硅片检验标准2016-2-1.doc
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1、光为绿色新能源有限公司硅片检验标准编号: LW-BZ-009-A1版本: A/1版受控状态:编制部门:技术中心发放编号:编制: 日期:审核:日期:批准: 日期:发布日期: 实施日期:文件更改申请单编号:LW-CX-001-A1-03文件名称硅片检验标准文件编号LW-BZ-009-A1申请部门铸切技术部申请人王伟批准人批准日期更改原因:1、明确断线移动或类似操作导致得硅片明暗区间判定标准2、变更硅片尺寸范围3、增加硅片表面洁净度要求4、修改崩边要求更改前内容及条款1、 无2、 156-156、73、 无4、 B片中崩边要求为:length1、5mm;width0、5mm个数不限更改后内容及条款1
2、、 增加硅片黑色带状区域要求2、 155、8-156、73、 增加表面玷污定义4、 B片中崩边要求为:length1、5mm;width0、5mm,每片不得超过4处硅片检验标准1 目得规范多晶硅片检测标准。2 适用范围本标准规定了多晶硅片得电性能、外观尺寸得检验项目、测量器具、判定依据,适用于正常生产得多晶硅片得质量检验。3 定义3、1检测工具:数显千分尺、henneck分选机、直尺、三丰粗糙仪、MS203电阻率测试、少子寿命测试WT-2000。3、2检测术语斑点定义:在光强430-650LUX下,距离眼睛40cm,成30-45角目视能瞧到颜色异于周围颜色得点即为斑点。翘曲度:硅片得中面与参考
3、面之间得最大距离与最小距离之差(即a值)。弯曲度:硅片中心凸起处于参考平面距离差值(即z值)。硅落:硅片表面有硅晶脱落现象且未穿透。崩边:以硅片边缘为参考线向内部延伸深度0、5mm、长度1、5mm及不能崩透得缺损属于崩边。缺口:光强430-650LUX,目光与硅片成30-45,距离25-35cm可以瞧到贯通硅片得称为缺口,瞧不到得不属于缺口。水印:未充分烘干,水分蒸发后残留物。表面玷污:硅片得表面或侧面沾有残胶或油污等杂物。游离碳黑线:清洗后距离硅片上边缘5mm以内得黑色区域。微晶:每1cm2长度上晶粒个数10个。4 职责权限4、1 技术部负责制定硅片检验标准;4、2 质量部严格按照本文件中检
4、验标准检验硅片。5 正文5、1 表面质量 表面质量通过生产人员得分选判定,目测外观符合附表1相关要求。对整包硅片重点查瞧B4(崩边),B7(线痕)、B8(厚度差值)、缺口、碎片、油污等情况;整包里得B4片在迎光侧表现为“亮点”背光侧较暗;B7、B8片手感表现较重,不易区分或存在争议时,利用分选机重新分选。5、2 外型尺寸几何尺寸符合附表1相关要求,在研磨倒角处控制。如认为硅片尺寸存在问题使用分选机进行检验。5、3 电性能依据硅锭硅块测试数据判定,必要时用相关测试仪器核实。硅片电阻率测量一点数值,当超出B级范围时,测量五个晶粒得电阻率,计算平均值X,以X值作为最终判定值。5、4抽检方法(1)对硅
5、片车间自检合格得包装硅片或直传片,采取一次抽检(抽检比例),不合格比例不高于0、5%。每次抽检不合格率大于0、5%时,通知清洗班长重新分选,对重新分选片抽检合格后可入库。(2)抽取硅片进行检测,其结果作为该批硅片合格得判定依据。6 相关文件无7 相关记录无附表1:自检硅片检验项目及判定标准检验标准检验项目A级品B级品电性能指标Resistivity电阻率(cm)0、73Carrier Lifetime少子寿命(s)1、2Oxygen concentration氧含量(atoms/cm3)1、0*1018Carbon concentration碳含量(atoms/cm3)8*1017外形尺寸及外
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