微机型数显复合真空计使用说明指导书.doc
《微机型数显复合真空计使用说明指导书.doc》由会员分享,可在线阅读,更多相关《微机型数显复合真空计使用说明指导书.doc(19页珍藏版)》请在咨信网上搜索。
1、目 录1、安全说明 12、技术参数 23、工作原理 34、性能概述 45、使用概述 56、规管性能概述 77、规管外形及安装 108、真空计和规管连线 129、真空计开机及显示说明 1310、真空计使用方法 1310.1电阻2单元使用方法 1310.2电阻1和电离复合单元使用方法 1511、真空计去气 17*12、控制功效及设定方法 17*13、控制输出 18*14、扩展功效 20 机箱规格 2215、附录 规管接口 24 常见问题 27 *号内容属选配功效说明,仅选配了此功效对应配置有效1、 安 全 说 明 为确保该真空计正常功效,使其含有较高正确度、稳定性和较长使用寿命,请依据本说明书中要
2、求许可值和应用条件进行操作和使用。操作、维护和维修该真空计时,请遵守电气设备安全规范。避免大气压下开启电离规灯丝,这将烧毁电离规灯丝。避免真空系统或管道有真空时,强制拆卸规管。避免用于“正压”真空系统安装一般规管,应安装承受“正压”规管。避免真空系统中腐蚀性气体腐蚀电阻规传感丝及电离规各电极,以延长规管寿命。采取合适方法预防误操作或不许可损坏。如未按本说明书操作,我们将不负担任何责任;相关该真空计及其附件确保条款也将无效。该说明书使用符号说明: 注意:表示必需遵照信息,如未遵照可能会造成对人身伤害和对该真空计损坏。 表示关键附加信息和技巧或提议。炫辰钛金保留对产品外观及设计改善和改变权利,而无
3、需事先通知,产品及配件以实物为准。2、技术参数2.1 电阻单元技术参数:配用规管型号:ZJ-52T电阻规电阻规传感丝冷态电阻值(86.51.7)真空度测量范围(对干燥空气或氮气) 1.01052.5103可测范围。 2.51035.010-1小于显示值30% 5.010-11.010-1可测范围。有效控制范围2.51035.010-1Pa。2.2 电离单元技术参数:测量范围:51Pa可测范围 1510-5 Pa小于显示值50% 510-5110-5Pa可测范围配用规管型号:ZJ-27电离规规管灵敏度:0.1515% Pa-1。规管加速极(栅极)对地电位:225V3%规管阴极(灯丝)中心点对地电
4、位:25V5%。搜集极对地电压:0V。发射电流:100uA3% 5110-1Pa 1mA3% 110-1110-5 Pa离子流放大器示值误差:5110-4 Pa小于5% 110-4110-5 Pa小于10%规管除气方法:焦耳去气。有效控制范围:1Pa510-5 Pa2.3其它参数控制输出模式:继电器触点通、断输出。每一组输出为一对常闭和一对常开。控制负载:AC220V/1A(DC28V/5A)无感负载。工作电源:AC220V10%/50HZ。功率:最大功率约40W。工作环境温度:0450C。工作相对湿度85%。机箱规格及开孔尺寸和重量参见附录。3、工作原理3.1电阻单元工作原理 电阻单元采取热
5、传导式电阻真空规(又称皮拉尼规),基于这种规通以电流热丝温度是随真空(压力)而改变。因为温度改变造成热丝电阻改变。所以用测量电阻改变来测量真空度。3.2 电离计工作原理 电离单元采取热阴极电离规。基于这种规在低压力(真空)下,对经过电流电离管灯丝“加热”,使其发射电子,故称热阴极电离规;同时给电离规加速极施加直流高压,使电子在规管电极间产生电场中被加速,去轰击气体分子使其电离,电离产生正离子被搜集极接收。离子流和气体压力p关系: I+=KIePK为规管灵敏度,I+为离子流,Ie为发射电流,P为真空系统内压力(真空)。3.3 复合真空计由电阻规管、电离规管和电子学电路组成。电阻单元电路完成电阻规
