ESD防静电管理标准规范.doc

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防静电管理规范

目录：

1. 目标
2. 适用范围
3. 引用标准
4. 名词术语
5. 防静电工作区系统
6. 人体防静电系统
7. 职责
8. 培训
9. 采购
10. 统计
11. 附录

1. 目标
为避免静电敏感元器件在生产、运输、储存、检测等过程中受到静电释放影响，从而产生短路、电阻漂移、开路、工作性能退化等不良现象。特建立《电子产品制造静电防护技术要求》，以确保产品品质，增加可靠性，减低不良率，节省产品工时成本，降低维修费用。
基于《电子产品制造静电防护技术要求》文件颁布，提升职员对ESD认识，加强职员自觉预防ESD现象之观念，促进生产管理水平之提升。
2. 适用范围
本文适适用于全部车间中生产制程及电子元器件采购、运输、储存、检测过程中静电防护。
3. 引用标准
SJ/T 10694-1996 《电子产品制造防静电系统测试方法》
GB/T 15463-1995 《静电安全名词术语》
GJB 3007 - 97 《防静电工作区技术要求》
GJB 1649 - 93 《电子产品防静电放电控制纲领》
GB 1 - 89 《防静电工作服》
SJ/T 10533-94 《电子设备制造防静电技术要求》
SJ/T 10630-1995 《电子元器件制造防静电技术要求》
ANSI / ESD STM3.1- 《静电放电敏感产品防护用标准：离子发生器》
ANSI / ESD S20.20-1999 《建立一个静电放电控制方案—保护电气和电子零件，装置和设备》
4. 名词术语
4.1 静电： 一个处于相对稳定状态电荷。它所引发磁场效应能够忽略不计（静电可由物质接触和分离、静电感应、介质极化和带电微粒附着等物理过程而产生）。
4.2 ESD：Electronic Static Discharge，原意是指静电释放，即经过带静电区域直接接触或感应而引发静电电荷在不一样电势物体上转移。后常指静电防护，即避免静电释放发生。
4.3 静电感应：当带电物体靠近某一介质时，在该介质表面因感应而带电荷，并形成感应电场。
4.4 ESDS：Electronic Static Discharge Sensitive，静电放电敏感（），通常见来指静电敏感元器件。
4.5 防静电工作区：由多种防静电设施、器件及明确区域界限形成工作场地。
4.6 静电敏感度：Electrostatic Sensitivity，元器件所能承受静电放电电压值。
4.7 表面电阻/点对点电阻：在和材料同一侧面相接触两个要求形状电极之间，直流电压对于流过电流比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。
4.8 体积电阻/对地电阻/系统电阻：在和材料相对两面相接触两个要求形状电极之间，直流电压对于流过电流比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。
4.9 摩擦起电：当使两种材料接触或相互摩擦后分离时，产生静电荷。
4.10 摩擦电压：物体被摩擦后，表面所带静电荷电压。
4.11 ESD 损伤：由静电放电引发电子元器件性能退化或功效失效。
4.12 消电时间（Decay Time）：一个静电压从其初始值降低到一个给定值（通常是初始值10%）所需要时间。
注：国际通例对于小于1E6欧姆电阻使用10V电压测量，大于或等于1E6欧姆电阻使用100V电压测量，防静电工作区系统
5.1 防静电工作区划分：
5.1.1 依据GJB 1649要求静电放电电压敏感静电放电敏感元器件\组件和设备分级. 静电放电敏感产品按敏感度电压被分级为:
静电敏感度等级
静电敏感电压（人体模型—HBM）
I级
0~1999V
II级
~3999V
III级
4000~15999V
依据该项标准要求，所要求ESD控制纲领通常只包含对I和II级敏感产品防护。现根据元器件静电敏感度和生产线实际情况以下：
5.1.1.1 LED芯片静电敏感度相对较高，生产环境相对干燥, 通常直接操作半成品、成品生产线均定为I级；
5.1.1.2 仅仅是器件存放和运输，也不需要严格防静电方法，理由是产品在这个时候没有被加工。把这些区域或车间定为II级；
5.1.1.3 根据上述理由，现要求敏感等级为：
等级
区域
I级
固焊车间、灌胶车间、模压车间、外观、分光、包装等
II级
成品包装区域、货仓区域，生产仓，收料仓等
5.1.2 企业内部由黄、黑双色斑马线围起区域或门口挂有静电标示牌车间为防静电工作区。
5.1.3 元器件敏感度分级由QC1 ESD工程师按后附录1——《ESDS元器件分类》酌情分级，并确定。
5.2 防静电工作区基础环境要求
5.2.1 防静电工作区应保持洁净，避免有灰尘堆积或漂浮状态发生
5.2.2 车间内温湿度控制结合车间实际情况定为：
区域
温度
湿度
万级洁净室
21±2°C
%~ %
10万级洁净室
21±2°C
%~ %
一般车间
23±3°C
%~ %
5.2.3 在不对产品造成有害影响前提下，许可使用增湿设备喷洒制剂或水，以增加环境湿度。
5.2.4 防静电工作区应清楚标明区域界限和警示标志，见附录14。
5.2.5 要求使用防静电地板或在一般地面上铺设防静电地垫，并确保有效接地。严禁直接使用木制地板或铺设毛、麻、化纤地毯及一般地板革。
5.2.6 天花板及墙壁提议使用防静电材料制品，通常情况下许可使用石膏制品或石灰涂料，严禁使用一般塑料制品。
5.3 防静电工作区接地系统
5.3.1 应有独立可靠接地装置，接地电阻通常应小于10欧姆，为确保人员安全，在和人员直接接触地方应加装1兆欧姆限流电阻。接地线要求以下：
接地线
截面积
接地电阻
要求
接地总线
大于100mm2铜制导线
小于10欧姆
ESD线不得直接接在电源零线上。ESD线不得和防雷地线共用。使用三相五线制供电，其大地线能够作为ESD地线，但需确保电源地线和零线不能搭接。
接地支干线
大于6 mm2铜制导线
小于10欧姆
设备和工作台接地线
大于1.25mm2 多股或单股铜制绝缘套导线
小于10欧姆或0.8兆欧~1.2兆欧
ESD地线应用绿色绝缘套标识。台垫等物品接地配件根据来料颜色使用。
5.3.2 厂房接地总线接地电阻小于10欧姆，由行政部负责定时检验，周期为30天一次。并填写《厂房接地电阻测试统计表》。
5.3.3 车间内部设备和工作台接地线接地情况由PE负责定时检验，周期为3个月一次。并填写《工作台地线接地电阻测试统计表》。
5.3.4 测试台防静电设备，工器具接地由TE负责定时检验，周期为3个月一次。并填写《工作台地线接地电阻测试统计表》。
5.4 防静电区域设备及辅料要求
I级区域
II级区域
防静电安全工作台
防静电安全工作台
防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车）
防静电容器、运输工具（料盒、料箱、运输车）
防静电腕带
防静电腕带
防静电工衣（帽）
防静电工衣（帽）
防静电工鞋
防静电工鞋
防静电测试架

