无尘车间管理制度汇编样本.doc

无尘车间管理制度
(某世界500强半导体企业内部规范-仅供参考)

目 录
1.0 无尘车间管理目标
2.0 无尘车间管理标准
3.0 适用范围
4.0 术语
5.0 管理程序
5．1 无尘车间施工管理制度
5．2 无尘车间洁净度定时检测制度/测量标准
5．3 无尘车间人员管理制度
5．4 无尘车间洁净服管理制度
5．5 无尘车间物流/洁净室内设备及工器具管理制度
5．6 无尘车间清洁、清扫和灭菌管理
5．7 无尘车间洁净室安全管理
6.0 版本更改统计

1．0 无尘车间管理目标
半导体产品生产过程对车间有明确洁净要求，为了满足生产工艺需要、确保产品质量、安全生产，必需对洁净室环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。

2．0 无尘车间管理标准
2.1 进入洁净室管理，包含对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备搬入和相关设备、管线维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。
2.2 操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服制作、穿着和清洗；操作人员移动和动作；室内设备及装修材料选择和清扫、灭茵等，尽可能地降低、预防洁净室内尘粒、微生物产生、滞留、繁殖等。
2.3 严格各类设备、设施维护管理，制订对应操作规程，确保各类设备、设施按要求正常运转，包含净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。
2.4 清扫、灭菌管理，对洁净室内各类设备、设施清扫、灭茵和方法、周期和检验作明确要求，预防、捎除洁净室内尘粒、微生物产生、滞留、繁殖。
2.5 洁净室环境控制内容包含：空气净化、洁净建筑、和产品直接接触水或气体或化学品和生产设备、工器具等污染物控制和微振动、噪声、静电控制、预防等。

3．0 适用范围
半导体企业全部洁净生产区及洁净辅助间(包含人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间内管理区(包含部分办公、值班、管理和体息室等)和未来新建、改建、扩建洁净厂房及其辅助用房。
4．0 术语
洁净生产区 是洁净厂房关键部分，对洁净等级有明确要求区域。
洁净辅助间 是洁净厂房不可缺乏必备房间。洁净辅助间对洁净厂房平面关系亲密，对洁净厂房建造带来影响和投产后能否满足产品生产需要和能否可靠地预防生产过程污染或交叉污染至关关键。
管理区 是洁净厂房内产品生产过程生产管理、技术管理用房和必需操作人员休息、福利用房。
设备区 即净化空调系统、公用动力系统等用房，是洁净厂房关键组成部分。

5．0 管理程序
5．1 无尘车间洁净室施工管理制度
5．1．1 背景
5．1．1．1 半导体制造业必需在洁净环境中进行，在施工中必需遵照行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序概要。为了确保项目标成功，现场每一位人员全部必需遵守。
5．1．1．2 图纸上对于施工洁净建设草案将被强制实施。这包含除了原料和成品仓库以外全部主厂房内地方。
5．1．1．3 洁净室施工管理制度现在关键针对一期主厂房内局部改造和扩建，后期全部洁净室施工项目仍根据本制度要求标准进行管理。
5．1．2 责任和义务
5．1．2．1 全部承包商有责任确保她们工人全部了解这些规则和程序，而且在她们疏于遵从或违反时给培训和训练。被分配到洁净建设区域每位工人有责任和义务了解并遵守洁净建设规则和程序。
5．1．2．2 承包商负责实施洁净室草案。她将天天对洁净建设区域进行检验，并填写检验清单。承包商负责提供洁净室所需物品，比如：鞋套，毛巾，垫子和工装。她也负责提供每日实施洁净规则和程序人员和设备。
5．1．2．3 承包商建造区域入口并对其进行管理。她提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服清洗店。她将对在洁净区域工作人员进行培训，并维护被许可在此区域工作人员身份认定和管理。
5．1．2．4 开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体企业在该入口处安排有些人员）以确保本规则和程序实施。
5．1．2．5反复违反规则和程序人员将被开除。没有落实实施本规则和程序供给商将被除名。
5．1．3 草案细则
洁净室草案分为三部分，每一部分对应施工一个过程。施工靠近完工阶段，不许可从外面或洁净区域施工场地带入脏物。
5．1．3．1第一部分
² 第一部分关键针对直到关键施工完成后。包含屋顶，覆层，门和窗户。全部工人必需从图纸上标明通道进出施工现场。每个入口将会有清洗店。全部工人进入必需保持鞋子洁净。不许可穿奇特服装，工人衣服应该保持合适洁净。现场安全规则必需时刻遵守。
² 全部设备和材料必需从一个入口进入施工现场，而且保持洁净，不许可有碎片掉下。
² 施工现场内不许可吃东西，吸烟，喝酒。
² 每班结束时，必需清走全部垃圾和废旧物品。总而言之，整个施工现场天天必需保持洁净。
5．1．3．2第二部分
² 第二部分关键针对直到gridline B西边洁净区域内墙完成。此时，只许可承包商雇佣工人在洁净区域。其它供给商假如要进入洁净区域，必需提前向承包商提出申请，得到许可后方可进入。工人、设备和材料入口是经过威世半导体(西安)管理人员同意。
Ø gridlines 1和2之间通向成品仓库外门。
Ø gridlines 15和16之间通向原料仓库外门。
² 其它入口必需经过洁净工程承包商书面同意。两个入口旁边将会为很可能造成污染材料准备或拆包预留区域。进如洁净区域之前，材料和设备不许可有脏物或由掉下，而且应该用洁净干布擦拭洁净。
² 任何可能会造成污染活动必需必需提前经过洁净工程承包商同意。这包含砂纸打磨，碾，开凿，演练，焊接，切割和任何用水或喷淋工作。承包商要用任何可能方法预防污染。
² 装好地板必需用PVC板包装保护。
² 第一部分提到必需衣服、鞋套也是必需。
² 第二部分草案实施期间，洁净区域必需天天吸尘。
5．1．3．3 第三部分
² 第三部分关键针对直到生产车间全部建成。气体鼓风机将连续运行以维护房间压力要求。
² 进入工人穿鞋套和工作服。
² 全部进入洁净区域材料，工具和设备要用IPA和水混合物擦拭。
² 在第三部分草案实施期间，洁净区域天天要用有过滤装置洗尘设备吸尘。
5．1．4 洁净安装
² 必需采取洁净方法保持安装洁净。
² 各类部件如节气闸，扩散体在进入施工现场时应洁净而且拆掉包装。内部表面应该用IPA和水混合物擦拭。
² 洁净安装过程中，必需亲密关注所采取洁净方法可靠程度，对于隔离围护设施一定要作到立即发觉、立即纠正。
5．1．5 最终洁净
² 洁净区域全部安装完成后，要进行最终洁净。洁净要用IPA和水混合物擦拭。先洁净天花板，然后是墙壁，墙壁应从上到下，最终是地面。
² 最终洁净完成后，gridline B东边经过区域将是唯一进入洁净室通道。以前原料成品仓库入口将被保护。
² 最终洁净完成后，任何进入人全部必需经过威世半导体(西安)现场经理同意。
5.1.6 设备、物品进入洁净室要求
5．2 无尘车间洁净度定时检测制度/测量标准
5.2.1 为了确保洁净室洁净度满足工艺要求，必需定时对洁净室内洁净度进行检测。
5.2.2 检测测试设备：激光粒子记数器
5.2.3 检测周期：每七天一早晨、下午对各洁净区域进行一次检测
5.2.4 检测条件：静态洁净度测试
5.2.5 数据搜集整理：将每次检测结果输入监控室电脑中储存，并在每个季度末（或下季度初）给各部门发该季度洁净度统计图表电子档通报给各部门。
5.2.6 各洁净区域洁净等级标准：根据《半导体企业能源管理标准》要求实施。
区域、系统名称
洁净等级标准
相当于ISO等级
等效于GB等级
K-1系统 划片区域