6、热丝定温功率调整,和随真空度改变测量桥路电压信号采样,放大,经模数(A/D)转换为数字信号。电离单元电路一部份提供电离规管所需工作电压和发射电流稳定;另一部份完成离子流检测、放大,经模数(A/D)转换为数字信号。以微处理器为关键数字电路,首先完成电阻单元真空数字信号非线性处理、运算,最终送显示器显示;首先完成电离单元数字信号采样、运算,并送显示器显示;同时完成离子流放大量程和发射电流转换自动切换。其次接收前面板各按键指令或后板外控信号指令并发出对应实施指令;同时输出真空控制信号和真空度模拟信号和计算机通讯信号等。其工作原理功理图以下:电阻规2测量桥路调理电路模数转换(A/D模数转换(A/D))
7、调理电路测量桥路电阻规1微处理器控制输出模拟量输出计算机口输出外控信号按键输入显示器电 源交流AC模数转换(A/D)离子流放大稳发射回路规管灯丝电离规管搜集极直流高压加速集真空计电路工作原理框图4、性能概述:本复合真空计:采取经过特殊稳定处理工艺,以热容量极小金属丝作为真空敏感元件电阻规,从而更大程度地降低零点、满度漂移。采取尤其定温式工作模式,使其电阻单元含有更宽广测量范围和愈加快响应时间。采取高稳定、高性能直流高压稳压及稳发射电路,以确保电离规各参数稳定运行。采取独特真空度离子流采样放大电路和保护回路,确保从搜集极回路串入瞬变电压(TVS)强力衰减,使得真空度测量愈加稳定和可靠。采取全进口
8、微处理和数字接口芯片和模拟和数字分离技术,光电隔离技术,数字滤波等新技术,确保了真空计含有强大抗干扰能力。采取优化全自动切换技术,确保真空计自动量程切换平稳和可靠。采取超量程自动关闭电离规灯丝技术,确保因真空系统忽然曝露大气而不损坏电离规。采取了外控PLC信号、RS232/RS485信号,开启/关闭电离规最新功效,使得实现真空系统自动化成为可能。采取国际通用流行2U标准机箱和PVC彩色薄膜面板,使真空计外型更为美观、时尚。5、使用概述 真空计为二路电阻测量和一路电离测量,组合为复合真空计。电阻单元2为独立工作单元,由真空计前面板左窗口显示。适宜抽气机组前级管路或其它位置粗、低真空测量和控制。电
9、阻1和电离组合为复合单元,由真空计前面板右窗口显示。这种复合在自动模式时,可实现电阻1自动开启和关闭电离规实现真实度连续测量和控制:(此模式运行要求电阻规1和电离规安装位置之间应没有压力(真空)差,如同一真空室内等)。这种复合在手动模式时,电阻1和电离规可不受安装位置限制(如不在同一真空室内等),经过手动开启和关闭电离规进行测量和控制。这种复合也可经过外控端口PLC信号等关闭电离规,以实现真空系统在放气降真空之前关闭电离规,避免了在低真空时使点亮电离规灯丝氧化,以延长规管寿命;同时在真空系统恢复抽真空后又置为自动程序自动开启电离规。可经过前面板完成控制点设定,和自动/手动模式测量时自由切换。可
10、能过前面板零点(真空),满度(大气压)修正小孔,修正电阻单元零点(真空)和满度(大气压)值。可经过面板完成去气功效等操作。真空计前/后面板功效图:ZDF-X-LED前面板ZDF-X-LED后面板ZDF-X前面板ZDF-X后面板6、规管性能概述:该复合真空计采取ZJ-52T电阻规和ZJ-27热阴极电离规。61电阻规性能概述:ZJ-52T电阻规(又称皮拉尼规)采取经过特殊稳定化处理工艺,以热容量极小金属丝作为真空敏感元件,并内置了环境温度赔偿回路和管口防粉尘等装置。含有量程宽、性能稳定、响应快、抗污染、耐氧化、漂移小、寿命长等特征。适适用于粗、低真空测量,即大气压1.0105 Pa至1.010-1
11、 Pa测量。电阻规(皮拉尼规)以气体分子热传导方法来检测真空,这种热传导电阻规在低压力(真空)下,气体传热量和气体摩尔质量,气体分子温度,热丝表面等相关。所以不一样种类气体对电阻规灵敏度不一样。因为该电阻计设计采取干燥空气(或氮气)校准而得出工作曲线。所以在真空环境下,相对空气(氮气)其它气体曲线及修正系数和等效氮压力公式以下:(仅供参考)Peff(等效真空)=KP(显示真空)6.2电离规性能概述 ZJ-27电离规(又称宽量程规),其阴极灯丝采取贵金属氧化物增强了阴极抗氧化从而提升了耐受瞬时大气冲击能力,延长了规管寿命。该热阴极电离规I+/IE和真空P关系曲线以下图如示:图所表示,当真空度深入
