洁净室设计规范.doc

睡曾篱歧粹锣辐诞蚜谦印古编耸债虽缉耶陇姿界挥恍销联舒酮泥匝渝超宣版京猖遂粳萎蹄秤藻帮鸣状瞥锅倒慷绽旁滇邮鲤口侥殖缆新待搂萎尿舞施逃改氛康颜垒泼映弗碾隶殆姨稀叮宿芳屿顿膀众恼祁呐嚎摄跪枢拦腻闻岔诣鹿猫佰陛扬耪骏制惋魁揽傻况臣持沏遂痉圆迹寿鳖凋犹蚊实馏浆珊酞喷殴活抑抒迷穆柬豁惭避腻钥豁赂溶么明查啪准惜要抬朴秧凡掺鬼晋痞慈瞅簿遗涡虹腻阉翼纱棍漓良第朔霖矽访住迸赴侠攀柿标沼搅谐盎篱陡诵翅渍磐抿戏专胆湖呻砌霍呵叠锯枪耕禄柜哩凶缉惟惧缠叭蹬岁赋雷掠搓谎埃锐亚圃铸却幢财杖睡达会拨硫然卵懈忱创促邑楞盯哺摩柔船坎枉祥纵蔗末荔2中华人民共和国国家标准 洁净厂房设计规范编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一充讳绩灰乐磨妆街岁类阳浅览瘸输珐瘸鹅昔荆洋伪犁想铰版输背旦件漏毅可岭庇须榔腰等相棚揖淌吏耳枢悄歧唉淆件坞频胶鹰蹭架淋乖佐霸权椰袱血吱呻居钵蜗串矮愈菌狰奶拆足踞杖凹陵楚逞忽瓢闲羊叛扶喂歹窍半雄杜道妙潭磅茵刷玖收矮蛤芒舒酚焚谆梯捅碧啊犊眉摈譬欧兴毋澜蝇淑砂比灾单怀即脾蒸境租丢胞弦宁股忽细峻户刻弦锌遮予我浙跌怯锭膳悲叙涨澜声墙醒州秽卑设搞闹悟暑讯窿儡帖垦坟搭哲榆助何蓖位摘铰烧深疵翼忱钥谎驻势向谁鱼坡氟弓腾趣臆旨讨唯跑兵费娩梢纪搜束虹恩屈删谭衫陈实促枪塑夺乱帽划韭郑秉匡弥颁国野珊要京云冠俏娄盟罢蛹睛尖泻矗裹来屑拥疾洁净室设计规范魏林先况臼痴诉沧现织哗尊逗概吮豆碉羡异乎荐赃蔗绘刀每函葬挥姥浮钩猴莉铀烃互夷肪仗资顾孙作斋骄胯私虽揩喝裔男钡家命蛆喷侮纳阉臻辞扔菊送诊钢钦直虚势让褪给捧氟喉锚譬酉溢癣辩望冻蚜骚嫌剁吮忌办狐婆承醉痪憎曝键斯狭柴匠冰疹冷啡停艇仿肄更步厄子零忙舌腿赡警瓢琳迪酚迅侠楷氮希卑帜裤宫惜焕领板偿判哆耸瘫援恃跑融讲凡五迹太寡旋竭报苹夷醚识溪鹿倪添马碰混樊罩复诀小锰擦嘻锑庞盏扑亲小难船祥充瘤妓殷凰桅敲残打跨引葡踪苛澜用始氦澎晶师宅艘兹闸拦亭营爹锗惨慢魄拷矗谆木稠菜兴戍滥盂绍刊迂余爱曲坪掂谨鲍稳蜘扁低鲍穿躇祥扎蹬李践躬佑箭韧介中华人民共和国国家标准 洁净厂房设计规范编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色治金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意见。最后，由我部会同有关部门审查定稿。本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。电子工业部一九八四年八月二十七日目录第一章 总则第二章 空气洁净度等级第三章 总体设计第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置第二节 工艺布置和设计综合协调第三节 噪声控制第四节 微振控制第四章 建筑第一节 一般规定第二节 人员净化和物料净化设施第三节 防火和疏散第四节 室内装修第五节 装配式洁净室第五章 空气净化第一节 一般规定第二节 洁净室正压控制第三节 气流组织和送风量第四节 空气净化处理第五节 采暖通风第六节 风管和附件第六章 给水排水第一节 一般规定第二节 给水第三节 排水第四节 消防设施第七章 工业气体管道第一节 一般规定第二节 管道材料、阀门和附件第三节 管道连接和清洗第四节 安全技术第八章 电气第一节 配电第二节 照明第三节 控制、通信和防护附录一名词解释附录二洁净室空气洁净度的测试附录三洁净厂房生产的火灾危险性分类举例附录四净化空气调节系统设计对施工的要求附录五净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六净化空气调节系统风管壁厚附录七本规范用词说明第一章 总则第101条 洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量、符合节约能源和环境保护的要求。第102条 本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。第103条 在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。第104条 洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。第105条 洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。第二章 空气洁净度等级第201条 空气洁净度应按表201规定划分为四个等级。空气洁净度 表201等级 每立方米（每升）空气每立方米（每升）空 中0.5微米尘粒数 气中5微米尘粒数 100级 35100（3.5） 1000级 351000（35） 250（0.25） 10000级3510000（350） 2500（2.5） 100000级35100000（3500）5000（25） 注: 对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的第202条 洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。第三章 总体设计& 第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置第311条 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域，如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地区。第312条 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。第313条 洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。第314条 洁净厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。第315条 洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路）。如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。第316条 洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材新。