XX公司12英寸集成电路生产线技改项目环境影响报告表(含环境风险专项评价).pdf
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1、一、建设项目基本情况建设项目名称12英寸集成电路生产线技改项目项目代码建设单位联系人联系方式建设地点地理坐标国民经济 行业类别C39 73集成电路 制造建设项目 行业类别三十六、计算机、通信和其他电 子设备制造业,80电子器件制造,显示器件;集成电路制造;使用 有机溶剂的;有酸洗的以上均不 含仅分割、焊接、组装的建设性质新建(迁建)J改建J扩建技术改造建设项目 申报情形J首次申报项目口不予批准后再次申报项目 口超五年重新审核项目 口重大变动重新报批项目项目审批(核准/备案)部门(选填)项目审批(核准/备案)文号(选填)总投资(万元)220350环保投资(万元)2250环保投资占比(%)1.13
2、%施工工期6个月是否开工建设J否是:用地(用海)面积(m2)140069专项评价设置情 况设置环境风险评价专题:有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过 临界量的建设项目规划情况中新广州知识城新能源新材料及智能芯片园(AG0621-AG0623 管理单元)控制性详细规划;审批单位:广州市人民政府;批准 文号:穗开内收(2020)52号。规划环境影响 评价情况中新广州知识城新能源新材料及智能芯片园(AG0621-AG0623 管理单元)控制性详细规划环境影响报告书审查情况的复函;审 查单位:广州市生态环境局;审查文号:穗环函(2019)2169号。规划及规划环境 影响评价符合性 分析中新广州知识城新
3、能源新材料及智能芯片园(AG0621-AG0623管理单元)控制性详细规划和环评报告书提到:知识城新能源新材料及智能芯片园总体发展定位是将规划区打造 和建设成为一个创“芯”智能园,即新能源、新材料、智能芯片三1、产业政策相符性分析规划及规划环境 影响评价符合性 分析业并举的世界级创新智造高地;科创研发与高端制造为主的船型 创意街区;环山绕水的特色产业集团集群。现状用地分布、已批用地情况,以及未来片区内土地开发利用 的潜力,规划形成“一带,双芯,双廊四组团”的空间结构。其中:“一带”:新材料研发与中试生产带。本项目的位置属于规划园区 中的“一带”,是集成电路芯片生产企业,符合规划要求。其他符合性
4、分析根据国民经济行业分类与代码(GB/T4754-2017,按第1号修改单修订)的 划分,本项目从事的行业属于C39 73集成电路制造,产品及工艺属于产业结构调 整指导目录(2019年本)(国家发展和改革委员会令第29号)中第一类“鼓励类”中第二十八条“信息产业”中第十九款“集成电路设计,线宽0.8微米以下集成电路 制造,及球栅阵列封装(BGA)、插针网络阵列封装(CSP)、多芯片封装(MCM)等先进封装与测试”。根据国家发展改革委商务部关于印发市场准入负面清单(2022年版)的通知(发改体改规2022397号),本项目属于集成电路生产项 目,不属于负面清单中禁止准入事项,亦不属于许可准入事项
5、,属于市场准入负面 清单以外的行业,且不涉及与市场准入相关的禁止性规定。因此,本项目可依法进 行建设和投产。2、与土地利用规划相符性分析本项目在粤芯公司现有厂区内进行改扩建,粤芯公司的土地使用证(粤(2018)广州市不动产权第06860199号)显示的用地性质为工业用地。因此,本项目用地具 备合法性。根据中新广州知识城新能源新材料及智能芯片园(AG0621-AG0623管理单 元)控制性详细规划(穗开内收(2020)52号),本项目所在地属于Ml类工业用 地,详见下图:中新广川、邮只螭能藏材料及智能芯片园控制性灌醐划(AG0621-AG0623规划管理单元)通告附图审批印位广州市人民政府 ft