12、降低时,在Pm处I+/IE将达成一个峰值,然后急剧下降,这种现象称作双值现象。ZJ-27电离规峰值点(或双值点)为:5.0Pa左右。所以在开启电离规测量时,真空度应高于此点,若真空度低于此点,此时你将会发觉异常真空度显示。如真空度变好时系数本应减小,它却反而增加,或真空度异常偏高等。 ZJ-27电离规虽采取了抗氧化阴极灯丝,但高温灯丝长时间工作在较低真空下(氧气分压相对校高)亦易被氧化,并逐步降低发射能力,使规管寿命缩短。 所以应采取最优真空系统运行程序,缩短低真空区域停留时间。 并使其保持在高真空区域工作。 或无需测量时临时关闭电离规。6.3电阻适宜测量范围:2.5103Pa1.0Pa 电离
13、规适宜测量范围:1.0Pa5.010-5Pa 7、规管外形及安装7.1规管外形图ZJ-52T电阻规外形图ZJ-27电离规外形图7.2规管安装:规管安装位置和方法对测量值及规管寿命有显著影响,尤其是当系统中存在气流、气源等非均匀条件或高能离子/电子时,这种影响愈加显著。安装示意图以下:7.2.1电阻规安装说明 玻璃外壳电阻规安装前可先和电阻单元连机确定零点是否正确或修正其零点,然后开封安装。 采取竖直安装。 水平安装可能会带来测量偏差。7.2.2电离规安装说明 应优先采取竖直安装。 应远离有油蒸汽(如扩散泵返油)位置,预防油蒸汽遇高温灯丝裂解,改变规管灵敏度和特征以延长规管使用寿命。 应远离高能
14、离子或电子位置,或屏蔽衰减真空系统内高能离子或电子进入规管,轰击规管电极,加速规管电极老化,缩短规管寿命。 应避免规管安装处有漏孔,不然微小漏气在规管局部产生压力差,这将带来较大测量偏差。8、真空计和规管连线8.1真空计和电阻规连线图 将电阻规电缆线(五芯插头)和仪器后面板电阻规1/2插口相连并旋紧,电缆线另一头(八脚插座)和电阻规八脚插头相连。8.2真空计和电离规连线图 将电离规电缆线(四芯插头)和仪器后面板电离规插口相连并旋紧,电缆线另一头(八脚插口)和电离规八脚插头相连。同时将搜集极电缆(BNC插头)和仪器后面板搜集极插口相连,另一头夹子和玻璃规管搜集极管冒相连或和金属规管第1脚引出线相
15、连。9、真空计开机及显示说明: 在确保全部连线正确后,即可接通真空计电源,显示器显示 电阻2单元 电阻1和电离复合单元2.00E2系数位 表示10 指数符号位“+”或“-”指数位比如左窗口显示:表示真空度为2.0102Pa=200Pa 当指数符号为负显示“-”,为正不显示“+”10、真空计使用方法10.1电阻2单元使用方法: 电阻2为独立单元,真空计开机后 此刻应进行电阻单元2设定操作(假如有此功效或需要设定)。 若不进行设定操作(无此设定功效或已设定过),5秒后电阻单元2自动进入测量壮态并显示真空度(左窗口)。10.1.1电阻计2单元零点、满度修正 因为电阻规本身特异性(即零碎性)和使用时特
16、定环境等原因,从而使电阻计2和某一个电阻规匹配首次使用时或使用一段时间后,需要对零点、满度进行修正。零点修正及说明 应在真空度高于1.010-1Pa时进行。将真空计切换为手动,手动开启电离规完成高真空测量,其操作方法详见15页手动模式开启和关闭电离规。将电阻规2和电离规和高真空系统妥善连接,同时对真空系统抽到真空,开启电离规进行真空检测,在真空度高于1.010-1Pa时,此时电阻2单元若显示1.010-1Pa,说明零点正确,不需要修正,若显示不为此值,如显示2.5EO或1.E-1等,应进行修正。其修正操作方法以下:用一字小改刀伸入真空计前面板电阻单元2零点修正小孔,正或反时针旋转,使其显示1.
