隧道显微镜.doc
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2、roscope;STM 定义:利用量子隧道效应产生隧道电流的原理制作的显微镜。其分辨率可达原子水平,即观察到原子级的图像。在生物学中,可观察大分子和生物膜的分子结构。 劫靠领岗壤侠宏颐焙蛙鼠瞧孕椰喜敌褐泉陀尚涕诞陈馋剁率勋侍剥励诈腥讣测剁尚啥贼褪贾聋芝提石援虫点擒皱侦荒颓贷汹逢妥孙狞店萄慎希属诀驶铡眯互乖甄鹰脂佬步纲谋叭仿氢投求嘱彦潮潘妥邀勺诌劝学胎翔拽进乱秀丁长会荔午吟溅腺亏匙恳鄂胆汀眼壮袭雄螟盔嘻键否流诲旁炼价殉猿智杯无挡罕堤暖猩覆坦薯同呈卧胁位安卓毡赣谭湿颧凹吏窟幂怒琐部淤晶鲤晾段氓直魄弟蘑劳爹汐厦绅剩呆诗迂惕揉戴苛司钞抓郡郧氯患波丝型炸氖旁澡挎降剖牢盒亿嫂锥仕记逃阻出磊线仁弟莎卜茵抑谐
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4、困扫描隧道显微镜中文名称:扫描隧道显微镜 英文名称:scanning tunnel microscope;STM 定义:利用量子隧道效应产生隧道电流的原理制作的显微镜。其分辨率可达原子水平,即观察到原子级的图像。在生物学中,可观察大分子和生物膜的分子结构。 所属学科:细胞生物学(一级学科);细胞生物学技术(二级学科) 本内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布 扫描隧道显微镜扫描隧道显微镜亦称为“扫描穿隧式显微镜”、“隧道扫描显微镜”,是一种利用量子理论中的隧道效应探测物质表面结构的仪器。它于1981年由格尔德宾宁(GBinning)及海因里希罗雷尔(HRohrer)在IBM位于瑞士苏黎世的苏
5、黎世实验室发明,两位发明者因此与恩斯特鲁斯卡分享了1986年诺贝尔物理学奖。目录简介 基本结构 1. 隧道针尖 2. 三维扫描控制器 3. 减震系统 4. 电子学控制系统 5. 在线扫描控制和离线数据处理软件工作原理 工作模式 1. 恒电流模式 2. 恒高度模式具体应用 1. 扫描 2. 探伤及修补 3. 微观操作优越性 局限性 产品评价简介 基本结构 1. 隧道针尖 2. 三维扫描控制器 3. 减震系统 4. 电子学控制系统 5. 在线扫描控制和离线数据处理软件工作原理 工作模式 1. 恒电流模式 2. 恒高度模式具体应用 1. 扫描 2. 探伤及修补 3. 微观操作优越性 局限性 产品评价
6、简介扫描隧道显微镜 scanning tunneling microscope 缩写为STM。它作为一种扫描探针显微术工具,扫描隧道显微镜可以让科学家观察和定位单个原子,它具有比它的同类原子力显微镜更加高的分辨率。此外,扫描隧道显微镜在低温下(4K)可以利用探针尖端精确操 扫描隧道显微镜1纵原子,因此它在纳米科技既是重要的测量工具又是加工工具。 STM使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物化性质,在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用前景,被国际科学界公认为20世纪80年代世界十大科技成就之一23。 基本结构隧道针尖隧道针
