![点击分享此内容可以赚币 分享](/master/images/share_but.png)
晶圆切割站培训资料市公开课一等奖百校联赛获奖课件.pptx
《晶圆切割站培训资料市公开课一等奖百校联赛获奖课件.pptx》由会员分享,可在线阅读,更多相关《晶圆切割站培训资料市公开课一等奖百校联赛获奖课件.pptx(45页珍藏版)》请在咨信网上搜索。
1、晶圆切割站学习手册晶圆切割站学习手册第1页A、DFD 651机台了解机台了解CO2滤净机滤净机显示器显示器指示灯指示灯升降台升降台料盒料盒切割轴切割轴直行操作架直行操作架旋转操作架旋转操作架2第2页切割工作盘切割工作盘清洗工作盘清洗工作盘旋转操作架旋转操作架直行操作架直行操作架切割轴、切割刀切割轴、切割刀操作键盘操作键盘3第3页DFD651晶圓切割機兩根切割軸以及切割刀晶圓切割機兩根切割軸以及切割刀切割Z1軸切割Z2軸4第4页电源控制开关电源控制开关总水阀总水阀总气阀总气阀(机器左侧面)(机器左侧面)(机器右侧面)(机器右侧面)(机器后部)(机器后部)5第5页CUTTING BLADE 冷却刀
2、具用水冷却刀具用水WATER SHOWER 喷在刀刃上,清洗刀刃喷在刀刃上,清洗刀刃WASHING SPRAY 清洗晶圆用水清洗晶圆用水WATER SPRAY 清洗晶元用水清洗晶元用水纯水流量表纯水流量表(位于机台正左方)(位于机台正左方)6第6页B、键盘讲解:、键盘讲解:SET UP:测高快捷键:测高快捷键 DEVICE DATA:调出参数快捷键:调出参数快捷键 AUX:不用:不用 NEW CST:按下后使料盒从第一个第一格开始取料:按下后使料盒从第一个第一格开始取料 S/T VAC:清洗盘真空压力开:清洗盘真空压力开/关关 SYS INIT:系统初始化:系统初始化 CUT WATER:切割
3、水开:切割水开/关关 SPNDL:转轴开:转轴开/关关 C/T VAC:切割盘真空压力开:切割盘真空压力开/关关 ZEM:转轴紧急抬起按钮:转轴紧急抬起按钮 INDEX:索引:索引 SCR INDEX:SCR索引索引 SHIFT:键盘切换:键盘切换7第7页C、日常操作:、日常操作:开机;系统初始化(快捷键开机;系统初始化(快捷键SYS INIT)确认刀片型号及使用寿命未到极限(确认刀片型号及使用寿命未到极限(F5.6)测高(测高(F5.3.1or快捷键快捷键SET UPF3)刀片基准线校准(刀片基准线校准(F5.5)确认生产型号(确认生产型号(F4)贴片(使用晶圆贴片机)贴片(使用晶圆贴片机)
4、单品种全自动切割(单品种全自动切割(F1快捷键快捷键NEW CSTSTART)首件检验(使用工具显微镜)首件检验(使用工具显微镜)目检(使用普通显微镜)目检(使用普通显微镜)机器维护:换刀(在机器维护:换刀(在F5.1菜单下更换)菜单下更换)机器异常情况处理机器异常情况处理8第8页晶圆贴片步骤晶圆贴片步骤1、准备工作打开离子风扇准备擦净铁圈若干有效距离60cm9第9页2、用气枪吹净机器表面3、用沾酒精无尘布擦拭机器表面及滚筒贴片10第10页4、取一盒晶圆,先从外部观察晶圆有没有破损,若有,通知工程师处理;然后打开,再确认有没有破片贴片11第11页5、双手小心取出一片晶圆6、将其小心放置在工作盘
5、上,先将晶圆底部靠近工作盘底线,慢慢放下晶圆,左手不放开,用右手打开真空开关贴片12第12页7、放上铁圈,两个卡口卡住工作盘上两个突出点8、拉出胶布,先松开,让前部贴住贴片机前部;再拉紧胶布,贴住贴片机后部贴片13第13页9、用滚筒压过胶布10、看胶布与晶圆间有没有气泡,若有超出0.5mm气泡,将其UV照射后重新再贴贴片14第14页11、盖上滚筒,用滚刀刮断胶布12、按住铁圈,小心撕开胶布贴片15第15页13、将贴好晶圆拿下,用双手将其放进料盒注意:料盒不能够重合放置贴片16第16页贴片注意事项1.贴片时除小手指外,其余四个手指均需要戴指套.2.贴片时要让晶圆切线边与贴台切线边重合.以确保不让
6、晶元贴偏.3.晶元承载台不能够用锐利物品碰触,预防划伤晶圆承载台.4.贴片时不能够使滚筒滚动太快,且不可用力过大导致压伤或压迫晶元.5.不使用贴片机时最好把盖子盖上.预防异物掉落到晶圆承载盘上.17第17页UV照射按住锁定按钮向后推开盖子将须照射工件表面朝上放入照射室按START进行照射18第18页首件检验:首件检验:将要检验之晶圆放置工具显微镜平台上。使用物镜倍率50倍检视,并调整焦距至清楚为止。将平台移到屏幕显示晶圆最左边短边切割道。按照首检规格依次检验,并统计数值于割片外观检验表用黑色抗静电镊子,夹起1颗晶片,将晶片电路朝向自己,调整晶片水平,量测晶片两侧垂直面,不可大于5m,结果统计于