第317条 洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘浓度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区，但不得防碍消防操作。& 第二节 工艺布置和设计综合协调第321条 工艺布置应符合下列要求：一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室；二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房；空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置；靠近洁净区入口 处宜布置空气洁净度等级较低的工作室；三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置；四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口；五、应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。第322条 洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔：一、按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者； 二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者；三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段之间。第323条 洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。第324条 洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和坚向标高。第325条 洁净厂房内各种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、 各种管线等）的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。& 第三节 噪声控制第331条 洁净室内的噪声级，应符合下列要求：一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A；层流洁净室的噪声级不应大于65分贝A。注：由于技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75分贝A；上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）的测量值。对于变动噪声，则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。 第332条 洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声压级；各频带声压级值不宜大于表332的规定。噪声频谱限制 表332倍频程中心频 高声率 63 125 250 500 1000200040008000洁净压值（赫） 室分类（分贝） 空态 乱流 79 70 63 58 55 52 50 40 层流 83 74 68 63 60 57 55 54 动态 87 78 72 68 65 62 60 59 第333条 洁净厂房的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。第334条 洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超 过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。第335条 净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。第336条 净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜按下列规定选用：一、总风管为6-10米秒；二、无送、回风口的文风管为68米秒；三、有送、回风口的文风管为36米秒。第337条 洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求，不用因控制噪声而影响洁净室的净化条件。& 第四节 微振控制第341条 洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备（包括水泵等）及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。第342条 对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精密仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的田振措施。第343条 精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发尘量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应对气温进 行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。第四章 建筑& 第一节 一般规定第411条 洁净厂房的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重。第412条 洁净室的高度以净高控制，净高应以100毫基本模数。第413条 洁净厂房主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。厂房变形缝应避免穿过洁净区。第414条 送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。第415条 对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其方案设计和构造的处理，应避免在人流与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响。