2020年浅析微电子制造技术及其发展论文.doc
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1、浅析微电子制造技术及其发展论文 摘 要:电子信息技术的使用加快了世界发展的脚步,并且在各个行业中的应用范围也变得越来广泛。这直接导致这项技术的使用在集成电路中占据的地位也变得很高。信息技术的快速发展催生出了一个新型的电子技术,就是微电子制造技术,这项技术的使用提升了电子制造行业的生产效率。文章针对微电子制作技术的使用进行了内上的分析,分析的过程中也对这项技术的未来发展趋势进行了展望。希望得到的结论可以给相关人员的工作进展带来帮助。 关键词:微电子;制造技术;集成电路;发展 集成电路是一种应用在电子信息科技领域的新型技术,这项技术的研发让电子生产行业的发展发生了翻天覆地的变化,促进了行业的变革速
2、度。以往的半导体使用材料一般是单质硅,这种材料在使用过程中效率不是很高,对于工作上的细节处理也差强人意。随着技术的发展与运用,第二代半导体材料逐渐被人们所熟识并广泛应用。如今,半导体的使用材料已经变为氧化镓或是硅化碳,也就是第三代电子处理技术,这项技术的不断更新使得技术的使用材料体积也变得越来越小。 自20世纪中期第一个集成电路研发成功之后,我们就进入了微电子技术时代,在半个多世纪的发展中,微电子技术被广泛应用在工业生产和国防军事领域,目前更是在商业领域中获得极大的应用和发展。并且在长期的发展进程中,微电子技术一直是以集成电路为主要的核心代表,也逐渐形成了一定的发展规律,最典型的莫过于摩尔定律
3、。当然,集成电路的应用领域不断扩展也进一步刺激了微电子技术的快速发展。 在新事物的发展进程中,其发展规律和发展趋势势必要与需求相结合,并受需求的影响。微电子技术也不例外。在其发展进程中,微电子制造技术无疑是微电子技术最大的“客户”,正是因为微电子制造技术提出了各种应用需要,才使得微电子技术得到了快速发展。也可以说,微电子制造技术正是微电子设计技术与产品应用技术的“中介”,是将微电子技术设计猜想转化为实物的“桥梁”。但值得一提的是,这个实物转化的过程也会对微电子设计技术的发展产生影响,并直接决定着微电子器件的造价与功能作用。 在半个多世纪的发展中,微电子制造技术的应用主要体现在集成电路与分立器件
4、的生产工艺上。集成电路和分立器件在制造工艺上并无太大区别,仅仅只是两者的功能与结构不一样。但是受电子工业发展趋势的影响,目前集成电路的应用范围相对更广,所以分立器件在微电子制造技术应用中所占的比重逐渐减少,集成电路逐渐成为其核心技术。 在集成电路的制造过程中,微电子制造技术主要被应用在材料、工艺设备以及工艺技术三方面上,并且随着产业化的发展,这三方面逐渐出现了产业分工现象。发展到今天,集成电路的制造产业分为了材料制备、前端工艺和后端工艺三大产业,这些产业相互独立运作,各自根据市场需求不断发展。 集成电路的种类有多种,相关的工艺也有差异,但各类集成电路制造的基本路径大致相同。材料制造包括各种圆片
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