7、割片外观检验表垂直面量测完成后,再检验晶片底部(后面),崩碎范围不可大于100m,结果统计于割片外观检验表。19第19页切割第一片及每切割5片必须抽检1片,检验项目有垂直度、L型至刀痕距离、及背崩检验,每片必须检验4个Chip以上E、侧面图(背崩)D100m底边 5mC/D、侧面图(垂直面)特例:T3、4B4D背崩范围不可大于50m首件检验20第20页目检方法:目检方法:每片切割完成之晶圆,必须全部检验。将切割完成之晶圆,放置在显微镜平台上。调整至最大倍率。调整焦距至眼睛可看清楚。移动晶圆至短边切割道,检验短边崩碎范围是否影响至晶片,若崩碎至晶片,则以黑色油性签字笔在晶片中央点个黑点。再调整显
8、微镜倍率为30倍。调整焦距到眼睛可看清楚。再移动晶圆至最左边,检验长边切割道崩碎范围是否影响至晶片及晶片上是否刮伤电路,或晶片上有任何异状,若有以上情况,必须以黑色油性签字笔点在晶片中央。检验后,须将以上黑点数量、刮伤数量、其它不良统计于晶圆切割站目检情况统计表。若黑点数量超出30颗,必须马上通知领班或设备工程师处理 21第21页1、点黑点时,手不允许碰到晶圆a.目检晶圆四面,检验切割痕,看有没有未切穿现象,若有,则尽快通知工程师修机2、切割道崩坏超出保护边就必须看成不良点上黑点3、目检步骤:b.目检短边切割道,看有没有崩坏到保护边现象,若有,则点上黑点目视检验22第22页压伤不良图片崩巴不良
9、图片刮伤不良图片铝电极c.目检长边切割道,看有没有崩坏到保护边或晶片表面刮伤现象,若有,则点上黑点d.对于大面积刮伤,可利用显微镜斜光看出e.晶圆切割当班工程师须对已目检晶圆进行随机抽检,晶圆切割当班工程师须对已目检晶圆进行随机抽检,抽检比率应大于抽检比率应大于5%,并做对应统计,对出现问题超出,并做对应统计,对出现问题超出2次次(包含包含2次次)员工提报给当班制造线长员工提报给当班制造线长目视检验23第23页换刀步骤换刀步骤1、当屏幕右下角刀数到预定、当屏幕右下角刀数到预定刀片使用寿命时即须换刀刀片使用寿命时即须换刀当前使用切割刀预计寿 命以下:27HEEE2:1刀27HCEF1:1刀 27
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 切割 培训资料 公开 一等奖 联赛 获奖 课件
![提示](https://www.zixin.com.cn/images/bang_tan.gif)
1、咨信平台为文档C2C交易模式,即用户上传的文档直接被用户下载,收益归上传人(含作者)所有;本站仅是提供信息存储空间和展示预览,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容不做任何修改或编辑。所展示的作品文档包括内容和图片全部来源于网络用户和作者上传投稿,我们不确定上传用户享有完全著作权,根据《信息网络传播权保护条例》,如果侵犯了您的版权、权益或隐私,请联系我们,核实后会尽快下架及时删除,并可随时和客服了解处理情况,尊重保护知识产权我们共同努力。
2、文档的总页数、文档格式和文档大小以系统显示为准(内容中显示的页数不一定正确),网站客服只以系统显示的页数、文件格式、文档大小作为仲裁依据,平台无法对文档的真实性、完整性、权威性、准确性、专业性及其观点立场做任何保证或承诺,下载前须认真查看,确认无误后再购买,务必慎重购买;若有违法违纪将进行移交司法处理,若涉侵权平台将进行基本处罚并下架。
3、本站所有内容均由用户上传,付费前请自行鉴别,如您付费,意味着您已接受本站规则且自行承担风险,本站不进行额外附加服务,虚拟产品一经售出概不退款(未进行购买下载可退充值款),文档一经付费(服务费)、不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
4、如你看到网页展示的文档有www.zixin.com.cn水印,是因预览和防盗链等技术需要对页面进行转换压缩成图而已,我们并不对上传的文档进行任何编辑或修改,文档下载后都不会有水印标识(原文档上传前个别存留的除外),下载后原文更清晰;试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓;PPT和DOC文档可被视为“模板”,允许上传人保留章节、目录结构的情况下删减部份的内容;PDF文档不管是原文档转换或图片扫描而得,本站不作要求视为允许,下载前自行私信或留言给上传者【快乐****生活】。
5、本文档所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权,请谨慎使用;网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽--等)目的在于配合国家政策宣传,仅限个人学习分享使用,禁止用于任何广告和商用目的。
6、文档遇到问题,请及时私信或留言给本站上传会员【快乐****生活】,需本站解决可联系【 微信客服】、【 QQ客服】,若有其他问题请点击或扫码反馈【 服务填表】;文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“【 版权申诉】”(推荐),意见反馈和侵权处理邮箱:1219186828@qq.com;也可以拔打客服电话:4008-655-100;投诉/维权电话:4009-655-100。