离子风机（离子棒/离子风枪）（视工序而定）

防静电烙铁（如需使用烙铁）

5.5 防静电工作区ESD技术要求
5.5.1 防静电地板
5.5.1.1 用防静电PVC地板专用清洁剂或中性清洁用具定时进行清洁，严禁使用强酸、强碱或能溶解PVC材料化学溶剂进行清洗，假如属于更严重污渍，能够使用异丙烯基乙醇清洁。
5.5.1.2 严禁带有尖刺、粗糙重物在地板表面擦划、拖拉。
5.5.1.3 不能将硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如发生以上情况，应立即清洁。
5.5.1.4 使用防静电地板蜡水进行定时涂敷、养护，通常6个月一次。
5.5.1.5 地板蜡电阻小于1E9欧姆。
5.5.1.6 地板安装时应满足ESD技术指标包含：表面电阻值和系统电阻值均在1E4~1E9欧姆范围以内。
5.5.1.7 生产部应立即向行政部要求对防静电地板进行打蜡维护，行政部做好地板打蜡后应立即通知QC1部ESD工程师。
5.5.1.8 对于K4洁净室地板，经IE评定且经过ESD工程师认可，能够不做地板打蜡。
5.5.1.9 QC1部ESD工程师应在行政部对防静电地板打蜡后做一次防静电地板表面电阻、系统电阻测试，测试方法见附录2，并填写《防静电地板电阻测试统计表》。
5.5.2 防静电安全工作台（含测试台）
5.5.2.1 各区域防静电安全工作台由负责该区域PE或TE确定范围。比如：回流焊后检验台、QC1检验台、修理台和测试台等。
5.5.2.2 防静电安全工作台基础要求和严禁项目
要求
严禁
工作台表面铺设防静电台垫，同时台垫必需接地。特殊情况能够没有台垫，但需经ESD工程师认可。
工作台上放置一般塑料盒（片）、橡皮、玻璃、一般泡沫等轻易产生静电杂物.
配置腕带接头、ESD地线、离子风机（可选）、防静电工具（可选）和防静电测试架
距离ESDS元器件30厘米以内有摩擦电压高于200V物件
5.5.2.3 在防静电区内使用不符合防静电要求物料且必需时，必需得到QC1 ESD工程师评定和认可。
5.5.2.4 防静电台台面应满足ESD技术指标。表面电阻值和系统电阻值均在1E4~1E9欧姆范围以内。
5.5.2.5 防静电台椅子应满足ESD技术指标。表面电阻值和系统电阻值均小于1E9欧姆范围。
5.5.2.6 防静电胶帘表面电阻应在1E4~1E11欧姆内。
5.5.2.7 PE应每6个月做一次对应工作区域内防静电台垫和防静电工椅电阻测试，防静电台垫测试方法见附录3，填写《防静电台垫电阻测试统计表》。防静电工椅测试方法见附录8，填写《防静电工椅测试统计表》，假如有不合格，须立即更换。
5.5.3 防静电辅料/工具
5.5.3.1 防静电溶剂瓶：系统电阻在1E4~1E11欧姆范围。
5.5.3.2 防静电烙铁/焊接工具：从热端头到地电阻应小于10欧姆。
5.5.3.3 防静电文件袋(夹): 表面电阻在1E4~1E11欧姆范围。
5.5.3.4 PE应每6个月做一次防静电辅料电阻测试，测试方法见附录7，填写《防静电辅料电阻测试统计表》。
5.5.4 防静电包装及容器
5.5.4.1 防静电容器包含——ESDS原料包装袋（盒/盘）、装板料盒、等一切包装、储存ESDS容器。
5.5.4.2 许可使用局部抗静电涂料对容器表面进行处理，但使用效果必需由相关PE定时检验。
