增强体表面改性在高导热金属基复合材料中的应用.pdf
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1、第 15 卷第 2 期2024年4月有色金属科学与工程Nonferrous Metals Science and EngineeringVol.15,No.2Apr.2024增强体表面改性在高导热金属基复合材料中的应用蔡志勇1,2,3,文璟1,王日初*1,2,3,彭超群1,2(1.中南大学材料科学与工程学院,长沙 410083;2.湖南省电子封装与先进功能材料重点实验室,长沙 410083;3.中南大学轻质高强结构材料重点实验室,长沙410083)摘要:随着电子技术的高速发展和电子器件的更新换代,电子封装材料的性能需求越来越高。金属基复合材料,尤其是铝基和铜基复合材料具有高导热、低膨胀、高稳定
2、性等特点,是具有广阔应用前景的电子封装材料。然而,金刚石、石墨烯、硅等增强体与基体的润湿性差,或者在高温下与基体发生有害的界面反应,限制了此类高导热金属基复合材料的开发和应用。本文简述了金属基复合材料的界面研究进展,结合影响金属基复合材料界面结合的因素,提出了几种改善界面结合的方法。增强体表面改性是改善金属基复合材料界面的重要途径之一,常用工艺有磁控溅射法、化学气相沉积法、溶胶凝胶法、化学镀法等;最后,对增强体表面改性在高热导金属基复合材料中的应用进行分析和展望。关键词:电子封装材料;金属基复合材料;铝基复合材料;铜基复合材料;增强体;界面反应;表面改性中图分类号:TB333 文献标志码:AA
3、pplication of surface modification of reinforcing phase in metal matrix composites with high thermal conductivityCAI Zhiyong1,2,3,WEN Jing1,WANG Richu*1,2,3,PENG Chaoqun1,2(1.School of Materials Science and Engineering,Central South University,Changsha 410083,China;2.Key Laboratory of Electronic Pac
4、kaging and Advanced Functional Materials of Hunan Province,Changsha 410083,China;3.National Key Laboratory of Science and Technology on High-strength Structural Materials,Central South University,Changsha 410083,China)Abstract:With the rapid development of electronic technology and the upgrading of
5、electronic devices,the requirement for electronic packaging materials is getting higher than before.Metal matrix composites,especially aluminum and copper matrix composites have the characteristics of high thermal conductivity,low expansion,and high stability,which are electronic packaging materials
6、 with broad application prospects.However,diamond,graphene,silicon,and other reinforcements have poor wettability with the matrix,or have harmful interface reaction with the matrix at high temperature,which limits the development and application of metal matrix composites with the high thermal condu
