压电方程组专题培训市公开课一等奖百校联赛特等奖课件.pptx
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1、压电方程组压电方程组压电晶体切割压电晶体切割边界条件和四类压电方程组边界条件和四类压电方程组各类压电方程组常数之间关系各类压电方程组常数之间关系二级压电效应二级压电效应第1页压电晶体切割压电晶体切割经经过过前前几几节节相相关关压压电电常常数数讨讨论论使使我我们们了了解解到到,不不是是压压电电晶晶体体任任何何方方向向都都存存在在压压电电效效应应,而而只只有有一一些些特特定定方方向向才才存存在在压压电效应。电效应。第2页压电晶体切割压电晶体切割比比如如,石石英英晶晶体体,假假如如选选择择了了与与z z轴轴垂垂直直方方向向切切下下一一块块晶晶片片(即即晶晶片片厚厚度度方方向向与与z z轴轴平平行行)
2、,不不论论对对此此晶晶体体作作用用什什么么力力,都都不不能能在在z z轴轴方方向向产产生生压压电电效效应应。假假如如选选择择了了与与x x轴轴垂垂直直方方向向切切下下一一块块晶晶片片,则则当当应应力力T T1 1、T T2 2或或T T4 4作作用用时时,在在x x方方向向能能产产生压电效应。生压电效应。第3页所所以以,用用压压电电晶晶体体做做压压电电元元件件时时,不不是是随随便便从从晶晶体体上上切切下下一一块块晶晶片片,就就能能够够做做成成所所需需要要元元件件,而而是是要要依依据据压压电电晶晶体体压压电电常常数数,以以及及对对压压电电元元件件性性能能设设计计要要求求,并并经经过过重重复复试试
3、验验后后,才才能能找找到到较较适适当当方方向进行切割。向进行切割。第4页切割符号要求切割符号要求 x x、y y、z z代代表表晶晶体体三三个个坐坐标标轴轴,l l、w w、t t代代表表晶片长度、宽度、厚度。晶片长度、宽度、厚度。比比如如:xyxy切切割割表表示示晶晶片片厚厚度度与与x x轴轴平平行行,长长度度与与y y轴轴平平行行(即即第第一一个个字字母母代代表表厚厚度度方方向向,第第二个字母代表长度方向二个字母代表长度方向)。)。又又如如:xzxz切切割割表表示示晶晶片片厚厚度度与与x x轴轴平平行行,长长度度与与z z轴轴平平行行。也也有有把把xyxy切切割割和和xzxz切切割割简简称
4、称为为x x切割。切割。l length,ength,w width,idth,t 第5页图图4-13 4-13 晶片切割示意图晶片切割示意图XY-XY-切割切割XY-cutXY-cutXZ-XZ-切割切割XZ-cutXZ-cutYZ-YZ-切割切割YZ-cutYZ-第6页图图4-13 4-13 晶片切割示意图晶片切割示意图YX-YX-切割切割YX-cutYX-cutZX-ZX-切割切割ZX-cutZX-cutZY-ZY-切割切割ZY-cutZY-第7页一次旋转切割yzw-50切割,表示厚度方向平行于y轴,长轴平行于z轴,并绕宽度沿顺时针方向旋转50,即即第第一一个个字字母母代代表表厚厚度度方
5、方向向,第第二二个个字字母母代代表表长长度度方方向向,第第三三个个字字母母代代表表转转轴轴方向,方向,-50-50 代表沿顺时针方向旋转代表沿顺时针方向旋转5050。xyt+45切割,表示厚度方向平行于x轴,长轴平行于z轴,并绕厚度沿逆时针方向旋转45,有时简称这种切割为45x切割。第8页yzw-50yzw-50切割切割yzw-50 cutyzw-50 cutxyt+45xyt+45切割切割xyt+45 cutxyt+45 第9页二次旋转切割yzlt40/50切割,表示厚度方向平行于y轴,长轴平行于z轴,并绕长度沿逆时针方向旋转40,再绕厚度沿逆时针方向旋转50。yzlt+40yzlt+40/
6、50/50 第10页酒石酸钾钠晶体切割酒石酸钾钠晶体NaKC4H4O6-4H2O(即罗息盐)属于正交晶系222点群,它压电常数为第11页当电场当电场E=0E=0时,电位移时,电位移D D与应力张量之间关系为:与应力张量之间关系为:第12页当应力为零时,电场当应力为零时,电场E E与应变张量之间关系为与应变张量之间关系为第13页可可见见当当酒酒石石酸酸钾钾钠钠晶晶体体分分别别受受到到应应力力X X4 4、X X5 5或或X X6 6作作用用时时,将将分分别别在在x x方方向向、y y方方向向或或z z方方向向产产生生压压电电效效应应。对对于于x x切切割割酒酒石石酸酸钾钾钠钠晶晶片片,要要它它在