5.5.4.3 防静电容器应满足ESD技术指标：表面电阻(包含内外表面)在1E4~1E11欧姆范围，系统电阻在1E4~1E10欧姆范围。假如产品或产品金属部分不直接和防静电容器接触，则许可防静电容器电阻小于1E4欧姆。PE应每6个月做一次防静电容器（包含吸塑、托盘、料箱等）表面电阻和体积电阻测试，测试方法见附录4。填写《防静电周转容器电阻测试统计表》，测试结果由PE保留六个月，并在符合标准容器上做标识。QC2应按SEF对来料包装袋和容器进行测试，并填写《防静电包装袋 容器电阻测试统计表》。
5.5.5 防静电运输工具及存放架等
5.5.5.1 防静电运输工具包含—ESD运输车、ESD小推车等
5.5.5.2 为保护ESDS不受到外部强静电场影响，运输ESDS防静电运输工具应由高导电性材料（提议使用不锈钢）制作，车子常常固定时要求硬接地。其对地电阻应小于10欧姆。
5.5.5.3 当运输车由不锈钢组成时，且常常移动时，其对地电阻应小于1E9欧姆。
5.5.5.4 存放架表面电阻和对地电阻应小于1E9欧姆。
5.5.5.5 防静电运输工具应满足ESD技术指标：表面电阻和对地电阻小于1E9欧姆。PE应每6个月做一次防静电运输车、ESD小推车之台面对轮脚系统电阻测试，测试方法见附录5。填写《防静电运输工具/存放架电阻测试统计表》，测试结果由PE保留六个月，并在符合标准运输工具上做标识。
5.5.6 除静电离子风机/离子棒
5.5.6.1 当防静电区域内不可避免需要使用会产生高静电材料时，且该材料要求被放置在离ESDS 30厘米内时，必需使用离子风机或离子棒。
5.5.6.2 对于不能接地又直接接触ESDS元件物体，必需确保其保持在零电位状态，必需时，能够使用离子风机消除在这个过程中产生静电。
5.5.6.3 离子风机在使用过程中会产生较大功率RF信号，所以进行通信产品测试车间不适用离子风机。假如要用，则需要经过QC1 ESD工程师评定。
5.5.6.4 悬挂式离子风机应悬挂在离工作台面60厘米高度，（特殊工位可例外，但须经ESD工程师认可）离子风机出风口不能有异物阻挡。离子风机平衡电压保持在±50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应小于10秒（高风速）。
5.5.6.5 台式离子风机应放置在工作台上且离工作区域30~45厘米左右，以确保有足够覆盖范围和快速静电消除。离子风机出风口不能有异物阻挡。离子风机平衡电压保持在±50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应小于3秒（高风速）。
5.5.6.6 离子棒应悬挂在适宜工作高度以确保除静电效果，离子棒平衡电压应保持在±50V以内，消电时间（从1000V中和到100V）应小于60秒。
5.5.6.7 QC1 ESD工程师应每6个月做一次离子风机平衡电压和消电时间测试，填写《除静电离子发生器测试统计表》，对不符合要求离子风机，应立即处理。
5.5.7 其它防静电物料及相关要求
5.5.7.1 不在上面列出来物料则按通常防静电要求，表面电阻在1E4~1E11欧姆内，系统电阻在1E4~1E11欧姆内。
5.5.7.2 特殊情况下，假如找不到适宜供给商，又经过ESD专员评定，确定不会对产品组成ESD隐患情况下，能够引入表面电阻或体积电阻小于1E11欧姆物料。