7、ctivity.This paper briefly described the research progress of interface of metal matrix composites,and proposed several methods to improve the interface bonding based on the factors that affect the interface bonding of metal matrix composites.Surface modification of reinforcement is one of the most
8、important 收稿日期:2023-02-01;修回日期:2023-04-20基金项目:国家自然科学基金资助项目(52274369);中国博士后科学基金项目(2018M632986);湖南省自然科学基金项目(2019JJ50766);轻质高强结构材料国防重点实验室开放基金资助项目(JCKY201851)通信作者:王日初(1965),博士,教授,主要从事材料科学与工程方面的教学及科研工作。E-mail:文章编号:1674-9669(2024)02-0237-19 DOI:10.13264/ki.ysjskx.2024.02.011引文格式:蔡志勇,文璟,王日初,等.增强体表面改性在高导热金属
9、基复合材料中的应用J.有色金属科学与工程,2024,15(2):237-255.有色金属科学与工程2024 年 4 月ways to improve the interface of metal matrix composites.The common technologies include magnetron sputtering,chemical vapor deposition,sol-gel and electroless plating.Finally,the application of surface modification of reinforcement in metal
10、 matrix composites with high thermal conductivity was analyzed and prospected.Keywords:electronic packaging materials;metal matrix composites;aluminum matrix composites;copper matrix composites;reinforcement;interface reaction;surface modification随着现代电子技术的高速发展,集成电路(IC)已渗透到各行各业,电子产品被广泛应用于互联网、计算机、移动通信
11、、汽车电子、航空卫星等领域,促进了信息通讯全球化、生产设备智能化和自动化发展1。社会产业结构的革新换代和人类生活发展的物质需求极大地推动了IC产业的发展,随着5G时代的到来,IC产品的需求呈指数式增长,IC产品的制备和封装面临的挑战也越来越大2。面对复杂的工作环境和更高的封装性能要求,单一的材料体系(金属、陶瓷)已难以满足高集成度IC芯片的封装要求,新型电子封装材料的研发已迫在眉睫。金属基复合材料(Metal Matrix Composites,MMCs)因可设计性强、加工性能良好、热膨胀系数低等优点成为电子封装材料研究的热门,尤其是以铝和铜为基体的高导热金属基复合材料,不仅具备上述优点,还具
12、备更优异的导热性能和力学性能,是电子封装领域使用最为广泛的金属基复合材料。为了在制备过程中尽可能提高金属基复合材料的综合性能,本文研究分析了基体与增强体之间界面对金属基复合材料综合性能的作用机理,总结了几种增强体表面改性工艺在制备金属基复合材料中的实际应用,最后对表面改性工艺的应用进行分析和展望。1金属基复合材料在电子封装中的应用电子封装是将电子器件、组件、部件和微电子系统等进行组合包装,起到保护电路、固定元件、及时散热和导电等作用,保证内部系统免受外界环境因素的干扰3。电子封装材料作为整个电子系统的重要组成部分,在电学性质、物理性质、化学性质等方面必须和电子元器件保持良好的匹配,根据材料种类
