深加工玻璃之镀膜玻璃.pptx
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1、提提 纲纲玻璃上薄膜的形成玻璃上薄膜的形成真空阴极磁控真空阴极磁控溅射法射法化学沉化学沉积法法真空蒸真空蒸镀法法凝胶法凝胶法化学化学镀膜法膜法镀膜玻璃、玻璃膜玻璃、玻璃镜的原材料及公共工程的要求的原材料及公共工程的要求一、一、玻璃上薄膜的形成玻璃上薄膜的形成1 1、薄膜干涉的理、薄膜干涉的理论和和镀膜玻璃的膜膜玻璃的膜层设计 光的干涉光的干涉现象象 光线入射到薄膜上,经反射和光线入射到薄膜上,经反射和折射后,经人眼会聚一点,发折射后,经人眼会聚一点,发生干涉现象,光程差等于半波生干涉现象,光程差等于半波长的偶数倍,人眼看到长的偶数倍,人眼看到B处的处的是亮的,光程差等于半波长的是亮的,光程差等
2、于半波长的奇数倍时是暗的。奇数倍时是暗的。B 光程差:光程差:(k=1k=1、2 2)干涉加强干涉加强(k=0k=0、1 1、2 2)干涉减弱干涉减弱 膜层设计:膜层设计:增透膜时,相消干涉来减少反射,即增透膜时,相消干涉来减少反射,即增反膜时,相长干涉来减少透射,即增反膜时,相长干涉来减少透射,即2 2、太阳能的划分、太阳能的划分3 3、薄膜的形成方法及膜、薄膜的形成方法及膜层类型型 溅射法、真空蒸射法、真空蒸镀法、离子法、离子镀膜法膜法 化学沉化学沉积法、凝胶法、法、凝胶法、喷涂法涂法 化学化学镀膜法膜法(um)um)0.40.40.70.71.151.15紫外光紫外光可见光可见光短波红外
3、光短波红外光长波红外光长波红外光氧化物膜及金属膜氧化物膜及金属膜 金属膜金属膜氧化物膜氧化物膜二、二、真空阴极磁控溅射法真空阴极磁控溅射法1 1、工作原理、工作原理 在溅射装置中设置磁场以控制电子运动方向,束缚电在溅射装置中设置磁场以控制电子运动方向,束缚电子运动轨迹,从而提高工作气体的电离几率和有效子运动轨迹,从而提高工作气体的电离几率和有效地利用电子能量,提供大量电子的轰击靶材地利用电子能量,提供大量电子的轰击靶材 的正离的正离子,形成高密度的等离子区,由于正离子轰击靶材子,形成高密度的等离子区,由于正离子轰击靶材而产生溅射,溅射粒子的中性靶原子在基片上沉积而产生溅射,溅射粒子的中性靶原子
4、在基片上沉积成膜,而其中的二次电子进入等离子区参与电离子成膜,而其中的二次电子进入等离子区参与电离子碰撞,不断地补充大量的正离子,二次电子在其能碰撞,不断地补充大量的正离子,二次电子在其能量耗尽时,被阴极吸引而导出真空室。量耗尽时,被阴极吸引而导出真空室。溅射原理图溅射原理图2 2、特点、特点 膜厚可控性和重复性好;膜厚可控性和重复性好;膜膜层与基片的附着力与基片的附着力强;可以制造特殊材料的膜可以制造特殊材料的膜层;膜膜层纯度高;度高;磁控磁控溅射速度高,基片温度低射速度高,基片温度低3 3、工艺流程、工艺流程玻璃原板玻璃原板人工检验人工检验装片装片洗涤干燥洗涤干燥人工检验人工检验抽真空抽真
5、空入口等待入口等待缓冲室缓冲室溅射溅射溅射溅射溅射溅射直流电源直流电源反应气体反应气体工作气体工作气体出口室出口室缓冲室缓冲室出口洗涤干燥出口洗涤干燥输送输送成品检验成品检验抽真空抽真空4 4、品种及性能、品种及性能(1)按)按产品的性能分品的性能分类:阳光控制玻璃阳光控制玻璃 低低辐射膜玻璃射膜玻璃 玻璃玻璃镜 导电玻璃玻璃 反反射膜玻璃反反射膜玻璃 低低辐射阳光控制膜玻璃射阳光控制膜玻璃高透型高透型LOW-ELOW-E遮阳型遮阳型LOW-ELOW-E双银双银LOW-ELOW-E(2)性能:)性能:控光及控光及节能(两个参数:能(两个参数:ScSc和和U U)美学性能(装美学性能(装饰效果)
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