6 人体防静电系统
6.1 防静电腕带
6.1.1 直接接触ESDS任何人员全部应按要求佩带防静电腕带（俗称静电带），严禁使用无线防静电腕带。
6.1.2 防静电腕带接触线应内置一个1兆欧姆电阻，以确保人体安全和快速泻放静电，防静电腕带腕带应是导电性，表面电阻应小于1E3欧姆。同时应确保防静电腕带和人体皮肤有良好接触，系统电阻应小于35兆欧姆，且使用鳄鱼夹或插头座可靠连接在ESD线上。
6.1.3 应天天一次测量防静电腕带系统电阻，由拉长填写《静电带检验统计表》，检验不合格时应交由修理检修，不能修复时，应立即更换。
6.2 防静电鞋/防静电鞋套
6.2.1 全部进入防静电区域人员全部应穿用防静电鞋/鞋套，防静电鞋/鞋套使用要确保鞋系统电阻在1E5~3.5E7欧姆范围内。应天天一次测量防静电鞋/鞋套系统电阻，由拉长填写《防静电鞋/鞋套检验统计表》，检验不合格时应立即更换。
6.3 防静电工作服
6.3.1 防静电工作服包含——防静电连体衣、防静电大褂、防静电工鞋（鞋套）和工帽，防静电工作服要求使用导电网格防静电绸制作，制造要求应符合GB 1之要求，其各部分之间应存在电气连续性。工作服设计应能保持在穿着状态下和人体皮肤直接或间接地接触。
6.3.2 进入防静电区域时，防静电工作服、工鞋和工帽要求穿着整齐，全部纽扣（拉链）要系好（拉完全），头发必需包在工帽内，不能有外露。
6.3.3 不一样使用人员之防静电工作服按颜色区分：
人员
一般工作区域及10万级洁净室
万级洁净室
生产部作业职员
白色防静电服（帽）
黄色防静电连体服帽
品质部职员
粉红色防静电服（帽）
粉红色防静电连体服帽
工程人员
蓝色防静电服（帽）
蓝色防静电连体服帽
生产管理人员
白色防静电服（帽）
白色防静电连体服帽
外来人员
白色防静电服（帽）
白色防静电连体服帽
6.3.4 购置防静电工衣时应满足ESD技术指标：表面电阻值（1E5欧姆~1E10欧姆）。
6.3.5 生产部应每六个月做一次防静电工衣表面电阻测试，测试方法见附录6，并填写《防静电工衣表面电阻 测试统计表》，对于不符合指标要求防静电工衣，给予更换。
6.4 防静电手套/指套
6.4.1 由消散性材料制成，人体穿戴对地电阻在1E5~1E11欧姆范围，摩擦电压小于50V。
6.5 人体综合接地测试系统
要求
手腕带-人体
工鞋-人体
指示灯
电阻下限
7.5E5欧姆
1E5欧姆

