基本原理与知识培训.pptx
《基本原理与知识培训.pptx》由会员分享,可在线阅读,更多相关《基本原理与知识培训.pptx(42页珍藏版)》请在咨信网上搜索。
1、演讲人:王金萍演讲人:王金萍【S P U T T E RS P U T T E R 基 本 原 理基 本 原 理】1目录目录第一章第一章 真空真空第二章第二章 等离子体等离子体第三章第三章 溅射原理溅射原理第四章第四章 反应性溅射反应性溅射第五章第五章 溅射镀膜设备溅射镀膜设备第六章第六章 溅射靶及靶材配置溅射靶及靶材配置2目录目录第二章第二章 等离子体等离子体第三章第三章 溅射原理溅射原理第四章第四章 反应性溅射反应性溅射第五章第五章 溅射镀膜设备溅射镀膜设备第六章第六章 溅射靶及靶材配置溅射靶及靶材配置3第一章第一章 真空真空第一章第一章 真空真空41-1 生活中的真空生活中的真空1、大气
2、压、真空、真空度?、大气压、真空、真空度?第一章第一章 真空真空5l帕斯卡帕斯卡 PaPa:1Pa=1N/1Pa=1N/l标准大气压标准大气压 atmatm:1atm=101325Pa1atm=101325Pal托托 TorrTorr:1Torr=133.32Pa1Torr=133.32Pal毫巴毫巴 mbarmbar:1mbar=100Pa1mbar=100Pa2 2、压强单位、压强单位第一章第一章 真空真空3.真空区域的划分真空区域的划分6大气:大气:103mbar低真空:低真空:10310-3mbar中真空:中真空:10-310-6mbar高真空:高真空:10-610-9mbar超高真空
3、:超高真空:10-9mbar第一章第一章 真空真空4.平均自由程平均自由程72-2 气体分子平均自由程气体分子平均自由程不同真空度下的平均自由程:不同真空度下的平均自由程:真空度 平均自由程 分子数(mbar)(cm)(个/cm3)1103 0.9410-5 2.41019110-2 0.94100 2.41014110-6 0.94104 2.41010110-10 0.94108 2.4106第一章第一章 真空真空5.真空系统中气体的流动状态真空系统中气体的流动状态8第一章第一章 真空真空95.真空系统中气体的流动状态真空系统中气体的流动状态第一章第一章 真空真空6.真空的获得真空的获得1
4、0 旋叶泵旋叶泵旋叶泵的特点:旋叶泵的特点:经济耐用经济耐用工作范围:工作范围:大气压大气压10-3mbar极限真空:极限真空:10-3mbar缺点:振动、反油缺点:振动、反油第一章第一章 真空真空7.真空的获得真空的获得11 罗茨泵罗茨泵机械泵的特点:机械泵的特点:启动快,抽速大启动快,抽速大工作范围:低、中真空工作范围:低、中真空极限真空:取决于前级泵极限真空:取决于前级泵罗茨泵压缩比较小,一般需罗茨泵压缩比较小,一般需要串联使用;要串联使用;第一章第一章 真空真空12 涡轮分子泵涡轮分子泵涡轮分子泵的特点:涡轮分子泵的特点:抽速大、无油、启动快抽速大、无油、启动快工作范围:工作范围:10
5、-210-6mbar极限真空:极限真空:10-6mbar缺点:振动、成本高、易损缺点:振动、成本高、易损7.真空的获得真空的获得第一章第一章 真空真空13 油扩散泵油扩散泵油扩散泵的特点:油扩散泵的特点:经济耐用、无振动经济耐用、无振动工作范围:工作范围:10-4 10-9mbar 极限真空:极限真空:10-6mbar 10-9mbar(液氮冷却)(液氮冷却)缺点:反油、需预热缺点:反油、需预热7.真空的获得真空的获得第一章第一章 真空真空14真空真空泵极限极限压强(mbar)启启动压强(mbar)旋叶旋叶泵110-3 1103水蒸气水蒸气喷射射泵110-3 1103罗茨茨泵取决于前取决于前级
6、泵 1101涡轮分子分子泵110-6 110-2油油扩散散泵110-9 110-4溅射离子射离子泵110-11 110-3钛升升华泵110-11 110-3低温吸附低温吸附泵110-12 110-3几种常用泵的极限压强与启动压强几种常用泵的极限压强与启动压强7.真空的获得真空的获得目录目录第一章第一章 真空真空第三章第三章 溅射原理溅射原理第四章第四章 反应性溅射反应性溅射第五章第五章 溅射镀膜设备溅射镀膜设备第六章第六章 溅射靶及靶材配置溅射靶及靶材配置15第二章第二章 等离子体等离子体第二章第二章 等离子体等离子体16 等离子体是由部分分子、原子及原子被电离后产生的正离子和负等离子体是由部
7、分分子、原子及原子被电离后产生的正离子和负电子组成的离子化气体状物质,它是除去固、液、气外,物质存在的电子组成的离子化气体状物质,它是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体,呈准中性状态。第四态。等离子体是一种很好的导电体,呈准中性状态。2-1 辉光放电辉光放电第二章第二章 等离子体等离子体17自然中的等离子体:自然中的等离子体:2-3 雷电雷电2-4 极光极光第二章第二章 等离子体等离子体182-5 日光灯日光灯 2-4 真空镀膜真空镀膜辉光辉光放电放电等离子的应用:等离子的应用:第二章第二章 等离子体等离子体19辉光放电产生的条件:辉光放电产生的条件:1.在放电开始