13、可将其分为陶瓷封装材料、塑料封装材料和金属封装材料4。陶瓷封装材料的膨胀系数和密度较低,常作为基板材料承载和固定电子器件,但其导热率较低,电子器件产生的热量不能及时释放,导致电子器件的稳定性下降。塑料封装材料具有轻盈便捷、抗冲击性强的特点,但其内部存在气孔等组织缺陷,在潮湿和高温的环境下,易腐蚀和损坏5。金属封装材料,如铝和铜及其合金,具有良好的导热、机加工、镀覆等性能,但是它们的热膨胀系数(Al:23.610-6/K、Cu:17.610-6/K)与 芯 片 材 料 硅(4.210-6/K)和 GaAs(5.810-6/K)相差很大,电子器件工作时热循环将产生较大的内应力,电子器件存在受应力破
14、损或失效的风险6。W/Cu和Cu/Mo复合材料具有与半导体材料相近的热膨胀系数和较为优异的导热性能,在电子封装中常作为热沉材料,但存在密度大、可焊性差的缺点,限制了其广泛应用。综上所述,单一的材料体系已不能适应高集成电路的封装需求,直至金属基复合材料进入电子封装领域。通过在金属基体中添加一定的增强体材料(陶瓷、合金)形成金属基复合材料,其性能受基体和增强体的种类与配比、空间配置(尺寸、形貌、对称性),以及界面结合状态等因素的影响7,选取合适的制备工艺可得到性能优异的金属基复合材料,从而满足电子封装的性能需求。金属基复合材料根据基体可以划分为铝、铜、镁、锌基复合材料,其中以铝和铜为基体的高导热金
15、属基复合材料,具有优异的热物理性能和力学性能,在电子封装领域应用最为广泛8。其增强体材料主要包括陶瓷材料Al2O3、SiC、AlN等,以及单质碳、硼以及硅等9-11;另外,一些金属或合金纤维也可以作为增强体,如FeCrSi金属纤维12-13;根据增强体的形貌可将其划分为纤维类增强体、晶须类增强体和颗粒类增强体等7。1.1铝基复合材料电子封装用铝基复合材料(Aluminum Matrix Composites,AMCs)具有高强度、高硬度、耐腐蚀、抗疲劳以及低热膨胀系数等优点,依据增强体形貌可将其分为纤维增强和颗粒增强铝基复合材料14。1.1.1纤维增强铝基复合材料纤维增强铝基复合材料的增强体一
16、般为碳、SiC、硼等纤维材料15,具有高强度、高硬度、低密度以及耐磨等性质。纤维增强铝基复合材料的加工方法包含固态扩散法、粉末冶金法等。美国Textron公238第 15 卷 第 2 期蔡志勇,等:增强体表面改性在高导热金属基复合材料中的应用司使用固态扩散法制备了一种SiCF增强铝基复合材料14,其沿纤维方向的抗拉强度超过 1 600 MPa,弹性模量达到 250 GPa,而密度仅为 2.8 g/cm3,被广泛应用于电子封装和航空航天领域。此外,国外还利用FeCrSi金属纤维在一定条件下制成多孔预制块,然后在低压环境中将A336铝合金熔体渗入预制块,最终制成铝基复合材料12。1.1.2颗粒增强
17、铝基复合材料在纯铝或铝合金中添加具有高强度、高模量、耐磨、耐热的颗粒,颗粒尺寸一般为微米到纳米级,能够有效提高基体强度、硬度、耐磨性和耐热性。在相同体积分数下,增强体颗粒的尺寸越小,颗粒数目越多,颗粒间距也就越小,材料的力学性能一般越高16。电子封装用铝基复合材料常用的增强体颗粒有SiC、SiO2等陶瓷以及石墨、硅等单质颗粒,制备方法有铸造法、粉末冶金法、原位合成法等。为实现复合材料与集成电路基体材料热膨胀系数相匹配,往往需要采用高体积分数的增强体与基体复合,但传统铸造工艺制备的高体积分数复合材料,增强体易团聚及分布不均匀导致颗粒偏大,使复合材料综合性能大大降低。为解决上述问题,中南大学利用快
18、速凝固喷射沉积法,制备了高硅含量的Al/SiP复合材料17,该材料与传统熔炼铸造材料相比,增强体硅颗粒更加均匀细小,热导率、热膨胀系数和机械加工等材料性能更加符合电子封装要求。此外,在自蔓延燃烧现象的基础上,开发出金属基复合材料的原位反应技术18,与传统工艺制备的铝基复合材料相比,原位自生铝基复合材料中增强体的尺寸由微米级降到纳米级,与基体的界面结合良好,无不良的界面反应,有效改善了铝基复合材料的强度、塑性和耐磨性,但增强体的含量低、尺寸控制难、分布不均匀等问题亟待解决。1.2铜基复合材料纯铜具有优异的导电导热性能和良好的加工性能,通过与陶瓷或一些稳定单质增强体结合形成铜基复合材料,能够有效提
19、升材料的刚度、强度、耐磨和耐腐蚀性,降低材料密度和膨胀系数19,因而在电子封装材料领域越来越受人们关注。铜基复合材料可分为纤维增强和颗粒增强铜基复合材料20。1.2.1纤维增强铜基复合材料纤维增强铜基复合材料应用最为广泛的是碳纤维增强铜基复合材料,Cu/CF复合材料作为新型的封装材料,其性能受碳纤维含量和分布的影响,具有明显的各向异性21。研究发现,Cu/CF复合材料纵向和横向的热导率以及热膨胀系数存在较大差异,沿纤维纵向的热导率显著高于横向的,而热膨胀系数明显低于横向的,因此Cu/CF复合材料的应用有一定的限制性。然而,LEI等22将碳纤维组成一种三维网络多孔体,并以此为预制坯,采用压力熔渗