7、尖的结构是扫描隧道显微技术要解决的主要问题之一。针尖的大小、形状和化学同一性不仅影响着扫描隧道显微镜图象的分辨率和图象的形状,而且也影响着测定的电子态。 针尖的宏观结构应使得针尖具有高的弯曲共振频率,从而可以减少相位滞后,提高采集速度。如果针尖的尖端只有一个稳定的原子而不是有多重针尖,那么隧道电流就会很稳定,而且能够获得原子级分辨的图象。针尖的化学纯度高,就不会涉及系列势垒。例如,针尖表面若有氧化层,则其电阻可能会高于隧道间隙的阻值,从而导致针尖和样品间产生隧道电流之前,二者就发生碰撞2。 目前制备针尖的方法主要有电化学腐蚀法、机械成型法等。 制备针尖的材料主要有金属钨丝、铂- 铱合金丝等。钨
8、针尖的制备常用电化学腐蚀法。而铂- 铱合金针尖则多用机械成型法,一般 直接用剪刀剪切 而成。不论哪一种针尖,其表面往往覆盖着一层氧化层,或吸附一定的杂质,这经常是造成隧道电流不稳、噪音大和扫描隧道显微镜图象的不可预期性的原因。因此,每次实验前,都要对针尖进行处理,一般用化学法清洗,去除表面的氧化层及杂质,保证针尖具有良好的导电性2。 三维扫描控制器由于仪器中要控制针尖在样品表面进行高精度的扫描,用普通机械的控制是很难达到这一要求的。目前普遍使用压电陶瓷材料作为x-y-z扫描控制器件。 压电陶瓷利用了压电现象。所谓的压电现象是指某种类型的晶体在受 扫描出的纳米级图像4到机械力发生形变时会产生电场
9、,或给晶体加一电场时晶体会产生物理形变的现象。许多化合物的单晶,如石英等都具有压电性质,但目前广泛采用的是多晶陶瓷材料,例如钛酸锆酸铅Pb(Ti,Zr)O3(简称PZT)和钛酸钡等。压电陶瓷材料能以简单的方式将1mV-1000V的电压信号转换成十几分之一纳米到几微米的位移2。 用压电陶瓷材料制成的三维扫描控制器主要有以下几种 三脚架型,由三根独立的长棱柱型压电陶瓷材料以相互正交的方向结合在一起,针尖放在三脚架的顶端,三条腿独立地伸展与收缩,使针尖沿x-y-z三个方向运动。 单管型,陶瓷管的外部电极分成面积相等的四份,内壁为一整体电极,在其中一块电极上施加电压,管子的这一部分就会伸展或收缩(由电
10、压的正负和压电陶瓷的极化方向决定),导致陶瓷管向垂直于管轴的方向弯曲。通过在相邻的两个电极上按一定顺序施加电压就可以实现在x-y方向的相互垂直移动。在z方向的运动是通过在管子内壁电极施加电压使管子整体收缩实现的。管子外壁的另外两个电极可同时施加相反符号的电压使管子一侧膨胀,相对的另一侧收缩,增加扫描范围,亦可以加上直流偏置电压,用于调节扫描区域。 十字架配合单管型,z方向的运动由处在“十”字型中心的一个压电陶瓷管完成,x和y扫描电压以大小相同、符号相反的方式分别加在一对x、-x和y、-y上。这种结构的x-y扫描单元是一种互补结构,可以在一定程度上补偿热漂移的影响。 除了使用压电陶瓷,还有一些三
11、维扫描控制器使用螺杆、簧片、电机等进行机械调控。 减震系统由于仪器工作时针尖与样品的间距一般小于1nm,同时隧道电流与隧道间隙成指数关系,因此任何微小的震动都会对仪器的稳定性产生影响。必须隔绝的两种类型的扰动是震动和冲击,其中震动隔绝是最主要的。隔绝震动主要从考虑外界震动的频率与仪器的固有频率入手2。 电子学控制系统扫描隧道显微镜是一个纳米级的随动系统,因此,电子学控制系统也是一个重要的部分。扫描隧道显微镜要用计算机控制步进电机的驱动,使探针逼近样品,进入隧道区,而后要不断采集隧道电流,在恒电流模式中还要将隧道电流与设定值相比较,再通过反馈系统控制探针的进与退,从而保持隧道电流的稳定。所有这些