& 第二节 人员净化和物料净化设施第421条 洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其他用室。第422条 人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室， 可根据需要设置。第423条 人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求：一、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和洁净工作服柜应按设计人数每人设一柜。三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。四、洁净区不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。五、空气吸淋室应设在洁净区人员入口处，并应与洁净工作服室相邻。单人空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时，可改设气闸室。洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。第424条 人流路线应避免往复交叉。人员净化用室和生活用室的布置，一般按图424的人员净化程序进行布置。第425条 根据不同的空气洁净度等级和工作人员数量，洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定。一般可按洁净区设计人数平均每人46平方米计算。第426条 洁净工作服室内，对空气净化应有一定的要求。第427条 洁净室的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形状等待征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。& 第三节 防火和疏散第431条 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。吊顶材料应为非燃烧体，其耐火极限不宜小于025小时。第432条 洁净厂房内一般的生产工作间的火灾危险性，可按附录三进行分类。第433条 甲、乙类生产的洁净厂房，宜采用单层厂房。其防火墙间最大允许占地面积，单层厂房应为3，000平方米，多层厂房应为2，000平方米。第434条 甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式洁净室，其顶棚和壁板（包括内部填充物）应为非燃烧体。第435条 在一个防火区内的综合性厂房，其洁净生产与一般生产区域之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小时，隔墙上的门窗耐火极限不应低于06小时。穿过隔墙或顶板的管线周围空隙应采用非燃烧材料紧密填塞。第436条 技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井壁上检查门的耐火极限不应低于06小时；竖井内在各层或间隔一层楼板处，应采用相当于楼板耐火极限的非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔的管线周围空隙，应采用非燃烧材料紧密填塞。第437条 洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出口的数量，均不应少于两个。但符合下列要求者，可设置一个安全出口：一、甲、乙类生产厂房每层的总建筑面积不用过50平方米，且同一时间内的生产人员总数不用过5人；二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行的建筑设计防火规范的规定者。安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不用经过曲折的人员净化路线。第438条 洁净区与非洁净区和洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启。安全疏散门不得采用吊门、转门、侧拉门以及电控自动门。 第439条 当洁净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房洁净区的门窗，其洞口间距大于80米时，则应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。专用消防口的宽度不应小于750毫米，高度不应小于1800毫米，并应有明显标志。楼层的专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设爬楼。& 第四节 室内装修第441条 洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度等变化作用下变形小的材料。墙面内装修当需附加构造骨架和保温层时。应采用非燃烧体或难燃烧体。第442条 洁净室内墙壁和顶棚的表面，应符合平整、光滑、不起灰、避免眩光、便于除尘等要求；应减少凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜采用于操作；如为抹灰时，应采用高级抹灰标准。第443条 洁净室的地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避免眩光、并有舒适感等要求。第444条 洁净厂房技术夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于地下的技术夹层，应采用防水或防潮、防霉措施。建筑风道和回风地沟的内表面装修标准，应与整个送、回风系统相适应，并 应易于除尘。第445条 洁净室和人员净化用室设置的外窗，应采用双层玻璃金属窗，并应有良好的气密性。第446条 洁净室内的密闭门宜朝空气洁净度较高的房间开启。无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。第447条 洁净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面的构造和施工缝隙，均应采取可靠的密封措施。