7、在x x方方向向出出现现正正压压电电效效应应时时,必必须须使使晶晶片片受受到到切切应应力力X X4 4作作用用。实实际际上上要要在在晶晶体体上上作作用用一一个个切切应应力力是是比比较较困困难难,所所以以用用x x切切割割晶晶片片经经过过D D1 1=d=d1414X X4 4关关系系式式来来测测定定压压电电常数常数d d1414是不方便。是不方便。第14页其其次次当当x x切切割割晶晶片片受受到到x x方方向向电电场场E E1 1作作用用时时,经经过过逆逆压压电电效效应应,晶晶片片产产生生切切应应变变x x4 4,而而不不能能产产生生身身长长缩缩短短应应变变。为为了了得得到到能能产产生生伸伸缩
8、缩振振动动晶晶片片,生生产产 上上 常常 采采 取取 4545 x x切切 割割。从从 图图 4-144-14看看 出出:(1 1)4545 x x切切割割是是利利用用晶晶片片切切应应变变转转为为沿沿长长度度方方向向伸伸缩缩应应变变。(2 2)4545 x x切切割割长长度度与与宽宽度度不不在在和和晶体晶体y y轴与轴与z z轴平行。轴平行。第15页图图4-14 4-14 酒石酸钾钠酒石酸钾钠4545 x x切割切割第16页坐标变了,不能直接使用(坐标变了,不能直接使用(4-184-18)式来描写)式来描写4545 x x切割晶片压电行为,需要对压电常数进行切割晶片压电行为,需要对压电常数进行
9、坐标变换,求出压电常数在新坐标系中矩阵表坐标变换,求出压电常数在新坐标系中矩阵表示式。在新坐标系中压电常数矩阵为示式。在新坐标系中压电常数矩阵为 第17页新坐标系中压电常数矩阵新坐标系中压电常数矩阵第18页即新坐标系中压电常数与旧坐标系中即新坐标系中压电常数与旧坐标系中压电常数之间关系为压电常数之间关系为第19页假如假如4545 x x切割晶片只受到切割晶片只受到yy方向(即方向(即长度方向)应力长度方向)应力XX2 2作用时,在作用时,在x x方向产方向产生电位移生电位移DD1 1为,为,第20页可可见见经经过过DD1 1=d=d1414XX2 2/2/2来来测测定定压压电电常常数数d d1
10、414时时,只只需需要要用用张张力力或或压压力力,这这就就比比经经过过D D1 1=d=d1414X X4 4来测定压电常数来测定压电常数d d1414方便多。方便多。试试验验上上,惯惯用用4545 x x切切割割晶晶片片来来测测定定酒酒石石酸酸钾钾钠钠晶晶体体压压电电常常数数d d1414;用用4545 y y切切割割晶晶片片来来测测定定d d2525;用;用4545 z z切割晶片来测定切割晶片来测定d d3636。第21页这些压电常数数值为:这些压电常数数值为:d d1414=345=345 1010-12-12库仑库仑/牛顿牛顿 d d2525=-54=-54 1010-12-12库仑
11、库仑/牛顿牛顿d d3636=12=12 1010-12-12库仑库仑/牛顿牛顿第22页 石英晶体切割石英晶体切割 石石英英晶晶体体z z轴轴是是光光轴轴,z z切切割割晶晶片片在在z z方方向向无无压压电电效效应应。x x切切割割是是最最早早采采取取切切割割,x x 切切割割晶晶片片,频频率率温温度度系系数数约约为为-30-30 1010-6-6/度度左左右右,还还不不够够理理想想。y y切切割割晶晶片片,频频率率温温度度系系数数较较高高,约约为为100100 1010-6-6/度度左左右右。所所以以生生产产上上很很小小采采取取y y切切割割晶晶片片。当当前前生生产产上上广广泛泛采采取取切切
12、割方式,如图割方式,如图4-154-15所表示。所表示。第23页第24页图图4-15 4-15 常见石英晶体切型常见石英晶体切型第25页这这些些切切割割温温度度系系数数,在在较较广广温温度度范范围围内内靠靠近于零。近于零。在高频方面惯用切割有在高频方面惯用切割有:ATAT切切割割(=35=35 1515)适适合合用用于于250kHz250kHz3MHz3MHz;BTBT切割(切割(=-49=-49)适合用于)适合用于3MHz3MHz以上;以上;第26页在低频方面惯用切割有:在低频方面惯用切割有:CTCT切切割割(=38=38 3636)适适合合用用于于100kHz100kHz400kHz400