6、tWfil:20旃2 月 10 日批准文号:财内收(2020)52号 用地位工:中新广械识的哪主要批准内容:1.mom五路(SM).西开开 fittfi、(5tt).MtH 是四总WS翻必6.6呼方公里2.规朗定位.&幻ftt定位为世界 TW隼的生卷里高科技园区.包合 介值的电式产业复用.6XK 产业图雁动的前4投肆合应区.SffiA 才集聚的知识51共享It区三个方血3.0fflS*:WWB35OV 力公.4设用地3 19平方公图:常住 人口 130万人;规划区总U丽R60351 万平方米,平均电容枳车090.B3Wthnp/Mwwhp90*aVzw9k/EbMdex html图1中新广州知
7、识城新能源新材料及智能芯片园(AG0621-AG0623管理单元)通告附图(编号:穗开内收202052号)参照城市用地分类与规划建设用地标准(GB50137-2011)修订说明“表3 工业用地的分类标准”,一类工业企业废水排放应达到污水综合排放标准(GB8 9 78-19 9 6)一级标准,废气排放应低于大气污染物综合排放标准(GB1629 7 19 9 6)二级标准,噪声排放应低于工业企业厂界环境噪声排放标准(GB123482008)1类声环境功能区标准。本项目与一类工业用地相符性分析详见下表:表1”项目与一类工业用地环保标准相符性分析内容环保要求相符性分析水达到污水综合排放标 准(GB89
8、78-1996)一 级标准项目员工办公生活污水经厂区现有三级化粪池处理 后排入市政污水管网;生产废水经厂内现有的废水处 理设施达标处理后经市政污水管网接入九龙水质净 化三厂处理,尾水排放标准(CODcrW30mg/L、BOD5W6mg/L、SSW10mg/L、氨氮W1.5mg/L)低于 污水综合排放标准(GB8978 1996)一级标准(CODcrW60mg/L、BOD5 20mg/L SSW20mg/L、氨氮W15mg/L),符合标准要求。大气低于大气污染物综合排 放标准(GB16297项目生产过程中产生的工艺废气(氟化物、氯化氢、硫酸雾、NO,、磷酸、氯气、硅烷、磷烷、碑烷、磷 酸雾)经净
9、化装置后再经9套(现有的8套和新增11996)二级标准套)碱液喷淋吸收塔处理后废气经10个37m排气筒 排放,排气 口编号(DA003-DA005、DA009-DA013、DA020-DA021);碱性废气(氨)依托现有的生产厂房 楼顶已设置的3套酸液喷淋吸收塔处理后废气经3个 37m排气筒排放,排气口编号(DA002、DA007、DA008);有机废气(TV 0C、二氧化硫、氮氧化物、烟尘)依托 在生产厂房楼顶已设置的2套沸石浓缩转轮焚烧系统 处理后废气经2个44m排气筒排放,排气口编号(DA00K DA006);本项目新增的含碑废气依托现有 二期的P0U处理、并依托现有二期的单独1个排放口
10、 排放,排气口编号(DA014);废水处理站废气(硫化 氢、氨气)依托现有的喷淋洗涤塔和新增一套喷淋洗 涤塔处理后通过2个25米排气筒排放,排气口编号(DA015、DA022)。本项目废气排放的标准限值为(氟 化物W9.0mg/m 氯气 W65mg/m3、氯化氢W100mg/m3、硫酸雾W35mg/m3、氮氧化物Wl ZOmg/n?、碑及其化合 物Wl.5mg/m3 二氧化硫WSOOmg/n?、颗粒物 120mg/m 磷烷 WO.3mg/m3、硅烷W5.Omg/n?、磷 酸雾W5.Omg/m:总 V 0Cs 80/100mg/m3),均低于或 等于大气污染物综合排放标准(GB162971996