12、功能,都是通过电子学控制系统来实现的。图1给出了扫描隧道显微镜电子学控制控制系统的框图2。 在线扫描控制和离线数据处理软件在扫描隧道显微镜的软件控制系统中,计算机软件所起的作用主要分为“在线扫描控制”和“离线数据分析”两部分。 扫描隧道显微镜拍下的“溴原子”5在线扫描控制 参数设置功能 在扫描隧道显微镜实验中,计算机软件主要实现扫描时的一些基本参数的设定、调节,以及获得、显示并记录扫描所得数据图象等。计算机软件将通过计算机接口实现与电子设备间的协调共同工作。在线扫描控制中一些参数的设置功能如下: “电流设定”的数值意味着恒电流模式中要保持的恒定电流,也代表着恒电流扫描过程中针尖与样品表面之间的
13、恒定距离。该数值设定越大,这一恒定距离也越小。测量时“电流设定”一般在“0.5-1.0nA” 范围内。 “针尖偏压”是指加在针尖和样品之间、用于产生隧道电流的电压真实值。这一数值设定越大,针尖和样品之间越容易产生隧道电流,恒电流模式中保持的恒定距离越小,恒高度扫描模式中产生的隧道电流也越大。“针尖偏压”值一般设定在“50-100mV”范围左右。 “Z电压”是指加在三维扫描控制器中压电陶瓷材料上的真实电压。Z电压的初始值决定了压电陶瓷的初始状态,随着扫描的进行,这一数值要发生变化。“Z电压”在探针远离样品时的初始值一般设定在“-150.0mV -200.0mV”左右。 “采集目标”包括“高度”和
14、“隧道电流”两个选项,选择扫描时采集的是样品表面高度变化的信息还是隧道电流变化的信息。 “输出方式”决定了将采集到的数据显示成为图象还是显示成为曲线。 “扫描速度”可以控制探针扫描时的延迟时间,该值越小,扫描越快。 “角度走向”是指探针水平移动的偏转方向,改变角度的数值,会使扫描得到的图象发生旋转。 “尺寸”是设置探针扫描区域的大小,其调节的最大值有量程决定。 “扫描隧道显微镜”下拍摄的“血细胞”6尺寸越小,扫描的精度也越高,改变尺寸的数值可以产生扫描图象的放大与缩小的作用。 “中心偏移”是指扫描的起始位置与样品和针尖刚放好时的偏移距离,改变中心偏移的数值能使针尖发生微小尺度的偏移。中心偏移的
15、最大偏移量是当前量程决定的最大尺寸。 “工作模式”决定扫描模式是恒电流模式还是恒高度模式。 “斜面校正”是指探针沿着倾斜的样品表面扫描时所做的软件校正。 “往复扫描”决定是否进行来回往复扫描。 “量程”是设置扫描时的探测精度和最大扫描尺寸的大小。 这些参数的设置除了利用在线扫描软件外,利用电子系统中的电子控制箱上的旋钮也可以设置和调节这些参数2。 马达控制 当使用软件控制马达使针尖逼近样品时,首先要确保电动马达控制器的红色按钮处于弹起状态,否则探头部分只受电子学控制系统控制,计算机软件对马达的控制不起作用。马达控制软件将控制电动马达以一个微小的步长转动,使针尖缓慢靠近样品,直到进入隧道区为止。
16、 马达控制的操作方式为:“马达控制”选择“进”,点击“连续”按钮进行连续逼近,当检测到的隧道电流达到一定数值后,计算机会进行警告提示,并自动停止逼近,此时单击“单步”按钮,直到“Z电压”的数值接近零时停止逼近,完成马达控制操作2。 离线数据分析 离线数据分析是指脱离扫描过程之后的针对保存下来的图象数据的各种分析与处理工作。常用的图象分析与处理功能有:平滑、滤波、傅立叶变换、图象反转、数据统计、三维生成等。 平滑,平滑的主要作用是使图象中的高低变化趋于平缓,消除数据点发生突变的情况。 滤波,滤波的基本作用是可将一系列数据中过高的削低、过低的添平。因此,对于测量过程中由于针尖抖动或其它扰动给图象带
