电镀药水化验操作标准规范.doc
《电镀药水化验操作标准规范.doc》由会员分享,可在线阅读,更多相关《电镀药水化验操作标准规范.doc(10页珍藏版)》请在咨信网上搜索。
1、电镀药水化验操作规范制作单位:品保部 文献编号:QY-QA3009-05制作日期:/01/20版 本 号:D1总 页 数:第05-1页 共10页工序槽名体积分析项目控制范畴分析频率分析办法及计算公式化学沉铜线PTH清洁1线886L2线820LC D-2100.16-0.24N1次/班(1)取5ml槽液加入250ml锥形瓶中加50ml纯水及甲酚红批示剂用0.1N盐酸滴至绿黄为终点体积为V (2)计算:CD-210(N)=0.2*N*V (3)补加:CD-210(L)=(0.20-测)*0.263V槽微蚀 1线886L 2线900LSPS65-95g/l3次/班(1) 取样品2ml加DI水50ml
2、、10% H2SO4 10ml,用移液管取100g/l(NH4)2Fe(SO4)210ml. (2)用0.1N KMnO4滴定至浅红色为终点,滴定毫升数A. (3)取DI水代替样品,重复上述环节,滴定毫升数为B. (4)计算:SPS(g/l)=5.95(B-A) (5)补加:SPS(kg)=(80-测)*V槽/1000H2SO42.0-3.0%(1) 取样品2ml加DI水50ml,加入甲基橙批示剂3-4滴. 用0.5NNaOH标液滴定至黄色即为终点.滴定毫升数为V. (2)计算H2SO4(%)=1.33NV% (3)补加:H2SO4(L)=(2.5-测)*V槽/100Cu2+25g/l(1)取
3、样品2ml加入DI水50ml,加入20ml PH=10缓冲液,加PAN批示剂2-3滴用0.05N EDTA-2Na滴至黄色即为终点. (2)计算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2微蚀速率30-50U1次/班(1) 取abcm覆铜基板经酸性除油水洗在120烘干30分钟,冷却称重W1. (2) 经微蚀槽(与流程微蚀槽时间同样)水洗,吹干在120烘干30分钟,冷却称重W2. (3)计算:U=(W1-W2)*106/(2ab*8.92*2.54)电镀药水化验操作规范制作单位:品保部 文献编号:QY-QA3009-05制作日期:/01/20版 本 号:D1总 页 数:第05-2页 共10页工序槽名
4、体积分析项目控制范畴分析频率分析办法及计算公式化学沉铜线PTH化 学 铜 (1线L 2线2526L)Cu2+1.8-2.2g/l3次/班(1) 取试样20ml于锥形瓶中,加入20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸钠至淡黄色,加10%KSCN 20ml加数滴淀粉并用0.1N硫代硫酸钠滴至白色为终点,体积为V。 (2)计算:Cu2+(g/l)=3.175*N*V . (3)补加:EC-251A(L)=(2-测)*26.67NaOH8-10g/l(1) 取试样5ml加50mlDI水以0.1N HCl滴至PH=10.5,滴定毫升数为A,加10ml 10% Na2SO3用0.1N HC
5、l 滴至PH=10.5滴定数为B (2)计算:NaOH(g/l)=8*A*N HCHO(g/l)=6*B*N (3)补加:EC-251B(L)=(9-测值)*6.67 EC-251C(L)=(6-测值)*8.33HCHO5-7g/l络合剂0.05N(1) 取5ml槽液放入锥形瓶中加0.2gMX批示剂摇匀用0.01N硫酸铜标液滴至绿色为终点(2)计算:络合剂(N)=0.002v+0.0158Cu2+ (3)补加:EC-251M(L)=(0.06-测)*2667沉积速率0.4-0.6m1次/班(1) 将ab无铜基板按化铜正常流程走出后,将实验板放入250ml烧杯中,加20ml PH=10缓冲液和7
6、-8滴H2O2,加50mlDI水和5滴PAN批示剂用0.05N EDTA滴定至苹果绿为终点.滴定数为V. (2)沉积厚度(m )=635NV/(2ab*8.92)除 胶 渣 总锰60-70g/l1次/班(1) 取1ml槽液于250ml锥形瓶中,加50mLDI水,加入10mL 20% KI和10ml 50% HNO3 (2) 用0.1N Na2S2O3 滴至淡黄色加1%淀粉批示剂5-6滴,再用0.1N Na2S2O3滴至无色,记下一共所需毫升数. (3)计算:Mn(g/l)=31.6NV (4)补加:KMnO4(kg)=(65-测值)*V/1000水化验操作规范制作单位:品保部 文献编号:QY-
7、QA3009-05制作日期:/01/20版 本 号:D1总 页 数:第05-3页 共10页工序槽名(体积)分析项目控制范畴分析频率分析办法及计算公式化学沉铜线PTH除 胶 渣 ( 1线1800L 2线2616L)六价锰1.145用量程为1.1-1.2比重计测,直接读数.速化1线886L2线900LAL-242B0.9-1.3%1次/班(1)取加速槽液5mL于锥形瓶中加入50mL水加入6N盐酸25mL,加入20%碘化钾10ml用0.1N硫代硫酸钠标液滴定至黄色,加入淀粉批示剂继续滴至无色为终点。(2)计算:AL-242B(%)=1.2NV% (3)补加:AL-242B(L)=(1.2%-测)*V