11、)二级标准(氟化物W9.Omg/m氯气W65mg/m3、硫酸 雾W45mg/m3、氮氧化物WZMmg/n?、二氧化硫 550mg/m颗粒物Wl ZOmg/n?;该标准没有碑及其 化合物、总V OCs、氯化氢、磷烷、硅烷、磷酸雾等标 准限值),符合标准要求。噪声低于工业企业厂界环境 噪声排放标准(GB12348-2008)1类声环境功能 区标准根据噪声环境影响分析预测结果,本项目24小时连 续生产,新增设备昼间和夜间最大贡献值均为36.5 dB(A)(预测结果见表4.3-3),即本项目昼夜噪声贡 献值均低于工业企业厂界环境噪声排放标准(GB12348-2008)1类声环境功能区标准(昼间W55d
12、B(A),夜间W45dB(A)。综上所发3、与根据广 总体规划中(1)L 单、广外 址位置不属 120(2);区和增量严L本项目与土地利用规划1 广州市城市环境总体方 州市人民政府印发的/划定了生态环境空间管:主态环境空间管控区:关 市生态环境保护红线规 于生态保护红线区,不力大气环境空间管控区:关 控区设计的工业园区/村一目符。R划(2014-2030年)的相符性分析,州市城市环境总体规划(2014-2030年)文件,控区、大气环境空间管控区和水环境空间管控区。1照文件发布的附表1广州市生态保护红线区清 划图和广州市生态环境空间管控区图,本项目选 国于生态保护空间管控区,对照图见附图7和附图
13、1照文件发布的附表4广州市大气污染存量减排/社区统计表、广州市大气环境空间管控区图,本项目选址位置不属于空气质量功能区一类区、不属于大气污染物存量重点减 排区、不属于大气污染物增量严控区,对照图见附图8。(3)水环境空间管控区:对照文件发布的附表5广州市水环境空间管控区划 定方案、广州市水环境空间管控区图,本项目选址位置不属于饮用水源保护区、水源涵养区、珍稀水生生物生境保护区或环境超载相对严重的管控区范围内,对照 见附图9。综上所述,本项目选址总体符合广州市城市环境总体规划(2014-2030年)的要求。4、广州市人民政府办公厅关于印发广州市工业和信息化发展“十四五”规划 的通知(粤府办202
14、210号)的相符性分析根据广州市人民政府办公厅关于印发广州市工业和信息化发展“十四五”规划 的通知(粤府办2022 10号)文件中,“十四五”期间,面对世界百年未有之大变 局和国内外经济形势的复杂变化,作为国家中心城市和华南地区经济中心,广州应 立足粤港澳大湾区,基于超大规模市场优势和应用场景,充分发挥数字对产业发展 的赋能作用,全力促进数字产业化、产业数字化,推动数字经济与实体经济深度融 合,实现“数产融合的全球标杆城市”总体战略定位。“黄埔区重点开发中新广州知识城、广州科学城、生物岛、黄埔港等四区四中 心,提升永和、云埔、西区等先进制造业组团,加快建设中国新材料CID(中央创 新区)、集成
15、电路产业园、广州人工智能与数字经济试验区(鱼珠片区)等重要载 体平台,打造新一代信息技术、生物医药与健康两大世界级创新型产业集群,培育 壮大新材料、绿色能源、高端装备三大战略新兴产业集群,巩固提升汽车制造、健 康食品、高端日化三大传统产业集群,培育发展量子通信、脑科学与类脑、太赫兹 等未来产业。”本项目位于中心广州知识城,是12英寸集成电路芯片制造项目,符 合该规划通知的要求。5、与广东省2021年大气污染防治工作方案相符性分析根据广东省2021年大气污染防治工作方案文件的相关要求:“实施低VOCs 含量产品源头替代工程。严格落实国家产品VOCs含量限值标准要求,除现阶段确无 法实施替代的工序