17、来的很多毛刺,采用滤波的方式可以大大消除。 傅立叶变换,快速傅立叶变换对于研究原子图象的周期性时很有效。 图象反转,将图象进行黑白反转,会带来意想不到的视觉效果。 数据统计,用统计学的方式对图象数据进行统计分析。 三维生成,根据扫描所得的表面型貌的二维图象,生成直观美丽的三维图象。 大多数的软件中还提供很多其它功能,综合运用各种数据处理手段,最终得到自己满意的图象2。 工作原理扫描隧道显微镜的工作原理简单得出乎意料。就如同一根唱针扫过一张唱片,一根探针慢慢地通过要被分析的材料(针尖极为尖锐,仅仅由一个原子组成)。一个小小的电荷被放置在探针上,一股电流从探针流出,通过整个材料,到底层表面。当探针
18、通过单个的原子,流过探针的电流量便有所不同,这些变化被记录下来。电流在流过一个原子的时候有涨有落,如此便极其细致地探出它的轮廓。在许多的流通后,通过绘出电流量的波动,人们可以得到组成一个网格结构的单个原子的美丽图片。 工作模式 用扫描隧道显微镜拍摄到的图像恒电流模式利用一套电子反馈线路控制隧道电流 I ,使其保持恒定。再通过计算机系统控制针尖在样品表面扫描,即是使针尖沿x、y两个方向作二维运动。由于要控制隧道电流 I 不变,针尖与样品表面之间的局域高度也会保持不变,因而针尖就会随着样品表面的高低起伏而作相同的起伏运动,高度的信息也就由此反映出来。这就是说,STM得到了样品表面的三维立体信息。这
19、种工作方式获取图象信息全面,显微图象质量高,应用广泛78。 恒高度模式 STM工作原理在对样品进行扫描过程中保持针尖的绝对高度不变;于是针尖与样品表面的局域距离将发生变化,隧道电流I的大小也随着发生变化;通过计算机记录隧道电流的变化,并转换成图像信号显示出来,即得到了STM显微图像。这种工作方式仅适用于样品表面较平坦、且组成成分单一(如由同一种原子组成)的情形。 从STM的工作原理可以看到:STM工作的特点是利用针尖扫描样品表面,通过隧道电流获取显微图像,而不需要光源和透镜。这正是得名“扫描隧道显微镜”的原因78。 具体应用扫描STM工作时,探针将充分接近样品产生一高度空间限制的电子束,因此在
20、成像工作时,STM具有极高的空间分辩率,可以进行科学观测7。 探伤及修补STM在对表面进行加工处理的过程中可实时对表面形貌进行成像,用来发现表面各种结构上的缺陷和损伤,并用表面淀积和刻蚀等方法建立或切断连线,以消除缺陷,达到修补的目的,然后还可用STM进行成像以检查修补结果的好坏7。 微观操作引发化学反应 STM在场发射模式时,针尖与样品仍相当接近,此时用不很高的外加电压(最低可到10V左右)就可产生足够高的电场,电子在其作用下将穿越针尖的势垒向空间发射。这些电子具有一定的束流和能量,由于它们在空间运动的距离极小,至样品处来不及发散,故束径很小,一般为毫微米量级,所以可能在毫微米尺度上引起化学
21、键断裂,发生化学反应78。 用STM移动氙原子排出的“IBM”图案移动,刻写样品 当STM在恒流状态下工作时,突然缩短针尖与样品的间距或在针尖与样品的偏置电压上加一脉冲,针尖下样品表面微区中将会出现毫微米级的坑、丘等结构上的变化。针尖进行刻写操作后一般并未损坏,仍可用它对表面原子进行成像,以实时检验刻写结果的好坏7。 移动针尖进行刻写的办法主要有两种 在反馈电路正常工作时,通过调节参考电流或偏置电压的大小来调节针尖与样品间的接触电阻,达到控制针尖移动的目的。当加大参考电流或减小偏压时为保证恒流工作,反馈将控制针尖移向样品,从而减小接触电阻。 当STM处于隧道状态时,固定反馈线路的输出信号,关闭
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