无尘室概念及管制说明.ppt
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1、无无尘室概念及管制室概念及管制说明明AUO Proprietary&Confidential无尘室概念及管制说明无尘室概念及管制说明课课 程程 大大 纲纲一、洁净室的定义一、洁净室的定义二、洁净室的功能二、洁净室的功能三、洁净度的定义三、洁净度的定义四、洁净室环境要求四、洁净室环境要求五、洁净室的管理五、洁净室的管理 控制产品所接触大气的洁净度及温湿度:控制产品所接触大气的洁净度及温湿度:不论室外空气条件如何变化,室内都还能维持原先设不论室外空气条件如何变化,室内都还能维持原先设 定的空气条件定的空气条件.使产品能在一个良好的环境使产品能在一个良好的环境中生产制造中生产制造.如:如:TFT-L
2、CD能在一个洁净度良好、温能在一个洁净度良好、温 湿度、压力稳定的环境中被生产制造湿度、压力稳定的环境中被生产制造.洁净室的定义洁净室的定义洁净室就是所谓的无尘室洁净室就是所谓的无尘室:将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度与照度、将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度与照度、噪音、振动、静电等条件控制在某一需求范围内噪音、振动、静电等条件控制在某一需求范围内.洁净室的功能洁净室的功能温度温度湿度湿度风速风速照度照度噪音噪音2426270.5 m/s250700 LUX65 dB洁净室最主要功能洁净室最主要功能:将一定范围内空气中的将一定范围内空气中的微尘粒子微尘粒子(particle)、有害
3、空气有害空气、细菌细菌等等污染物污染物排除排除.洁净室环境要求洁净室环境要求:洁净度的定义洁净度的定义FED-209洁净度等級洁净度等級 S03厂无尘室等级为厂无尘室等级为1000级级洁净度的定义洁净度的定义Particle来源来源:Particle 防制防制原则原则洁净室环境要求洁净室环境要求Particle测量仪测量仪不不带带入入排排 除除不不堆堆积积不不产产生生二、不可产生二、不可产生 particle .无尘服穿着确实无尘服穿着确实 .规划作业规划作业 .避免内装会产生避免内装会产生particle 四、排除四、排除 particle .维持排气畅通维持排气畅通 .维持气流稳定维持气流
4、稳定洁净室环境要求洁净室环境要求一、不可带入一、不可带入 particle .穿着无尘服穿着无尘服 .物品携入前,先清洁物品携入前,先清洁 .环境压差确认环境压差确认 三、不可积累三、不可积累 particle .选择易清洁之材质选择易清洁之材质 .定期清洁定期清洁 .防静电产生防静电产生,避免浮游避免浮游 粒子吸附粒子吸附Particle 防制防制原则原则:洁净室的管理洁净室的管理目目的的一、维持洁净室之等级一、维持洁净室之等级二、符合生产环境要求二、符合生产环境要求三、避免产品受到污染三、避免产品受到污染范范围围一、人员进出规定一、人员进出规定二、无尘服穿着顺序二、无尘服穿着顺序三、物品设
5、备相关规定三、物品设备相关规定四、人员秩序相关规定四、人员秩序相关规定五、五、Gowning room 管理管理人员进出规定:人员进出规定:一、进入洁净室须穿戴无尘服、网帽、口罩、静电手套一、进入洁净室须穿戴无尘服、网帽、口罩、静电手套.二、进入洁净室时必须依规定通行二、进入洁净室时必须依规定通行“风淋室风淋室”.三、进入洁净室后三、进入洁净室后,必须量测静电手环是否必须量测静电手环是否OK.四、离开无尘室时四、离开无尘室时,必须依规定关闭必须依规定关闭“双向对开门双向对开门”.五、非紧急状况五、非紧急状况,不得使用安全门不得使用安全门.六、设备商进厂及来宾参访六、设备商进厂及来宾参访,须提出
6、申请须提出申请,并了解洁净室规并了解洁净室规洁净室的管理洁净室的管理(一一)1.1.进风淋室时进风淋室时,双脚必须在粘尘垫上踩过双脚必须在粘尘垫上踩过.2.2.在风淋室内不可靠墙在风淋室内不可靠墙.3.3.所有进入无尘室的原材料或治具、工具、零配件等所有进入无尘室的原材料或治具、工具、零配件等 均需擦拭干净后经风淋室洗尘,方可进入无尘室均需擦拭干净后经风淋室洗尘,方可进入无尘室.4.4.出双向对开门时出双向对开门时,两边门不可同时打开两边门不可同时打开.5.5.在双向对开门内不可脱手套、口罩等在双向对开门内不可脱手套、口罩等.风淋室风淋室&双向对开门注意事项双向对开门注意事项:洁净室的管理洁净
7、室的管理(一一)1.进入进入3F-FI产线的人员统一从产线的人员统一从 通道进入后按指定的路标走通道进入后按指定的路标走.三人以上必须排队三人以上必须排队,且排整齐且排整齐 不可打闹不可打闹,严禁嘻戏严禁嘻戏.2.进入进入2F-FI产线的人员由产线的人员由2F Carton check 1线进入线进入.洁净室的管理洁净室的管理(一一)1.将所有头发整理塞进工帽将所有头发整理塞进工帽.2.耳朵可外露耳朵可外露,头发不可外露头发不可外露.3.工帽戴正不可歪斜工帽戴正不可歪斜,有带子有带子 的戴到后方的戴到后方.4.后段为非无尘环境后段为非无尘环境,清洗由清洗由 同仁自行负责同仁自行负责.洁净室的管
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