电阻上限
3.5E7欧姆
3.5E7欧姆

电阻在范围以内

绿灯
电阻不在范围以内

红灯
6.5.1 每个进入防静电区域人员须进行人体综合接地效果测试，假如亮红灯，则表明测试失败，应更换工鞋/鞋套或手腕带重新进行测试并通知相关人员。
6.6 人员防静电通常要求
6.6.1 要求进入防静电区人员尽可能穿着棉质衣物，尽可能避免穿着尼龙等合成纤维制品，以免产生强电场造成静电感应放电现象。
6.6.2 在防静电工作区内不得大声喧哗，坐立姿势端正，避免无须要走动，和无须要大幅度身体运动，如弯腰、晃动手臂等，在防静电工作区内如有必需走动，应缓步行走，严禁奔跑。
6.6.3 接触静电敏感器件及组件之前应戴好防静电腕带，防静电腕带再接入防静电地线系统，要确保腕带和皮肤接触良好，在戴腕带处皮肤上不得涂护肤油、防冻油等绝缘物质。
6.6.4 手持静电敏感器件及组件时应避免接触其导电（金属管脚）部分，操作过程中应尽可能降低对静电敏感器件及组件接触次数。按需要逐一取用，不得一次倒出一堆散乱地放在工作台面上，确需临时叠放时必需用防静电材料隔离开。
6.6.5 外来人员参观，必需有本企业人员全程陪同，按参观路线行进，不得随意走动，不得进入机器外围斑马线地标，更不得随意触摸产品。
7 职责
7.1 生产经理、课长、组长等管理人员，职责包含：
7.1.1 负责做好物料、作业员、及其它进出防静电工作区人员及物品出入管理，确保其按ESD要求正确着装，
7.1.2 确保作业员及在防静电工作区内人员正确使用ESD设备，包含防静电工衣、防静电工帽、防静电工鞋、防静电腕带、防静电台垫、离子风机、ESD料盒和ESD地板等；
7.1.3 确保无关人员不接触产品，不对产品产生静电释放；
7.1.4 对怀疑是静电损伤产品，需要保留样品并汇报给对应部门作失效分析；
7.1.5 定时检验防静电工衣、工鞋、腕带ESD品质，如有品质异常，立即向采购部提出采购申请更换；
7.1.6 天天检验ESD设备、台垫等接地情况（目视），确保接地线正确连接到ESD总线上；
7.1.7 每六个月要求服务组对防静电地板进行打蜡。
7.2 ESD工程师/技术员，职责包含：
7.2.1 统筹全厂ESD控制，定时对生产线静电防护水平做出评定，并给出改善意见，提升其静电防护水平；
7.2.2 负责寻求新防静电用具供给商，评定新购防静电用具性能；
7.2.3 帮助人力资源部进行ESD培训；
7.2.4 监督各个部门ESD管理情况，立即反应ESD情况；
7.2.5 对生产线静电损伤样品作失效分析，处理工序中ESD情况；
7.2.6 定时检验除静电离子发生器性能，确保其正常工作；
7.2.7 负责对打蜡后地板进行测量。
7.2.8 责成行政部确保车间内相对空气湿度在各车间要求范围内；
7.2.9 定时检验ESD总线接地情况，确保其情况良好；
7.2.10 定时使用专用防静电地板蜡水对防静电地板打蜡，打完蜡后进行电阻测试。
7.3 人力资源部，职责包含：
7.3.1 负责对新进厂职员进行初步防静电知识培训；
7.3.2 定时对职员进行防静电知识培训，并进行培训再审核。
7.4 开发部，职责包含：
7.4.1 开发部在设计新产品时应考虑到器件静电敏感度，尽可能选择含有最大静电抗扰度元件；
7.4.2 在新产品设计阶段应尽可能引入防静电网络到电路设计中去，以保护产品里面静电敏感元件；
7.4.3 要求供给商提供元器件静电敏感度等级。包含人体模型(HBM)、机器模型(MM)和带电器件模型(CDM) (应列明何种标准)；
7.4.4 做好SEF（包含防静电指标，part number等）给QC部，供QC部抽测来料。
7.5 品质部，职责包含：
7.5.1 确定ESDS敏感等级，对成品进行静电放电模拟测试，确定静电敏感度；
7.5.2 依据SEF负责抽测、监控静电敏感器件来料和静电敏感器件产品品质，如发觉异常，应立即反馈信息给ESD工程师或对应部门。
7.6 设备工程师/技术员，职责包含：
7.6.1 定时检验防静电设备，确保其能够正常使用，包含防静电台垫、地垫、防静电容器、运输工具和其它辅助工具表面电阻和系统电阻测试等；
7.6.2 定时检验台垫和机器接地情况，确保接地良好。
7.7 货仓职责包含：
7.7.1 负责货仓防静电方法维护和管理。
7.7.2 定时通知ESD工程师进行检测使用中防静电用具。
8 培训
8.1 对全部可能接触或靠近ESDS人员，必需进行相关ESD知识培训，并加以教育和训练，使之树立有效ESD防护观念。培训使用期为十二个月。人力资源部应填写《职员防静电知识培训考评统计表》。
8.2 防静电培训内容包含：
8.2.1 静电学基础和静电损害
8.2.2 静电性能测试
8.2.3 防静电标示和包装
8.2.4 防静电控制
8.2.5 防静电设备使用和检测（相关人员）
9 采购
9.1 全部防静电用具采购均须要根据附录16《防静电制品采购步骤图》实施
10 统计
序号
统计名称
责任部门
测量周期
保留期限
1
防静电地板电阻测试统计表
设备部
6个月抽测
6个月
2
防静电台垫电阻测试统计表
品质部
6个月抽测
6个月
3
静电带检验统计表
生产部
天天
1个月
4
防静电包装袋 容器电阻测试统计表
品质部
每一批抽测
6个月
5
防静电周转容器电阻测试纪录表
品质部
6个月抽测
6个月
6
除静电离子发生器测试统计表
品质部
6个月抽测
6个月
7
防静电手套 指套电阻测试统计表
品质部
每一批抽测
6个月
8
防静电运输工具 存放架电阻测试统计表
品质部
6个月抽测
6个月
9
防静电工衣表面电阻测试统计表
生产部
6个月抽测
6个月
10
职员防静电知识培训考评纪录表
人力资源部
十二个月
十二个月
11
防静电辅料电阻测试统计表
品质部
6个月抽测
6个月
12
防静电鞋 鞋套测试统计表
生产部
天天
6个月
13
厂房接地电阻测试纪录表
设备部
1个月抽测
十二个月
14
工作台地线接地电阻测试纪录表
品质部
3个月抽测
1个月
15
防静电椅子电阻测试统计表
品质部
6个月抽测
6个月
11 附录a
附录1：《ESDS元器件分类》
I级：（0V ~ 1999V）
序号
元器件类别
条件及说明
1
微波器件
包含肖特基二极管，点接触二极管，频率大于1GHz二极管
2
分立MOS场效应管
包含VWOS及VDMOS等等
3
表面声波（SAW）器件