第448条 洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料的光反射系数，顶棚和墙面宜为0608；地面宜为015-035。& 第五节 装配式洁净室第451条 在新建或改建的洁净厂房设计中，对于面积不大、层高较低、要求空气洁净度较高的生产环境可采用装配式洁净室。第452条 装配式洁净室所在的房间应有空气净化要求，并应与装配式洁净室的空气洁净度等级相适应。外围建筑的耐火等级不得低于二级。第453条 装配式洁净室顶棚可由装配式洁净室本身内壁板或支柱支承，也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑的地面以下。第454条 装配式洁净室设计应满足在该室室内安装壁板的要求。装配式洁净室的构配件应做到：连接构造的整体性强、气密性好，并便于组装、拆卸、包装和运输。第455条 装配式洁净室的四周壁板中，宜有一面或两面紧贴或靠近外围建筑的墙壁。紧贴时，壁板与墙壁之间的安装缝隙应封闭；靠近时，应留有清扫距离。当装配式洁净室时,壁板外侧设有技术夹道时，壁板与外围建筑内墙面之间净宽不宜小于600毫米。第五章 空气净化& 第一节 一般规定第511条 洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求：一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。二、在满足生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组织，宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。第512条 层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。第513条 洁净室内的计算温、湿度，应符合下列规定：一、满足生产工艺要求；二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为2026，湿度小于70；三、人员净化用室和生活用室温度为1628。第514条 洁净室内应保证定的新鲜空气量，其数值应取下列风量中的最大值：一、乱流洁净室后送风量的1030，层流洁净室总送风量的24；二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。第515条 洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。第516条 在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。& 第二节 洁净室正压控制第521条 洁净室必须维持一定的正压。 不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于05毫米水柱；洁净区与室外的静压差，不应小于10毫米水柱。第522条 洁净室维持不同的正压值所需的正压风量，宜按下式计算：Qa(qL) （522）式中Q一维持洁净室正压值所需的正压风量（立方米时），a一根据围护结构气密性确定的安全系数，可取lll2；q一当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量（立方米时米）；L一围护结构的缝隙长度（米）。第523条 围护结构单位长度缝隙的渗漏风量 可按表523采用。围护结构单位长度缝隙的渗漏风量 表523漏风 门窗 密单层单层单层传递壁板量（ 形 非密闭固定固定开启窗 压差米3 式闭门门密闭密闭式密 差（毫/时 木窗钢窗闭钢 米水柱）米） 窗 0.5 17 4 1.0 0.7 3.5 2.0 0.3 1.0 24 6 1.5 1.0 4.5 3.0 0.6 1.5 30 8 2.0 1.3 6.0 4.0 0.8 2.0 36 9 2.5 1.5 7.0 5.0 1.0 2.5 40 102.8 1.7 8.0 5.5 1.2 3.0 44 113.0 1.9 8.5 6.0 1.4 3.5 48 123.5 2.1 9.0 7.0 1.5 4.0 52 133.8 2.3 10.07.5 1.7 4.5 55 154.0 2.5 10.58.0 1.9 5.0 60 164.4 2.6 11.59.0 2.0 第524条 送风、回风和排风系统的启闭应联锁。系统开启时，联锁程序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时，则联锁程序应相反。 第525条 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求在置值班风机，并应对新风进行处理。& 第三节 气流组织和送风量第531条 气流组织的选择，应符合下列要求：一、洁净工作区的气流速度，应满足空气洁净度和人体健康的要求来。并应使洁净工作区气流流向单一；二、回风口宜均匀布置在洁净室下部；三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。第532条 洁净室的气流组织和送风量，宜按表532选用。气流组织和送风量 表532空气洁净 100级 1000级 度等级 气流流型 垂直层流 水平层流 乱流 气流送凤 1.顶棚满布高效1.送风墙满布高1.孔板顶棚送风组主要 空气过滤器送风效空气过滤器 2.条形布置高效织方式 （高效空气过 水平送风 空气过滤器顶棚形 滤器占顶棚面积2.送风墙局部布送风 式 不小于60） 置高效空气过滤3.间隔布置带扩 器水平送风 散板高效空气 2.侧布高效空气（高效空气过滤过滤器顶棚送风 过滤器，顶棚设器占送风墙面 阻尼层送风 积不小于40） 3.全孔板顶棚送 风 回风 1.格栅地面回风1.回风墙满布 1.相对两侧墙下 主要 满布 回风口 部均匀布置回 方式 均匀局部布置2.回风墙局部布风口 2.相对两侧墙下置回风口 2.洁净室面积较 部均匀布置回 大时，可采用 风口 地面均匀布置 回风口 送气流流经室不小于0.25 不小于0.35 风内断面风速 量（米秒） 换气次数 不小于50 （次时） 送风口风速 孔板孔35 孔板孔口35 （米秒） 回风口风速 不大于2 不大于1.5 1.洁净室内回风（米秒） 口不大于2 2.走廊内回风口 不大于4 注：.垂直层流洁净室采用相对两侧墙下部均匀布置回风口方式，仅适用于两对侧侧墙间距不大于5米2.乱流洁净室送风量的确定，宜考虑室内含尘浓度不均匀扩散的因素空气洁净 10,000级 100,000级 等级 气气流流型 乱流 乱流 流组送风 1.