SEM操作作业规程专业资料.doc

JSM-7800F扫描电镜操作规程

1、确认Maintenance界面内GUN/AC内GUN参数（电流值稳定）和SIP1和SIP2真空度正常方可运营！！
2、选取对的样品座放置样品并固定，样品高度不要超过样品座上方10mm。
注意：接触样品座，取放样品时务必戴手套操作！！！

3、装样品前必要确认高压处在关闭状态。
4、点击SEM应用程序软件中Specimen窗口Exchange Position按钮，使样品互换室控制面板EXCH POSN灯点亮，并确认样品台处在样品互换位置（X：0.000mm，Y：0.000mm，Z=40.0mm，R：0.00，T：0.00）。

5、按下VENT按钮对Exchange chamber放气，直至VENT常亮，表达样品互换室处在大气状态。
6、松开互换室锁扣，打开样品互换室，将已固定好样品样品座，按箭头方向置于样品座夹具内。

7、完全关闭样品互换室门，扣好锁扣。 
8、按下EVAC按钮，开始抽真空，EVAC闪烁，待真空达到规定期，EVAC常亮。
9、手持样品互换杆，将样品杆放下至水平并向前轻推，将样品Holder完全送进互换室中，注意当HLDR灯亮起后，再完全拉出样品杆，垂直立起放置，此时样品已正常放置于样品室内。
注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应及时停止操作，将样品杆归位，检查操作环节与否对的。

10、在SEM应用程序软件界面对的选取所使用Holder类型，输入样品高度值，点击OK确认。
11、输入Z值10mm。
11、查看样品室真空度，确认真空度不大于5.0×10-4 Pa时才可开始进行图像操作。
12、观测样品，获取图像。
（1）点击ON，打开高压，依照样品选取所需电压。
（2）如果有各种样品，按下LDF按钮切换到低倍模式，选取要观测样品位置，选好后按LDF按钮切换回高倍模式。
（3）确认Scanning Mode在Quick View状态，寻找样品表面明显特性。先切换到较高倍率，转动FOCUS旋钮进行聚焦，X、Y散光像差校正旋钮进行像散调节，调节亮度与对比度（可按ACB自动调节或手动调节），直至样品表面特性图像清晰为止（低倍率时，运用AUTO键进行自动对焦）。然后切回所需之倍率进行图像观测。
a）如果聚焦时浮现图像是模糊，需要进行电子束对中调节。
b）按键盘上RDC IMAGE键，打开调节窗口，按键盘上WOBB键，此时图像会来回摆动，旋转键盘上X、Y调节旋钮使图像停止摆动（X方向摆动调节X旋钮，Y方向摆动调节Y旋钮）。
c）关闭WOBB键，此时STIG键自动亮，分别旋转键盘上X、Y调节旋钮将图像调节清晰。
d）继续放大倍数，转动FOCUS旋钮进行聚焦，如图像不清晰，重复c步直到将图像调节清晰。
e）如果图像已经调节好，，按键盘上“RDC IMAGE”键关闭调节窗口，进行全屏显示。
（4）图像聚焦像散调节完毕后，按下FINE VIEW键及FREEZE键扫描图像并定格，也可按下PHOTO键获取最后图像，输入样品名称，选取文献类型和文献保存位置，点击“Save”进行保存。
（5）按“FREEZE”键取消锁定，按“QUICK VIEW”进行迅速扫描，为下一次调节图像做好准备。
13、背散射（BEI detector）观测
1）点击Exchange Position，EXCH POSN灯同步亮，样品台回到样品互换初始位置。
2）点击OFF，关闭高压，确认高压处在关闭状态！
3）在仪器状态区域将BEI勾选，BEI detector自动伸入样品室。
4）点击ON，打开高压，依照样品选取所需电压。
5）找好要分析样品位置，调节好倍率，聚焦及像散。
6）在图像显示区域选取图像信号为BEC
7）按Fine view2 获取图像，按下PHOTO键获取最后图像，选取 “Save”模式进行保存。。
8）使用完毕后，先关闭高压，再将BEI打勾取消（即表达BEI detector退回）。
14、结束观测：
1）将放大倍率调至最低倍。
2）点击OFF，关闭高压，确认高压处在关闭状态！
2）点击软件中Specimen窗口Exchange Position按钮，EXCH POSN灯同步亮，样品台复位，处在样品互换初始位置。
3）运用样品互换杆将样品Holder拉出样品互换室。
4）按下VENT键放气，直至VENT常亮。
5）打开样品互换室，按箭头方向取出样品Holder及样品，并检查样品互换室与否正常。
6）关闭样品互换室并按EVAC抽真空，待EVAC灯不再闪动后，观测结束。

注意事项

1、接触样品座，取放样品时务必戴手套操作，并保证样品在样品台上固定牢固；样品柱高度最佳不要超过样品座上方10mm。样品高出样品台时，不要将Z值输入过小，导致镜头碰撞样品台。
2、注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应及时停止操作，将样品杆归位，检查操作环节与否对的。
3、拉出拉杆时，牢记一定要将拉杆完全拉出后才可以立起，否则样品杆会弯折变形。
4、实验完毕后只需关闭计算机显示屏，其她任何页面及装置不予关闭。

样品操作按钮简介

Specimen exchange chamber（样品互换室）控制面板

VENT：Exchange chamber放气按钮
EVAC： Exchange chamber抽真空按钮
EXCH POSN ：显示样品台与否处在样品互换位置（灯亮表达处在该处）
HLDR ：显示样品holder与否固定在样品载台上（灯亮表达已固定于该处