4
结型场效应管

5
电荷耦合器件

6
精密稳压二极管

7
运算放大器
包含双极型工艺及MOS工艺
8
超高速集成电路
包含ECL、HCMOS、FAST等工艺
9
其它集成电路
包含CMOS、PMOS、NMOS、TTL等
10
薄膜电阻器

11
混合电路
使用I级静电敏感元器件组装混合电路
12
可控硅
TA=100℃ TO≤0.175A
II级：（V ~ 3999V）
序号
元器件类别
条件及说明
1
分立MOS场效应管
包含VMOS、VDMOS等
2
结型场效应晶体管

3
运算放大器
包含双极工艺和MOS工艺
4
超高速集成电路

5
其它集成电路
包含CMOS、PMOS、NMOS、TTL等
6
精密电阻网络
包含ECL、HCMOS、FAST等工艺
7
混合电路
使用II级静电敏感元器件组装混合电路
8
低功率双极工艺晶体管
PT<100mW, IC<100mA
附录2：《防静电地板表面电阻/系统电阻测试方法》
1. 按下图确定防静电地板测试点

每一个方格均代表一块地板，测试用电极一个放在中间地板上，另外一个电极依次放在此地板相对角四块地板上面，测量其表面电阻值。
2. 随机抽样测试点不少于20个区域，按下图所表示，每点测量地板4点表面电阻值，并统计数据

3. 随机抽样测试点不少于5个区域，按下图所表示测量地板系统电阻，并统计数据

附录3：《防静电台垫/地垫电阻测试方法》
1. 按下图所表示，每张台垫/地垫测量2组表面电阻值，并统计数据

2. 按下图所表示，每张台垫/地垫测量2组对地电阻值，并统计数据

附录4：《防静电容器电阻测试方法》
1. 按下图所表示，测量容器表面电阻值，并统计数据

2. 按下图所表示，测量容器体积电阻值，并统计数据

附录5：《防静电运输工具/存放架测试方法》
1. 按下图所表示，测量运转车/存放架电阻值，并统计数据

附录6：《防静电工衣表面电阻测试方法》
1. 将防静电工衣平坦展开放置在光滑绝缘电阻大于1E12欧姆平板表面上
2. 测试用两电极应顺着导电丝放置

3. 按上图所表示，测量3个测试点：同片测试（裤腰以上一点对裤腰以下一点）；袖对腰下部位测试（袖对裤腰以下一点）（对于连体服，用袖对脚测试替换袖对腰测试）；袖对袖测试。其中连体服需要加测鞋套对地电阻。