16、外,禁止新建生产和使用高VOCs含量原辅材料项目。将全面使用 符合国家、省要求的低VOCs含量原辅材料企业纳入正面清单和政府绿色采购清 单”。本项目使用的含VOC原料主要有7种,包括光刻胶、EBR(KS7303稀释剂)、HMDS(六甲基二硅胺)、EKC(蚀刻后残留物去除液)、IPA(异丙醇)、国产SY9 070(清洗液)、ACT(含羟胺有机溶液)。其中EKC(蚀刻后残留物去除液)、IPA(异丙醇)、国产SY9 070(清洗液)、ACT(含羟胺有机溶液)这4种属于清洗剂,根据清洗剂挥发性有机化合物含量限值(GB38 508-2020)对这4种物料进一步明确对应限值标准中的产品分类限值要求摘录 比
17、对情况如下表。高V0C含量物料的计算参考清洗剂挥发性有机化合物含量限值(GB38 508-2020)6.3.3关于清洗剂VOC含量的计算公式如下:序号物料名称V OCs含量(g/L)GB38508-2020中表1和表2摘录的V OC 含量限值(g/L)判定情 况水基清 洗剂低V OC 含量半 水基清 洗剂半水基 清洗剂有机溶 剂清洗 剂1国产SY9070(清洗液)6750100300900低V OC 含量半 水基清 洗剂2ACT(含羟胺 有机溶液)53.550100300900低V OC 含量半 水基清 洗剂3EKC(蚀刻后 残留物去除 液)64650100300900高V OC 含量4I P
18、A(异丙 醇)786.350100300900高V OC 含量pvoc=(3 挥-水-3i)XpXO.Ol式中:pvoc清洗剂VOC含量,单位为克每升(g/L);挥样品测试液中挥发性物质的质量分数,%;其中异丙醇为纯物质,取值 100%;EKC(蚀刻后残留物去除液)取值60%(含挥发性有机物的占比);co水样品测试液中水分的质量分数,%;物料中不含水,取值0。(OiOop样品测试液的密度,单位为克每升(g/L);异丙醇密度:78 6.3;EKC密 度:1077 o0.01换算系数则两个物质的VOCs含量计算如下:异丙醇的 VOCs 含量(g/L)=(100-0-0)x78 6.3x0.01=7
19、8 6.3EKC(蚀刻后残留物去除液)的 VOCs 含量(g/L)=(60-0-0)x 1077x0.01=646o光刻胶、EBR(KS7303稀释剂)、HMDS(六甲基二硅胺)属于电子专用材料,暂无相关的国家产品VOCs含量标准,物料的VOC含量较高,其中光刻胶含可挥发样品测试液中可扣减物质i的质量分数,%;物料中不含i类物质,取值性物质80%,其余两种含量100%为纯物质,属于高VOCs物料。一序号物料使用 的工 序工作机理对保障产品 质量方面发 挥的作用国内外同行 业是否使用 该物料现阶段是否有 可替代的物料1光刻胶刻涂段 光的胶需要使用光刻胶在晶 圆表面涂上一层光刻 胶,光刻胶主要由对
20、光 与能量非常敏感的高 分子聚合物和有机溶 齐卜包括稀释剂EBR和 HMDS)组成,为使光刻 胶牢固附着在Wa fer 表面,涂匀胶后要进行 烘干,由于烘干温度较 低,光刻胶中的有机溶 剂挥发成为有机废气,而光刻胶中的高分子 聚合物和光敏剂等作 为涂层牢固地附着在 基质表面该组合配方 为集成电路 芯片行业为 了完成芯片 工艺中图形 转移功能必 须使用到的 原料,因制 程和生产需 要的特殊性,所用化 学品目前暂 无法替代是否2EBR(KS7303 稀释剂)是否3HMDS(六 甲基二硅 胺)是否4异丙醇湿法 亥(J蚀、去胶、化学 机械 研磨 等工 段后 的干采用异丙醇对水洗后 的硅片表面清洗,从而