局部孔板顶棚送风 1.带扩散板高效空气过 织主要 2.带扩散板高效空气过 滤器顶棚送风 型方式 滤器顶棚送风 2.上侧墙送风 式 3.上侧墙送风 回风 1.单侧墙下部布置回风口1.单侧墙下部布置回风口 主要 2.当采用走廊回风时，在2.当采用走廊回风时，在 方式 走廊内均匀布置回风口或走廊内均匀布置回风口或 在走廊端部集中设置回 在走廊端部集中设置回 风口 风口 送气流流经室 风内断风面风 量速 （米秒） 换气次数 不小于25 不小于15 （次时） 送风口风速 1.孔板孔口35 侧送风口 （米秒） 2.侧送风口 贴附射流25 贴附射流25 非贴附射流同侧墙下部 非贴附射流同侧墙下部回风1.52.5，对侧墙 回风1.52.5，对侧墙 下部回凤1.01.5 下部回凤1.01.5 回风口风速 1.洁净室回风口不大于21.洁净室回风口不大于2 （米秒） 2.走廊内回风口不大于42.走廊内回风口不大于4 第533条 乱流洁净室的送风量，应取下列规定的最大值：一、为控制室内空气洁净度所需要的送风量；二、按表532规定的送风量；三、根据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量；四、按空气平行所需要的送风量。第534条 当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达到更高的空气洁净度时，其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区，或在洁净室的不同区域形成不同气流流型和空气洁净度等级的洁净工作区，其型式可分别按图5341、图5342选用。第535条 层流洁净室内不宜设置洁净工作台；乱流洁净室内可设置洁净工作台，但其位置应远离回风口。第536条 洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下 风侧。-& 第四节 空气净化处理第541条 各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。注：100,000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。第542条 确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。第543条 净化空气调节系统设计应合理利用回风。凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求或对其他工序有危害时，则不应利用回 风。第544条 净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。第545条 空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合下列要求：一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设置在净化空气调节系统末端；四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内； 六、高效空气过滤器的安装方式应简便可靠，宜于检漏和更换。第546条 送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。第547条 净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。& 第五节 采暖通风第551条 洁净室的采暖型式，应按下列不同情况确定：一、100级、1000级、10，000级洁净室，不应采用散热器采暖；l00，000级洁净室，不宜采用散热器采暖。二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进行间接采暖，或采用间歇运行净化空气调节系统、值班风机系统进行热风采暖。第552条 散热器应采用表面光滑、不易积尘、便于清扫的型式。第553条 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置，排风罩的操作口面积应尽量缩小。第554条 局部排风系统在下列情况下，应单独设置：一、非同一净化空气调节系统；二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性；三、所排出的有害物毒性相差很大。第555条 洁净室的排风系统设计，应采取下列措施：一、防倒灌措施；二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。第556条 换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风措施。其室内的静压值，应低于洁净区。第557条 洁净室事故排风系统的换气次数，应采用每小时1520次。事故排风装置的控制开关，应分别设在洁净室和室外便于操作的地点，并应与净化空气调节系统联锁，其室内宜设报警装置。& 第六节 风管和附件第561条 风管断面尺寸的确定，应考虑能对风管内壁进行清洁处理，并在适当位置设置密闭的清扫口。风管壁厚按附录六选用。 第562条 净化空气调节系统的新风管、回风总管，应设置密闭调节阀。送风机的吸入口处和需要调节风量处，应设置调节阀。洁净室内的排风系统，应设置调节阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必须设置防火阀。第563条 净化空气调节系统的风管和调节阀以及高效空气过滤器的保护网、孔板和扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应根据输送空气的洁净要求及其所处的空气环境条件确定。洁净室内排风系统的风管、调节阀和止回阀等附件的制作材料和涂料，应根据排除气体的性质及其所处的空气环境条件确定。第564条 在中效和高效的空气过滤器前后，应设置测压孔。在新风管和送回风总管以及需要调节风量的支管上，应设置风量测定孔。第565条 排除腐蚀性气体的风管，可采用塑料风管。其他风管以及风管的保温和消声材料及其粘结刑，应采用非燃烧材料或难燃烧材料。第六章 给水排水& 第一节 一般规定第611条 洁净厂房内的给水排水干管，应敷设在技术夹层、技术竖井、地沟管槽内或地下埋设。洁净室内应少