特性:(a a)共基极情形,(共基极情形,(b b)共发射极情形共发射极情形 双极结型晶体管双极结型晶体管3.23.2基本工作原理基本工作原理 式中定义式中定义 共发射极接法共发射极接法(3-2-11)(3-2-12)(3-2-13)(3-2-14)双极结型晶体管双极结型晶体管3.23.2基本工作原理基本工作原理 学习要求学习要求掌掌握握四四个个概概念念:发发射射效效率率、基基区区输输运运因因子子、共共基基极极电电流流增增益益、共共发发射射极极电电流流增益增益了解典型了解典型BJTBJT的基本结构和工艺过程。的基本结构和工艺过程。掌握掌握BJTBJT的四种工作模式。的四种工作模式
9、。画出画出BJTBJT电流分量示意图,写出各极电流及其相互关系公式。电流分量示意图,写出各极电流及其相互关系公式。分别用能带图和载流子输运的观点解释分别用能带图和载流子输运的观点解释BJTBJT的放大作用。的放大作用。为什么公式(为什么公式(3-3-2-2-9 9)可以写成公式()可以写成公式(3-3-2-2-1010)。)。解释理想解释理想BJTBJT共基极连接正向有源模式下集电极电流与集电压无关的现象。共基极连接正向有源模式下集电极电流与集电压无关的现象。解解释释理理想想BJTBJT共共发发射射极极连连接接正正向向有有源源模模式式下下集集电电极极电电流流与与集集电电极极发发射射极极间间的电
10、压无关的现象。的电压无关的现象。解释理想解释理想BJTBJT共基极连接和共发射极连接的输出特性曲线。共基极连接和共发射极连接的输出特性曲线。双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输(1)各区杂质都是均匀分布的,因此中性区不存在内建电场;)各区杂质都是均匀分布的,因此中性区不存在内建电场;(2)结是理想的平面结,载流子作一维运动;)结是理想的平面结,载流子作一维运动;(3)横向尺寸远大于基区宽度,并且不考虑边缘效应,所以载流)横向尺寸远大于基区宽度,并且不考虑边缘效应,所以载流 子运动是一维的;子运动是一维的;(4)基区宽度远小于少子扩
11、散长度;)基区宽度远小于少子扩散长度;(5)中性区的电导率足够高,串联电阻可以忽略,偏压加在结空间电荷区上;)中性区的电导率足够高,串联电阻可以忽略,偏压加在结空间电荷区上;(6)发射结面积和集电结面积相等;)发射结面积和集电结面积相等;(7)小注入,等等)小注入,等等 3.3.13.3.1电流传输电流传输 理想晶体管的主要假设及其意义:理想晶体管的主要假设及其意义:双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输3.3.13.3.1电流传输电流传输 双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的
12、电流传输边界条件为:边界条件为:中性基区(中性基区(0 0 )少子电子分布及其电流)少子电子分布及其电流:(3-3-1)(3-3-2)(3-3-4)3.3.13.3.1电流传输电流传输 双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输1.1.电子电流电子电流 (3-3-5)(3-3-6)双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输2.2.发射区少子空穴分布及其电流:发射区少子空穴分布及其电流:边界条件:界条件:(3-3-7-3-3-10)(3-3-11)双极结型晶体管双极结型晶体管3.3
13、3.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输 若若 ,(,(3-233-23a a)式可以写作:式可以写作:(3-3-12)(3-3-13)空穴电流为:空穴电流为:双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输3.3.集电区少子空穴分布及其电流集电区少子空穴分布及其电流 边界条件:边界条件:(3-3-14)(3-3-16)(3-3-15)双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输3.3.23.3.2正向有源模式正向有源模式1.1.少数载流子分布少数载流子分布 (
