探讨多晶硅冷氢化技术中四氯化硅的转化率.pdf
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1、中国科技期刊数据库 工业 A 收稿日期:2023 年 12 月 21 日 作者简介:刘建海(1985),男,汉族,江苏沛县人,新特能源股份有限公司,本科,研究方向为新能源光伏领域,多晶硅的生产技术研发管理。-48-探讨多晶硅冷氢化技术中四氯化硅的转化率 刘建海 新特能源股份有限公司,新疆 乌鲁木齐 831100 摘要:摘要:提升国内多晶硅产能,以及装置运行效率,解决国内光伏产业链可持续成长急需解决的关键问题是如何处理四氯化硅,提高四氯化硅的转化效率。文章结合多晶硅冷氢化技术进行研究,在工艺流程方面、流化床反应温度、反应压力、催化剂影响、以及流化床内部构件等因素进行分析。确保多晶硅冷氢化技术中的
2、四氯化硅实现合理转化,并达到合理经济高效的转化率,满足实际工作的需求,最终推动相关行业的节能、低碳、绿色发展。关键词:关键词:多晶硅;冷氢化技术;四氯化硅;转化率 中图分类号:中图分类号:TQ127 针对多晶硅,其可以广泛使用在半导体和太阳能光伏产业。而在多晶硅的生产过程中,会产生副产物四氯化硅,通过冷氢化工艺可以将四氯化硅通过转化生成多晶硅的原料三氯氢硅。而四氯化硅的转化效率会影响多晶硅生产能力,所以,需要对多晶硅生产中四氯化硅的转化率进行合理控制,促使其满足实际生产的需求。基于此,文章结合多晶硅的冷氢化技术的基本情况,对四氯化硅的转化率进行分析,然后,再对影响转化率的因素进行研究,确保经过
3、控制后,能实现多晶硅的合理生产,从而推动相关企业的稳步发展。1 多晶硅冷氢化技术的相关研究 针对多晶硅的基本情况,对多晶硅的生产方法进行分析。现结合实际情况,对多晶硅冷氢化技术进行研究,详细内容分析如下。冷氢化工艺简述:工业级硅粉 99 硅或 421、521 型号的硅粉利用气力输送至硅粉干燥器,干燥后排入硅粉中间料仓。硅粉在硅粉中间料仓中由氢气加压带入流化床反应器中。提纯后的四氯化硅经过加压、预热后送至四氯化硅汽化器,汽化后的四氯化硅气体经过加热器以及与流化床反应器出口的换热器进行热能综合利用后进一步加热后送至流化床反应器中。循环氢气和补充的新鲜氢气经各自的压缩机加压后混合,按与硅粉规定比例经
4、过预热器、四级换热器、加热器加热后送至流化床反应器中。将来自还原尾气干法分离的氯化氢气体经压缩机加压和加热器加热后送至流化床反应器中。在流化床反应器中,硅粉与四氯化硅、氢气、氯化氢气体在 550左右、约 3.0MPa 压力下进行气固流化反应,生成含一定比例三氯氢硅的氯硅烷混合气。其主要反应方程式如下:Si+2SiCl4+H2+HCl3SiHCl3 或在没有氯化氢气体的情况下,在氢化反应器内硅粉与四氯化硅与氢气发生气固流化反应,主要化学反应方程式如下:Si+3SiCl4+2H24SiHCl3 反应后的氯硅烷混合气体经过急冷除尘系统,以除去反应气体中夹带的细微硅粉颗粒,同时使反应气体得到了降温。除
5、尘后的反应气体经过冷凝器冷凝回收,冷凝液主要为氯硅烷的混合液,送入粗馏提纯工序分离,而主要组份为氢气的不凝气体则经循环氢气压缩机循环使用。2 多晶硅冷氢化技术中四氯化硅转化率研究 结合多晶硅冷氢化技术的基本情况,为了满足多晶硅的制造需求,在具体工作中,还会产生副产物四氯化硅,冷氢化生产三氯氢硅是目前解决还原副产的四氯化硅以及提供还原生产用三氯氢硅的重要生产方法,但是由于温度、压力、设备材质等生产的要求,致使冷氢化生产的过程中,转化率普遍偏低,需要对四氯化硅进行合理转换,促使其可以满足实际工作的需求。需要对四氯化硅的转换率进行简单分析。2.1 四氯化硅的转化效率因素分析 结合四氯化化硅的基本情况
6、,对四氯化硅的生产进行分析,确保具体工作中,能够实现四氯化硅的合理生产,从而满足相关工业的生产需求。详细内容分中国科技期刊数据库 工业 A-49-析如下。主要化学反应方程式如下:Si+3SiCl4+2H24SiHCl3 为了满足实际工作的基本需求,通过对反应的主要方程式进行分析,确保具体工作中,实现四氯化硅的合理转化,一般工作中,四氯化硅工作期间,其转化率会受到流化床反应过程中的温度、压力、床层高度、氢气配比、催化剂的添加量等内容的影响,都会给转化率带来影响。一般在转化时,如果压力在 2.0-3.0MPa 左右,那么四氯化硅的转化率就可以在的 18%25%左右,且在生 产 中,每 转 化 1k
7、g 四 氯 化 硅,将 消 耗 电 量0.2-0.25kWh,进而可以满足转化率控制需求,而在生产期间,还有可能产生次生污染,为了实现循环生产,为了满足工作需求,要对转化率进行合理控制,促使转化率可以满足具体工作需求。2.2 工艺参数对转化率的影响 结合多晶硅冷氢化技术中四氯化硅的转化率的相关内容,需要对影响转化率的影响进行分析,确保具体工作中,转化率可以得到合理控制,进而满足多晶硅生产的基本需求,全面推动多晶硅需求行业的发展需求,详细内容分析如下。2.2.1 反应温度对转化率的影响 结合多晶硅冷氢化技术的基本情况,对具体工艺中,温度给四氯化硅的转化率的影响进行分析,确保具体工作中,能够做好转
8、化率的合理控制,工作期间,需要对系统压力进行控制,然后,再对反应料为压差和摩尔配比进行分析,确保氢气过量的情况,其他的条件,基本不发生变化,在系统稳定运行之后,需要间隔 3h 进行一次取样,然后,测定 STC 的摩尔转化率。经过计算后,能够得到在其他反应条件不变的情况下,随着反应温度的提升,会使得 STC 摩尔转化率逐渐升高,通常情况下,随着温度的升高,有助于提高氢化反应的速度,而当温度上升到一定程度,则会给三氯氢硅的转化率带来影响。目前,常见的冷氢化生产三氯氢硅的办法是在高温条件下,由硅粉、四氯化硅与氢气在流化床中发生化学反应。由于冷氢化反应基本接近热量平衡,而所需求的反应需要长期维持在较高
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