13、kHz;DTDT切切 割割(=-51=-51)适适 合合 用用 于于 70kHz70kHz500kHz500kHz;ETET切切 割割(=66=66)适适 合合 用用 于于250kHz800kHz250kHz800kHz;FTFT切切割割(=-57=-57)适适合合用于用于200kHz600kHz200kHz600kHz;GTGT切割适合用于切割适合用于100kHz500kHz100kHz500kHz;第27页钛酸钡钛酸钡z z切割晶片切割晶片压电方程压电方程 晶体介电性质所遵从电学规律,要用电位晶体介电性质所遵从电学规律,要用电位移移D D(极化强度(极化强度P P)与电场)与电场E E之间
14、关系式来之间关系式来描写。描写。第28页晶晶体体弹弹性性性性质质所所遵遵从从力力学学规规律律,要要用用应应力力张张量量X X与与应应变变张张量量x x之之间间关关系系式式广广义义胡胡克克定律来描写。定律来描写。或或第29页一一样样,压压电电晶晶体体压压电电性性质质所所遵遵从从机机电电规规律律,要要用用电电位位移移D D,电电场场强强度度E E,应应力力张张量量X X,应应变变张张量量x x之之间间关关系系压压电电方方程程来来描写。描写。下下面面先先以以钛钛酸酸钡钡晶晶体体z z切切割割为为例例,进进行行分分析析讨讨论论。然然后后推推广广到到普普通通情情况况下下压压电电方方程。程。第30页实实际
15、际生生产产上上常常使使用用压压电电元元件件形形状状,大大多多数数是是薄薄长长片片或或薄薄圆圆片片等等简简单单形形状状。又又因因为为钛钛酸酸钡钡压压电电常常数数d d3131 0 0,所所以以可可选选择择钛钛酸酸钡钡zxzx切切割割晶晶片片为为例例。这这么么切切割割晶晶片片,长长度度l l沿沿x x方方向向,厚厚度度l lt t沿沿z z方方向向和和宽宽度度l lw w沿沿y y方方向向。即即晶晶片片坐坐标标轴轴与与晶晶体体坐坐标标轴轴一一致。致。第31页图图4-16 4-16 钛酸钡钛酸钡zxzx切割晶片示意图切割晶片示意图 第32页因因为为晶晶片片长长度度ll宽宽度度l lw w和和厚厚度度
16、l lt t,长长度度是是主主要要矛矛盾盾,故故只只要要考考虑虑x x方方向向应应力力T T1 1作作用用,其其它它应应力力分分量量X X2 2、X X3 3、X X4 4、X X5 5、X X6 6能能够够忽忽略略不不计计;因因为为晶晶片片电电极极面面与与z z面面垂垂直直,故故只只要要考考虑虑电电场场E E3 3作作用用,其其它它电电场分量场分量E E1 1、E E2 2能够忽略不计。能够忽略不计。第33页现现在在只只考考虑虑在在应应力力X X1 1和和电电场场E E3 3作作用用下下晶晶片片形形变变。当当电电场场E E3 3=0=0,应应力力X X1 1 0 0时时,晶晶片片在在应应力力
17、X X1 1作用下产生弹性形变为,作用下产生弹性形变为,弹弹性性柔柔顺顺常常数数s sE E1111上上标标E E表表示示电电场场E=0E=0(或或E E为为常常数数),即即s sE E1111代代表表E=0E=0弹弹性性柔柔顺顺常常数数,故称故称短路弹性柔顺常数短路弹性柔顺常数。第34页当电场当电场E E3 3 0 0,应力,应力X X1 1=0=0时,晶片在电场时,晶片在电场E E3 3作作用下经过逆压电效应产生压电应变为,用下经过逆压电效应产生压电应变为,第35页当当电电场场E E3 3 0 0,应应力力X X1 1 0 0时时,晶晶片片在在应应力力X X1 1和和电电场场E E3 3作
18、作用用下下,产产生生应应变变应应该该是是弹弹性性应应变变和压电应变之和,即和压电应变之和,即第36页在在应应力力X X1 1和和电电场场E E3 3作作用用下下晶晶片片电电位位移移:当当电电场场E E3 3 0 0,应应力力X X1 1=0=0时时,晶晶片片在在电电场场E E3 3作作用用下下产生介电电位移为产生介电电位移为介介电电常常数数 X X3333上上标标X X表表示示应应力力X=0X=0(或或X X为为常常数数),即即 X X3333代代表表X=0X=0(或或X X为为常常数数)时时介介电电常数,称为常数,称为机械自由介电常数机械自由介电常数。第37页当当电电场场E E3 3=0=0
19、,应应力力X X1 1 0 0时时,晶晶片片在在应应力力X X1 1作作用用下下经经过正压电效应产生压电电位移为,过正压电效应产生压电电位移为,当当电电场场E E3 3 0 0,应应力力X X1 1 0 0时时,晶晶片片在在应应力力X X1 1和和电电场场E E3 3作作用用下下,产产生生电电位位移移应应该该是是介介电电电电位位移移与与压压电电电位移之和,即电位移之和,即 第38页最最终终得得到到钛钛酸酸钡钡晶晶体体zxzx切切割割晶晶片片压压电电方方程程为为(以以应力应力X X和电场强度和电场强度E E为自变量):为自变量):上被称为上被称为第一类压电方程组第一类压电方程组。第39页第一类压