21、 使异丙醇带走硅片上 残留的水分。EKC具有良 好的亲油基 和亲水基,在完成清洗 工序的同时 自身又很容 易溶于水,被水最终带 走;使用高 纯度的异丙 醇能提高工是否燥洗 工序5EKC(蚀刻 后残留物 去除液)法蚀的洗序 湿刻后清工采用EKC270进行清洗 蚀刻后残留液艺的稳定 性,有效避 免工艺中杂 质的引入,对纳米工艺影响较小是否综上所述,本项目使用的光刻胶、EBR(KS7303稀释剂)、HMDS(六甲基二 硅氨)进行光刻、涂胶工序;以上物料均不属于油墨、涂料,属于电子专用材料,暂无相关的国家产品VOCs含量标准,物料的VOC含量较高,目前行业中无水性配 方,因此该部分物料是目前集成电路芯
22、片行业为了完成芯片工艺中图形转移功能必 须使用到的原料,属于现阶段确无法实施替代的工艺。建设单位已针对产生的有机废气做有效的收集与配套高效的环保设施进行处 理,可最大程度减少VOCs的排放。待日后行业内研发生产出低VOC清洗剂可用来替代本项目现有使用的高VOC 原辅料时,建设单位应及时响应政策要求,落实低VOC含量原辅材料的替代。综上所述,本项目的建设符合广东省2021年大气污染防治工作方案的相关 要求,“实施低VOCs含量产品源头替代工程。严格落实国家产品VOCs含量限值标 准要求,除现阶段确无法实施替代的工序外,禁止新建生产和使用高VOCs含量原辅 材料项目。将全面使用符合国家、省要求的低
23、VOCs含量原辅材料企业纳入正面清单 和政府绿色采购清单。6、与“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案相符性分析根据“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案总体要求,以改善环境空 气质量为核心,以重点地区为主要着力点,以重点行业和重点污染物为主要控制对 象,推进VOCs与NOx协同减排,其中,重点地区为京津冀及周边、长三角、珠三 角、成渝、武汉及其周边、辽宁中部、陕西关中、长株潭等区域,重点行业主要为 石化、化工、包装印刷、工业涂装等重点行业以及机动车、油品储运销等交通源VOCs 污染防治。本项目位于广州市,属于重点地区之一。根据工作方案第四条第5点要求“因地制宜推进其他工业行业VOCs综合治理
24、。各地应结合本地产业结构特征和VOCs治理重点,因地制宜选择其他工业行业开展VOCs治理。电子行业应重点加强溶剂清洗、光刻、涂胶、涂装等工序VOCs排放控制”,本项目为12英寸集成电路 芯片制造项目,项目产生的VOCs溶剂清洗、光刻、涂胶、去胶等工序的生产设备内 密闭且负压收集至配套的沸石转轮TO装置处理后高空排放(排放高度44米),基本 消除无组织排放,有机废气处理设施的综合处理效率达95%,可有效控制工序VOCs 的收集处理和达标排放,本项目有机废气VOCs经处理后满足执行固定污染源挥发 性有机物综合排放标准(DB44/2367-2022)表1中的TVOC浓度限值lOOmg/n?,但由 于
25、TVOC需待国家污染物监测方法发布后实施,因此在监测方法发布前先参照执行 NMHC的浓度限值:80 mg/n?的要求。因此本项目建设符合该方案的相关要求。6、与2020年挥发性有机物治理攻坚方案(环大气(2020)33号)的相符 性分析根据2020年挥发性有机物治理攻坚方案(环大气(2020)33号)的总体要 求:把挥发性有机物(VOCs)治理攻坚作为打赢蓝天保卫战收官的重要任务,统筹 疫情防控、经济社会平稳健康发展,扎实做好“六稳”工作,落实“六保”任务,坚 持精准治污、科学治污、依法治污,切实做到问题精准、时间精准、区位精准、对 象精准、措施精准,抓好方案各项任务措施落实。要加强组织实施,
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