14、3-27a)在在 的情的情况况下,(下,(3-273-27a a)式式简化化 (3-27b)双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输图图3-11 3-11 正向有源模式下晶体管各区少数载流子分布正向有源模式下晶体管各区少数载流子分布 正向有源模式下少数载流子分布曲线正向有源模式下少数载流子分布曲线双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输3.3.电流分量电流分量 1)1)发射区和收集区电子电流发射区和收集区电子电流:(3-3-18)(3-3-19)(3-3-20)若若 (3-3
15、-21)(3-3-22)双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输2)2)发射区和收集区发射区和收集区空穴电流空穴电流 (3-3-23)3 3)正偏压发射结空间电荷区复合电流:)正偏压发射结空间电荷区复合电流:(3-3-24)双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输(3-3-25)(3-3-26)双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输4.4.晶体管的输出特性曲线晶体管的输出特性曲线 图图3-12 3-12 NPN N
16、PN 晶体管的静态电流晶体管的静态电流电压特性电压特性 双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输5.5.共发射极电流增益共发射极电流增益 (3-3-27)双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输共发射极电流增益与工作电流的关系共发射极电流增益与工作电流的关系 图3-13 电流增益对集电结电流的依赖关系 双极结型晶体管双极结型晶体管3.33.3理想双极结型晶体管中的电流传输理想双极结型晶体管中的电流传输学习要求学习要求导出基区输运因子表达式导出基区输运因子表达式理解理想双极结型
17、晶体管的基本假设及其意义。理解理想双极结型晶体管的基本假设及其意义。写出发射区、基区、集电区少子满足的扩散方程并解之求出少子分布。写出发射区、基区、集电区少子满足的扩散方程并解之求出少子分布。掌握公式(掌握公式(3-3-3-63-6)、()、(3-3-3-73-7)。这两个公式有什么样的对称关系?)。这两个公式有什么样的对称关系?掌握正向有源模式基区输运因子公式。掌握正向有源模式基区输运因子公式。掌握正向有源模式基区电子电流公式(掌握正向有源模式基区电子电流公式(3-3-3-13-18 8)、()、(3-3-13-3-19 9)、()、(3-33-3-2-21 1)。)。解释图解释图3-123
18、-12、图、图3-133-13。双极结型晶体管双极结型晶体管3.43.4爱伯斯爱伯斯-莫尔方程莫尔方程双极晶体管有四种工作模式,取决于发射结和集电结的偏置状况。(1)(1)正向有源工作模式:正向有源工作模式:0,0 (2)(2)反向有源工作模式:反向有源工作模式:0 (3)(3)饱和工作模式:饱和工作模式:0 0,0 0(4)截止工作模式截止工作模式:0 0,0 03.4.13.4.1工作模式和少子分布工作模式和少子分布基区少子满足的边界条件为相应的边界条件为:相应的边界条件为:相应的边界条件为:双极结型晶体管双极结型晶体管3.43.4爱伯斯爱伯斯-莫尔方程莫尔方程此外此外,0正向有源饱 和截
19、 止反向有源图图3-14 晶体管四种不同工作模式对应的少数载流子分布晶体管四种不同工作模式对应的少数载流子分布双极结型晶体管双极结型晶体管对于 的情形(3-3-5)简化为:3.43.4爱伯斯爱伯斯-莫尔方程莫尔方程(在电路分析中,不考虑(3-3-5)式和(3-3-13)式中的负号)。(3-3-59)(3-3-13)3.4.23.4.2 爱伯斯爱伯斯莫尔(莫尔(Ebers-MollEbers-Moll)方程)方程 发射极注入到基极的电子电流为:基极注入到发射极的空穴电流为:双极结型晶体管双极结型晶体管暂时把发射结空间电荷区复合电流看作是外部电流,则暂时把发射结空间电荷区复合电流看作是外部电流,则