附录7：《一般防静电材料电阻测试方法》
1． 对于新引入物料要求随机抽样最少三个样品，每一个样品最少随机测量三次。材料测试纪录应包含表面电阻和体积电阻。
2． 表面电阻测试方法：将材料放置在一个光滑、平整、洁净，且表面绝缘电阻大于1E12欧姆台面。在材料表面放置两个测试电极(30cm是提议值，假如材料小于这个尺寸，则电极放在两对角面上)，以下图所表示:

3． 体积电阻测试方法：将材料放置在一个光滑、平整、洁净，且表面电阻小于10欧姆金属面上，一个电极放置在金属面上，另外一个电极放置在被测物上。对于烙铁，只需要测量热金属头到地之间电阻。

附录8：《防静电工椅测试方法》
1. 要求随机抽样最少5个样品，每一个样品最少随机测量三次（三个点）。防静电工椅测试纪录应包含表面电阻和体积电阻。
2. 表面电阻测试方法：在表面放置两个测试电极，以下图所表示:

3. 体积（对地）电阻测试方法：一个电极放置在金属面上，另外一个电极放置在椅子上。注意，在生产线进行定时检测时候，许可直接把一个电极放置在防静电地板上，另外一个电极放置在椅子上。

附录9：《物体表面静电压测量方法》
1. 使用Simco FMX002静电压表去测量物体表面静电压，要注意以下几点：仪表红外灯指示器要两个重合，才算对焦，此时仪表距离被测物大约2.5厘米。静电压表在使用过程中需要接地。不然读数不正确。静电压表读数单位为KV。测试图例以下:

附录10：《悬挂式/台式离子风机测试方法》
1. 测量悬挂式离子风机应使用标准离子风机测试仪，在评定新引入离子风机时候需要测量标准12个点平衡电压和消电时间。在平时定时测量时，只需测量3个风扇口正下方平衡电压和消电时间。标准12个点（以小网格表示）以下所表示：

2. 对每一个点均应测量不少于三次。对每一个测试点平衡电压测量时间不得少于1分钟。应纪录平衡电压最大（偏移零点最远）值。消电时间应纪录最大值。

3. 对新引入悬挂式离子风机要求列表：（ANSI / ESD STM3.1- / ANSI / ESD S20.20-1999只对平衡电压提出了要求，未强制要求消电时间，所以，下表平衡电压是强制实施，消电时间只是提议值）
位置
低风速
高风速
平衡电压(V)
消电时间 (S)
平衡电压(V)
消电时间 (S)
Center
TP5&TP8
0 + 50 V
< 15 s
0 + 50 V
< 10 s
TP2&TP11
< 25.0 s
< 20.0 s
30 cm Left
TP1&TP10
0 + 50 V
< 25.0 s
0 + 50 V
< 20.0 s
TP4&TP7
< 20.0 s
< 15.0 s
30 cm Right
TP3&TP12
0 + 50 V
< 25.0 s
0 + 50 V
< 20.0 s
TP6&TP9
< 20.0 s
< 15.0 s

4. 测量台式离子风机应使用标准离子风机测试仪测试，在评定新引入离子风机时候需要测量标准12个点平衡电压和消电时间。在平时定时测量时，只需测量正对风扇口30厘米和60厘米两个点平衡电压和消电时间。标准12个点（以黑竖条表示）以下所表示：

5. 对每一个点均应测量不少于三次。对每一个测试点平衡电压测量时间不得少于1分钟。应纪录平衡电压最大（偏移零点最远）值。消电时间应纪录最大值。
6. 对新引入台式离子风机要求列表：（ANSI / ESD STM3.1- / ANSI / ESD S20.20-1999只对平衡电压提出了要求，未强制要求消电时间，所以，下表平衡电压是强制实施，消电时间只是提议值）

位置
低风速
高风速
平衡电压(V)
消电时间 (S)
平衡电压(V)
消电时间 (S)
center
1ft(TP2)
0 + 50 V
< 5.0 s
0 + 50 V
< 3.0 s
2ft(TP5)
< 8.0 s
< 6.0 s
3ft(TP8)
< 12.0 s
< 10.0 s
4ft(TP11)
< 20.0 s
< 15.0 s
30 cm Left
1ft(TP1)
0 + 50 V
NA
0 + 50 V
NA
2ft(TP4)
< 30.0 s
< 25.0 s
3ft(TP7)
< 15.0 s
< 12.0 s
4ft(TP10)
< 25.0 s
< 20.0 s
30 cm Right
1ft(TP3)
0 + 50 V
NA
0 + 50 V
NA
2ft(TP6)
< 30.0 s
< 25.0 s
3ft(TP9)
< 15.0 s
< 12.0 s
4ft(TP12)
< 25.0 s
< 20.0 s