20、电方程组第一类压电方程组普通形式为普通形式为矩阵形式为矩阵形式为d d:压电应变常数:压电应变常数压电位移器要求高压电位移器要求高d d常数常数原子力显微镜原子力显微镜第40页这这个个方方程程组组特特点点在在于于以以应应力力X X、电电场场强强度度E E为为自自变变量量,应应变变x x、电电位位移移D D为为因因变变量量;即即认认为为应应变变x x、电电位位移移D D改改变变是是由由应应力力X X、电电场场E E改改变变引引发发。式式中中还还包包含含了了短短路路弹弹性性柔柔顺顺常常数数s sE E1111,自自由由介介电电常常数数 X X3333以及压电常数以及压电常数d d3131。第41页
21、边界条件边界条件 boundary conditions boundary conditions通通常常测测量量样样品品频频率率特特征征(谐谐振振频频率率和和反反谐谐振振频频率率)时时,晶晶片片中中心心被被夹夹住住,晶晶片片边边界界却却处处于于机机械械自自由由状态。状态。这这时时边边界界上上应应力力X|X|边边界界=0=0,应应变变x x 0 0,这这么么边边界界称称为为机械自由边界条件,或称边界自由条件机械自由边界条件,或称边界自由条件。第42页不不过过应应该该注注意意,边边界界自自由由条条件件只只表表示示样样品品在在边边界界上上应应力力为为零零,样样品品内内应应力力普普通通情情况况下下并并
22、不不等等于于零零,只只有有在在低低频频情情况况下下,样样品品内内应应力力才才靠靠近近于于零零,所所以以在在边边界界自自由由和和低低频频条条件件下下,测测得得介介电电常常数数才才是是(机械)自由介电常数(机械)自由介电常数 X X3333。第43页若若测测量量电电路路电电阻阻远远小小于于样样品品电电阻阻,则则可可认认为为外外电电路路处处于于短短路路状状态态,这这时时电电极极面面上上没没有有电电荷荷积积累累,样样品品内内E=0E=0(或或为为常常数数)。这这么么电电学学边边界界条条件件称称为为(电电学学)短短路路边边界界条条件件。在在短短路路条条件件下下测测得得弹弹性性柔柔顺顺常常数数才才是是短短
23、路路弹弹性性柔柔顺顺常常数数s sE E1111。第44页其它边界条件其它边界条件比比如如测测量量时时,样样品品边边界界被被刚刚性性夹夹住住,这这时时边边界界上上应应变变x|x|边边界界=0=0,应应力力X X 0 0,这这么么边边界界条条件件称称为为机机械械夹夹住住边边界界条条件件,或或称称边边界界夹夹住住条条件件,或或者者边边界界夹持条件。夹持条件。也也应应注注意意,边边界界夹夹持持条条件件,只只是是表表示示样样品品在在边边界界上上应应变变为为零零,样样品品内内应应变变普普通通情情况况下下并并不不等等于于零零,只只有有当当频频率率非非常常高高情情况况下下,样样品品内内应应变变才才靠靠近近于
24、于零零,所所以以在在非非常常高高频频率率下下测测得得介介电电常常数数才才是是夹夹住住介电常数介电常数 x xmnmn。第45页若若测测量量电电路路电电阻阻远远大大于于晶晶片片内内电电阻阻,则则可可认认为为外外电电路路处处于于开开路路状状态态,这这时时电电极极面面上上自自由由电电荷荷保保持持不不变变,样样品品内内电电位位移移D D为为常常数数(或或D=0D=0)。这这么么电电学学边边界界条条件件称称为为(电电学学)开开路路边边界界条条件件,简简称称开开路路条条件件。在在开开路路条条件件下下测测得得弹弹性性柔柔顺顺常常数才是数才是开路弹性柔顺常数开路弹性柔顺常数s sD Dijij。第46页四个边
25、界条件:四个边界条件:机械边界条件有两种机械边界条件有两种,即即:边界自由条件边界自由条件,边界夹住条件边界夹住条件;Free and clampedFree and clamped电学边界条件也有两种电学边界条件也有两种,即即:短路条件短路条件,开路条件开路条件。Short and openShort and 第47页从从二二种种机机械械边边界界条条件件和和二二种种电电学学边边界界条条件件中中各各选选一一个个,就就可可组组成成四四类类不不一一样样边边界条件界条件:(1 1)机械自由和电学短路条件;)机械自由和电学短路条件;(2 2)机械夹持和电学短路条件;)机械夹持和电学短路条件;(3 3)
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