20、(3-4-8)用类似的方法得到用类似的方法得到其中其中 (3-4-9)(3-4-10)(3-4-11)(3-40(3-40)和()和(3-423-42)称为爱伯斯)称为爱伯斯莫尔方程,简称为莫尔方程,简称为 E-M E-M 方程方程。3.43.4爱伯斯爱伯斯-莫尔方程莫尔方程式中式中双极结型晶体管双极结型晶体管爱伯斯爱伯斯莫尔模型的等效电路图莫尔模型的等效电路图(a)图3-15 Ebers-Moll 模型(a)NPN一维晶体管,(b)将晶体管表示为有公共区域的背靠背连接的二极管,(c)Ebers-Moll 模型等效电路(c)叫做正向共基极电流增益。叫做反向共基极电流增益。3.43.4爱伯斯爱伯
21、斯-莫尔方程莫尔方程双极结型晶体管双极结型晶体管根据图3-14C可以写出(3-4-1)(3-4-2)其中其中和和分别为两个二极管反向饱和电流分别为两个二极管反向饱和电流。端电流为端电流为:(3-4-3)(3-4-4)联立(3-443-44),(),(3-453-45),(),(3-463-46)和(3-473-47)式得到(3-4-5)(3-4-6)(3-483-48)和()和(3-493-49)式即)式即为为E-ME-M方程方程3.43.4爱伯斯爱伯斯-莫尔方程莫尔方程双极结型晶体管双极结型晶体管将(将(3-4-8)式与()式与(3-4-5)式比较,()式比较,(3-4-10)式与()式与(
22、3-4-6)式比较,得到)式比较,得到(3-4-12)由于由于 有有(3-4-133-4-13)式称为互易关系)式称为互易关系。(3-4-13)3.43.4爱伯斯爱伯斯-莫尔方程莫尔方程双极结型晶体管双极结型晶体管 以上讨论的以上讨论的E-E-M M方程,只是一种非线性直流模型,通常将它记为方程,只是一种非线性直流模型,通常将它记为 模型。在模型。在 模型的基础上计及非线性电荷贮存效应和欧姆电阻,模型的基础上计及非线性电荷贮存效应和欧姆电阻,就构成第二级复杂程度的就构成第二级复杂程度的 模型。第三级复杂程度的模型。第三级复杂程度的 模型则还包括多种二级效应,如基区宽度调制,基区模型则还包括多种
23、二级效应,如基区宽度调制,基区展宽效应以及器件参数随温度的变化等等。展宽效应以及器件参数随温度的变化等等。3.43.4爱伯斯爱伯斯-莫尔方程莫尔方程双极结型晶体管双极结型晶体管了解了解E EM M方程中四个参数的物理意义方程中四个参数的物理意义根据根据E EM M方程写出四种模式下发射极电流和集电极电流表达式。方程写出四种模式下发射极电流和集电极电流表达式。(3-4-5)(3-4-6)3.43.4爱伯斯爱伯斯-莫尔方程莫尔方程学习要求学习要求理解并记忆理解并记忆BJTBJT四种工作模式下的少子分布边界条件四种工作模式下的少子分布边界条件画出画出BJTBJT四种工作模式下少子分布示意图。四种工作
24、模式下少子分布示意图。理解写出方程(理解写出方程(3-4-103-4-10)的根据。)的根据。根据爱拜耳斯根据爱拜耳斯莫尔模型的等效电路图导出莫尔模型的等效电路图导出E EM M方程方程双极结型晶体管双极结型晶体管3.53.5缓变基区晶体管缓变基区晶体管 均匀基区晶体管:均匀基区晶体管:基区掺基区掺杂为均匀分布。少子在基区主杂为均匀分布。少子在基区主要作扩散运动,又称为要作扩散运动,又称为 扩散晶扩散晶体管。体管。1.2N38661.2N3866晶体管的杂质分布:晶体管的杂质分布:距离x (m)图3-16 2N3866晶体管的杂质分布 缓变基区晶体管:缓变基区晶体管:基基区掺杂近似为指数分布,
25、区掺杂近似为指数分布,少子在基区主要作漂移运少子在基区主要作漂移运动,又称为动,又称为 漂移晶体管。漂移晶体管。双极结型晶体管双极结型晶体管3.3.基区少子分布基区少子分布(3-5-1)(3-5-4)式(式(3-563-56)中负号表示电流沿)中负号表示电流沿x x方向。方向。4.4.电子电流电子电流(3-5-5)3.53.5缓变基区晶体管缓变基区晶体管2.2.基区的缓变杂质分布,引起内建电场基区的缓变杂质分布,引起内建电场这个电场沿着杂质浓度增加的方向,有助于电子在大部分基区范围内这个电场沿着杂质浓度增加的方向,有助于电子在大部分基区范围内输运。这时电子通过扩散和漂移越过基区薄层,致使输运因
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