附录11《手套/手指套测量方法》
1. 穿戴对地电阻测试：操作员把测试仪两个电极分别放在两块相互绝缘金属板上面, 然后操作员戴上手套/手指套。操作员把戴有手套/手指套大拇指和食指分别按住那两块金属板，然后按下测量开关，并等读数稳定后读出测试仪上读数，并统计下来。操作员分别用大拇指和其它手指按住金属板，然后读出测试仪上读数，并统计下来。每一个手套/手指套均需要测量5个（含）以上样品，每次测量均统计最大值。
2. 表面摩擦电压测试：操作员戴上1兆欧标准手腕带，鳄鱼夹夹在接地线上面并确定接地良好。操作员戴上手套/手指套。一只手拿取高绝缘塑料板，另一只手/手指摩擦塑料板十次，然后测量手套/手指套上面静电压，统计最大值。注意：仪器要离绝缘板30厘米以上，以免影响读数。每一个手套/手指套均需要测量5个（含）以上样品，每次测量均统计最大值。

附录12防静电标准列表：

表面电阻
系统/穿戴电阻
消电时间
摩擦/平衡电压
防静电地板/防静电台垫/地垫
1E4~1E9W
1E4~1E9W

防静电包装袋/容器
1E4W ~ 1E11W
1E4W ~ 1E10W

防静电小推车/周转车
小于1E9W
小于1E9W

防静电镊子/吸钳/吸锡器
1E4W ~ 1E11W
1E5W ~ 1E10W

防静电文件袋(夹)
1E4W ~ 1E11W

防静电烙铁

小于10W

防静电架子/元件架/防静电椅
小于1E9W
小于1E9W

设备/工作台接地电阻（直接）

小于10W

设备/工作台接地电阻（带电阻）

0.8E6~1.2E6W

厂房接地电阻

小于10W

通常防静电物料
1E4W ~ 1E11W
1E4W ~ 1E11W

防静电工作服
1E5W ~ 1E10W
小于1E9W

防静电工作鞋

小于1E9W

防静电手腕带
小于1E3W
1E6W ±20%

防静电手套/指套

1E5W ~ 1E11W

<50V
防静电工作鞋

1E5W ~ 3.5E7W

防静电手腕带

7.5E5W ~ 3.5E7W

防静电离子风机（悬挂式）

<10Second (正下方)
±50V
防静电离子风机/风枪（台式）

<3Second (正中央)
±50V
附录13 测量仪器选择
1． 表面电阻及体积电阻测量应由专用电阻表测量，全部电阻大于1E3欧姆均由兆欧表测量（含有10V和100V测试电压），全部小于1E3欧姆均由万用表测量。全部接地线接地电阻均由数字万用表测量。
2． 静电中和时间和平衡电压由离子风机测试仪测量，（显示精度为1V，最高量程为1KV，时间精度最为0.1S）
3． 材料摩擦电压由非接触式静电压表测量（显示精度为10V，最高量程为20KV，测量精度±10%）
附录14 防静电标识

见到此标识，则说明此工作区域或产品是静电敏感，进入此区域或操作此产品时需要做好防静电准备。

见到此标识，则说明此产品是静电敏感，同时也是经过防静电包装，能够进行运输使用。拆开包装前需要做好防静电准备。

用黄黑相间斜条纹隔开防静电工作区域和一般工作区域，线条宽度为5 ~ 10 cm，如上图所表示。
附录15 定时检验覆盖范围
1. 防静电制品均须定时检验，检验范围根据下表来定

全检
抽检
类别
工衣、工鞋、手腕带，离子风机和烙铁
台垫、地板、吸塑盒和别防静电用具
2．检验比率以下：
2.1 工衣、工鞋、手腕带，离子风机和烙铁均为全测。
2.2 防静电地板测试比率根据厂房验收时测试图进行，即每层楼不少于50个点。
2.3 防静电台垫和防静电工椅等生产线固定用具每条生产线测试不少于3个。
2.4 每种防静电吸塑盒抽测不少于20个。
2.5 防静电手套/手指套等易耗品，每批测量不少于10个人天天用量。
2.6 剩下防静电用具不得少于10