20、法将铜基体渗入预制坯,成功制成一种具有各向同性的Cu/CF复合材料。此外,DATTA等23采用粉末冶金法也成功制备出具有各向同性的碳短纤维增强铜基复合材料。1.2.2颗粒增强铜基复合材料传统颗粒增强铜基复合材料以W、Mo等低膨胀系数材料作为增强体,制成 Cu/W 和 Cu/Mo 复合材料,它们具有高导热、高导电、低膨胀的特点,应用于制备大功率集成器件、电子设备、集成电路的散热器;但是Cu/W和Cu/Mo复合材料(W、Mo体积分数50%)存在密度过大、焊接性差的显著缺点24。新型铜基复合材料采用SiC、Si、金刚石等颗粒作为增强体,不仅具有较低的密度,还保持较高的导热、导电性能和较低的热膨胀系数
21、。Cu/SiCP复合材料的综合性能受SiC含量、尺寸和形貌等特征以及界面反应影响25。当SiC含量越高,复合材料的密度越低,硬度和抗拉强度等力学性能越优异;当SiC含量相同时,颗粒尺寸越小,复合材料的热膨胀系数越小,抗弯强度和弹性模量越大,但热导率有所降低26。Cu/SiP复合材料具有更低的密度以及良好的机加工性能,是电子封装材料的研究重点之一。然而,采用粉末热压烧结制备的Cu/SiP复合材料存在热膨胀系数和热导率与理论值相差较大的问题27,这是由于高温下Cu和Si扩散转变为Cu-Si化合物(Cu3Si、Cu5Si等)28,损耗了铜基体的延展性以及硅的稳定性和低热膨胀系数,从而降低Cu/SiP
22、复合材料的力学和热物理性能。因此,在制备Cu/SiCP、Cu/SiP等复合材料过程中,需要考虑如何有效控制界面反应,这也是高性能电子封装铜基复合材料制备技术和基础研究的主要难点。2金属基复合材料的界面性质与制备方法金属基复合材料的基体一般为金属单质或合金,增强体可以由一种材料,也可以是多种材料组成。不同的基体与增强体之间具有不同的界面特性,表现在基体与增强体间的润湿性、吸附性,以及两者是否发生化学反应等。在制备金属基复合材料时,基体与增强体的界面特征决定了两者的界面结合状态,最终导致复合材料的综合性能出现差异。239有色金属科学与工程2024 年 4 月因此,探究复合材料的界面特性以及界面对复
23、合材料性能的影响,对选择金属基复合材料的制备工艺,优化复合材料的使用性能具有重要意义7,11。2.1界面润湿性当液态金属接触增强体表面时,常用固-液润湿性来描述基体与增强体之间的界面特性。如图1所示,当一滴液体滴在光滑的固体上时,液滴趋于稳定后,液相表面与固相表面在相交处形成接触角,也称润湿角。此时,用SL表示固体与液滴之间的界面张力(界面能),用 LV液滴与气体之间的界面张力(表面能),固体与气体之间的界面张力(表面能)为SV,其平衡状态关系满足式(1),即杨氏方程29:LVcos=SV-SL(1)受这些界面张力的平衡调控,液滴产生了固定的形状和接触角。当=0时,液相完全润湿固相,液滴完全铺
24、展在固体表面;而当=180时,液相完全不润湿固相。要使液相趋于覆盖固相,在液相边缘需要一定的浸润驱动力,即固相在液相中的表面能要小于固相在气体中的表面能,则 SV-SL 0,0 90,如图 2(a)所示,该固-液系统为浸润体系。反之,当90 180时,液相不能很好地浸润固相,具有图2(b)所示的形状,称之为非浸润体系。杨氏方程是基于具有化学均匀性的光滑界面推导而出的,且默认材料表面不发生任何界面反应,即该方程中的接触角只与3种界面张力(SL、LV、SV)有关,忽略了材料表面微观成分和形貌对界面润湿平衡的影响30。2.2界面反应当金属基复合材料在制备过程中不产生液相或产生极微量的液相时,固-液润
25、湿性已不适用于描述基体与增强体的润湿体系,基体与增强体之间的界面受两者化学相容性的影响。根据基体与增强体之间的化学相容性,即两者是否发生界面反应,可将界面润湿体系分为非反应性润湿和反应性润湿31。2.2.1非反应性润湿当金属基体与增强体既不互溶也不发生化学反应时,基体与增强体之间的润湿性为非反应性润湿,界 面 结 合 为 纯 物 理 结 合,例 如 Al 与 Si、Al2O3、Ti2O332-33,Cu与C34-36,Ni-Si合金与SiC37等体系。在Al-Si体系中,只存在简单的二元共晶反应,如图3所示为铝硅二元系形成的典型共晶型平衡相图38。LIU等39运用热压烧结技术制备了Si体积分数
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