8、前,放电间隙间电场是均匀的;在放电开始前,放电间隙间电场是均匀的;2.放电过程主要是靠阴极发射电子来维持的;放电过程主要是靠阴极发射电子来维持的;3.放电气压一般维持在放电气压一般维持在1010-3mbar;4.放电电流密度一般要维持在放电电流密度一般要维持在10-1102mA/cm2;5.电压一般为电压一般为3005000V;溅射所需要的轰击离子通常采用辉光放电获得。辉光放溅射所需要的轰击离子通常采用辉光放电获得。辉光放电是气体放电的一种类型,是一种稳定的自持放电。电是气体放电的一种类型,是一种稳定的自持放电。辉光放电:辉光放电:第二章第二章 等离子体等离子体20阴极辉光区阴极辉光区阴极暗区
9、阴极暗区负辉光区负辉光区法拉第暗区法拉第暗区正柱区正柱区0电压电压空间静空间静电荷电荷两极区间两极区间辉光放电示意图辉光放电示意图1、在真空室内安置两个电极。、在真空室内安置两个电极。2、通入压力为、通入压力为10-310-2Pa的气体(通常是的气体(通常是Ar)。)。3、在电极上加上高电压。、在电极上加上高电压。辉光放电辉光放电产生产生等离子体等离子体辉光放电:辉光放电:目录目录第一章第一章 真空真空第二章第二章 等离子体等离子体第四章第四章 反应性溅射反应性溅射第五章第五章 溅射镀膜设备溅射镀膜设备第六章第六章 溅射靶及靶材配置溅射靶及靶材配置21第三章第三章 溅射原理溅射原理第三章第三章
10、 溅射原理溅射原理-1(溅射电源)(溅射电源)22直流溅射:直流溅射:用于导电靶用于导电靶中频溅射:中频溅射:用于导电靶用于导电靶射频溅射:射频溅射:用于绝缘靶用于绝缘靶不同的溅射电源:不同的溅射电源:第三章第三章 溅射原理溅射原理-2(直流溅射)(直流溅射)23Pumping systemtargetPower supplyPlasmasubstrateGasAr_电场电场+电场电场辉光效应辉光效应3-1 直流溅射示意图直流溅射示意图直流溅射原理图:直流溅射原理图:第三章第三章 溅射原理溅射原理-2(直流溅射)(直流溅射)溅射气体应当具备的特性:溅射气体应当具备的特性:对靶材程惰性;对靶材程
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 基本原理 知识 培训
1、咨信平台为文档C2C交易模式,即用户上传的文档直接被用户下载,收益归上传人(含作者)所有;本站仅是提供信息存储空间和展示预览,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容不做任何修改或编辑。所展示的作品文档包括内容和图片全部来源于网络用户和作者上传投稿,我们不确定上传用户享有完全著作权,根据《信息网络传播权保护条例》,如果侵犯了您的版权、权益或隐私,请联系我们,核实后会尽快下架及时删除,并可随时和客服了解处理情况,尊重保护知识产权我们共同努力。
2、文档的总页数、文档格式和文档大小以系统显示为准(内容中显示的页数不一定正确),网站客服只以系统显示的页数、文件格式、文档大小作为仲裁依据,平台无法对文档的真实性、完整性、权威性、准确性、专业性及其观点立场做任何保证或承诺,下载前须认真查看,确认无误后再购买,务必慎重购买;若有违法违纪将进行移交司法处理,若涉侵权平台将进行基本处罚并下架。
3、本站所有内容均由用户上传,付费前请自行鉴别,如您付费,意味着您已接受本站规则且自行承担风险,本站不进行额外附加服务,虚拟产品一经售出概不退款(未进行购买下载可退充值款),文档一经付费(服务费)、不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
4、如你看到网页展示的文档有www.zixin.com.cn水印,是因预览和防盗链等技术需要对页面进行转换压缩成图而已,我们并不对上传的文档进行任何编辑或修改,文档下载后都不会有水印标识(原文档上传前个别存留的除外),下载后原文更清晰;试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓;PPT和DOC文档可被视为“模板”,允许上传人保留章节、目录结构的情况下删减部份的内容;PDF文档不管是原文档转换或图片扫描而得,本站不作要求视为允许,下载前自行私信或留言给上传者【人****来】。
5、本文档所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权,请谨慎使用;网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽--等)目的在于配合国家政策宣传,仅限个人学习分享使用,禁止用于任何广告和商用目的。
6、文档遇到问题,请及时私信或留言给本站上传会员【人****来】,需本站解决可联系【 微信客服】、【 QQ客服】,若有其他问题请点击或扫码反馈【 服务填表】;文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“【 版权申诉】”(推荐),意见反馈和侵权处理邮箱:1219186828@qq.com;也可以拔打客服电话:4008-655-100;投诉/维权电话:4009-655-100。