8、槽PH8.75-9.25用PH计直接测量电镀药水化验操作规范制作单位:品保部 文献编号:QY-QA3009-05制作日期:/01/20版 本 号:D1总 页 数:第05-5页 共10页工序槽名(体积)分析项目控制范畴分析频率分析办法及计算公式脉 冲 电 镀 线铜槽1500LH2SO4210-230g/L1次/3天计算与分析办法同一铜线铜槽硫酸CuSO4.5H2O60-80g/L1次/3天计算与分析办法同一铜线硫酸铜CL-55-85ppm1次/3天计算与分析办法同一铜线CL-光剂3-5mL/L1次/周计算与分析办法同一铜线光剂哈氏实验1次/周电流2A ,记时5min,由赫尔槽打哈氏片鉴定,哈氏看
9、板三个月一换污染指数120uA1次/周由CVS仪直接测定酸洗700LH2SO49-11%1次/3天计算与分析办法同一铜线酸洗脱铜600LHNO3300-500mL/L1次/3天计算与分析办法同一铜线脱铜电镀药水化验操作规范制作单位:品保部 文献编号:QY-QA3009-05制作日期:/01/20版 本 号:D1总 页 数:第05-6页 共10页工序槽名(体积)分析项目控制范畴分析频率分析办法及计算公式填 孔 电 镀 线铜槽H2SO4210-230g/L1次/3天计算与分析办法同一铜线铜槽硫酸CuSO4.5H2O60-80g/L1次/3天计算与分析办法同一铜线硫酸铜CL-55-85ppm1次/3
10、天计算与分析办法同一铜线CL-光剂2.5-6.5mL/L1次/周计算与分析办法同一铜线光剂润湿剂7-11mL/L1次/周1) 用 8mL/L润湿液作原则曲线并保存2) 把槽液放在吸管下,把VMS液放在电极下,按分析即可,记录数据整平剂6-10mL/L1次/周1) 作整平剂曲线并保存2) 用50mL含LEVER原则液作INTERCEPT,再加入50mL槽液,并加光剂(6-光剂测值)/20毫升,润湿剂 (25-润湿测值)/20毫升,按分析即可,记录数据哈氏实验1次/周电流2A ,记时5min,由赫尔槽打哈氏片鉴定,哈氏看板三个月一换污染指数120uA1次/周由CVS仪直接测定预浸预浸剂9-11%1
11、次/周1) 用75mLINTERCEPT原则液作空白2) 加入25mL预浸槽液按分析即可,记录数据酸洗H2SO49-11%1次/3天计算与分析办法同一铜线酸洗脱铜HNO3300-500mL/L1次/3天计算与分析办法同一铜线脱铜电镀药水化验操作规范制作单位:品保部 文献编号:QY-QA3009-05制作日期:/01/20版 本 号:D1总 页 数:第05-7页 共10页工序槽名(体积)分析项目控制范畴分析频率分析办法及计算公式一 次 电 镀 铜 1# 线电 镀 铜 槽 (1L)H2SO4200-240g/l1次/3天(1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 电镀 药水 化验 操作 标准规范
1、咨信平台为文档C2C交易模式,即用户上传的文档直接被用户下载,收益归上传人(含作者)所有;本站仅是提供信息存储空间和展示预览,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容不做任何修改或编辑。所展示的作品文档包括内容和图片全部来源于网络用户和作者上传投稿,我们不确定上传用户享有完全著作权,根据《信息网络传播权保护条例》,如果侵犯了您的版权、权益或隐私,请联系我们,核实后会尽快下架及时删除,并可随时和客服了解处理情况,尊重保护知识产权我们共同努力。
2、文档的总页数、文档格式和文档大小以系统显示为准(内容中显示的页数不一定正确),网站客服只以系统显示的页数、文件格式、文档大小作为仲裁依据,平台无法对文档的真实性、完整性、权威性、准确性、专业性及其观点立场做任何保证或承诺,下载前须认真查看,确认无误后再购买,务必慎重购买;若有违法违纪将进行移交司法处理,若涉侵权平台将进行基本处罚并下架。
3、本站所有内容均由用户上传,付费前请自行鉴别,如您付费,意味着您已接受本站规则且自行承担风险,本站不进行额外附加服务,虚拟产品一经售出概不退款(未进行购买下载可退充值款),文档一经付费(服务费)、不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
4、如你看到网页展示的文档有www.zixin.com.cn水印,是因预览和防盗链等技术需要对页面进行转换压缩成图而已,我们并不对上传的文档进行任何编辑或修改,文档下载后都不会有水印标识(原文档上传前个别存留的除外),下载后原文更清晰;试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓;PPT和DOC文档可被视为“模板”,允许上传人保留章节、目录结构的情况下删减部份的内容;PDF文档不管是原文档转换或图片扫描而得,本站不作要求视为允许,下载前自行私信或留言给上传者【天****】。
5、本文档所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权,请谨慎使用;网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽--等)目的在于配合国家政策宣传,仅限个人学习分享使用,禁止用于任何广告和商用目的。
6、文档遇到问题,请及时私信或留言给本站上传会员【天****】,需本站解决可联系【 微信客服】、【 QQ客服】,若有其他问题请点击或扫码反馈【 服务填表】;文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“【 版权申诉】”(推荐),意见反馈和侵权处理邮箱:1219186828@qq.com;也可以拔打客服电话:4008-655-100;投诉/维权电话:4009-655-100。