无尘车间标准等级的划分.doc
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1、无尘车间标准等级的划分无尘车间的等级说明 一方面是无尘车间标准等级定义如下: Class X (at Y m ) 其中X是无尘车间的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2m , 0.5m等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。以下是几个例子: Class1 (0.1m, 0.2m , 0.5m) Class 100(0.2m , 0.5m ) Class 100(0.1m, 0.2m , 0.5m ) 在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000.),一般看一个粒径即可。在Cla
2、sses Less than 100 (M3.5) (Class 10,1. ),一般要看多几个粒径。 第二个是规定无尘车间的状态,例如: Class X (at Y m ),At-rest 第三个是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘车间都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如: Class 10000 (0.3 m = 10000),As-builtClass 10000 (0.5 m = 1000),As-built 这样做的目的是保证无尘车间在Operational状态时,仍然有足够的微粒控制能力。 以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义,和I
3、SO-14644的等级定义。 Fed-Std-209E洁净度定义 Class Name Class Limits 0.1m 0.2m 0.3m 0.5m 5m Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units SI U.S. (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) M 1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M 1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1
4、.00 - - M 2 3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - M 2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 - - M 3 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 - - M 3.5 100 - - 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - - M 4 - - 75,700 2140 30,900 875 10,000 283 - - M 4.5 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 7.0
5、0 M 5 - - - - - - 100,000 2,830 618 17.5 M 5.5 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470 70.0 M 6 - - - - - - 1,000,000 28,300 6,180 175 M 6.5 100,000 - - - - - - 3,530,000 100,000 24,700 700 M 7 - - - - - - 10,000,000 283,000 61,800 1,750 ISO-14644洁净度定义 ISO classification number(N) Maximum concentrat
6、ion limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1). 0.1mm 0.2mm 0.3mm 0.5mm 1mm 5mm ISO Class 1 10 2 ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000 2 3
7、70 1 020 352 83 ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 ISO Class 7 352 000 83 200 2 930 ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300 ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000 NOTEUncertainties related to the measurement process requires that conc
8、entration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level.Equation (1): Cn = 10NX (0.1/D)2.08其中Cn是微粒浓度,N是洁净度,D是粒径 比较以上两表我们可看出 1.209E的公制和英制两套标准,虽然有公式做互换,但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表,徒然导致混淆 2.在两表中0.5mm几乎出现在每一个等级定义中,表达粒径0.5mm的粒子非常具有代表性 3.在洁净度的分类上,不管是在高洁净度,或是低洁净
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