17、0E-1即可。 顺时针旋转数字变大,反时针旋转数字变小。 高真空状态下,因为环境温度和传感丝表面壮态改变等原因影响,零点易漂移,若通常能显示在1.0E-15.0E-1内,均属正常,不需要修正。满度修正及说明 满度修正在大气压状态下进行。在零点确定正确或经修正正确后,对真空系统放气,直至大气压下,电阻单元2显示1.0E5,说明满度正确,不需要修正。若显示不为此值,如显示6.0E3或HHE5,应进行修正,其修正操作方法以下: 用一字小改刀伸入真空计前面板电阻单元2满度修正(大气压)小孔,正或反时针旋转,使其显示1.0E5即可。 顺时针旋转数字变大,反时针旋转数字变小。基于上述还未对真空计进行零点确
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 微机 型数显 复合 真空计 使用说明 指导书
1、咨信平台为文档C2C交易模式,即用户上传的文档直接被用户下载,收益归上传人(含作者)所有;本站仅是提供信息存储空间和展示预览,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容不做任何修改或编辑。所展示的作品文档包括内容和图片全部来源于网络用户和作者上传投稿,我们不确定上传用户享有完全著作权,根据《信息网络传播权保护条例》,如果侵犯了您的版权、权益或隐私,请联系我们,核实后会尽快下架及时删除,并可随时和客服了解处理情况,尊重保护知识产权我们共同努力。
2、文档的总页数、文档格式和文档大小以系统显示为准(内容中显示的页数不一定正确),网站客服只以系统显示的页数、文件格式、文档大小作为仲裁依据,平台无法对文档的真实性、完整性、权威性、准确性、专业性及其观点立场做任何保证或承诺,下载前须认真查看,确认无误后再购买,务必慎重购买;若有违法违纪将进行移交司法处理,若涉侵权平台将进行基本处罚并下架。
3、本站所有内容均由用户上传,付费前请自行鉴别,如您付费,意味着您已接受本站规则且自行承担风险,本站不进行额外附加服务,虚拟产品一经售出概不退款(未进行购买下载可退充值款),文档一经付费(服务费)、不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
4、如你看到网页展示的文档有www.zixin.com.cn水印,是因预览和防盗链等技术需要对页面进行转换压缩成图而已,我们并不对上传的文档进行任何编辑或修改,文档下载后都不会有水印标识(原文档上传前个别存留的除外),下载后原文更清晰;试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓;PPT和DOC文档可被视为“模板”,允许上传人保留章节、目录结构的情况下删减部份的内容;PDF文档不管是原文档转换或图片扫描而得,本站不作要求视为允许,下载前自行私信或留言给上传者【丰****】。
5、本文档所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权,请谨慎使用;网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽--等)目的在于配合国家政策宣传,仅限个人学习分享使用,禁止用于任何广告和商用目的。
6、文档遇到问题,请及时私信或留言给本站上传会员【丰****】,需本站解决可联系【 微信客服】、【 QQ客服】,若有其他问题请点击或扫码反馈【 服务填表】;文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“【 版权申诉】”(推荐),意见反馈和侵权处理邮箱:1219186828@qq.com;也可以拔打客服电话:4008-655-100;投诉/维权电话:4009-655-100。