静态1万级
K-1系统改造前为静态10万级
CLASS 7
CLASS 8
CLASS 7
CLASS 8
K-2系统 包封区域
静态30万级
CLASS 8．3
CLASS 8．3
K-3系统 搪锡区域
静态30万级
CLASS 8．3
CLASS 8．3
K-4系统 测试区域
静态30万级
CLASS 8．3
CLASS 8．3
K-8系统 电镀区域
静态30万级
CLASS 8．3
CLASS 8．3
现有其它空调系统
舒适性空调系统，无洁净要求
Not Applicable
Not Applicable
5.2.7 洁净室用净化空调系统及设备维护管理和对应操作规程、维修制度等（包含净化空调系统和洁净室相关公用动力系统设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等）实施威世半导体(西安)厂务部相关SOP文件。
5.2.8 参考文件
² FSD-SOP-01 《供电操作指导书及规范制度》
² FSD-SOP-4-1 《AHU系统操作指导书》
² FSD-SOP-4-2 《洗气塔操作指导书》
² FSD-SOP-4-3 《锅炉操作指导书》
² FSD-SOP-4-4 《制冷机操作指导书》
² FSD-SOP-06 《厂务部安全操作规程》
² FSD-SOP-07 《设备维护保养步骤》
² FSD-SOP-08 《消防系统操作指导书》
² FSD-SOP-12 《厂务部运行管理制度》
² FSD-SOP-13 《市政动力能源中止紧急应变计划》
² FSD-SOP-20 《厂务关键机组应急切换操作指导书》
² ATD1210C 《能源管理标准》
² JVP1301C 《公共设施管理要求》
5．3 洁净室人员管理制度
5．3．1 洁净室人员管理包含：制订专职管理人员职责、洁净室人员准入制度、人员培训教育要求、进入洁净室人员“人净程序”管理和退出管理制度等。
5．3．2 人员净化和进入
5.3.2.1 在洁净厂房内众多污染源中，人是关键污染源之一，尤其是工作人员在洁净环境中活动，会显著地增加洁净环境污染程度。
5.3.2.2 对于高等级洁净区域，应严格控制进入人员数量，并规范进行二次更衣。
5.3.2.3 要取得生产环境所需要空气洁净度等级或延长空气过滤器使用寿命，对进入洁净室人员、物料进行净化十分必需。
5.3.2.4 为保持洁净室空气洁净度，应尽可能降低进入洁净室人员带入污染物。全部进人洁净室人员必需严格地按要求程序进行人身净化。
5.3.2.5 个人衣服物品全部放到指定柜子里，去掉化妆，换上指定服装，按空气洁净度等级对应脱衣次序脱衣，放在要求衣柜内。
5.3.2.6 进入脱衣室，在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜内，严禁不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。
5.3.2.7 若企业后期发展需要更高洁净等级要求洁净区域（指高于ISO Class7等级）进入前，需要设置盟洗室用洗手器洗手（先用洁净洗涤剂洗涤，再用洁净水冲洗。洗涤后用自动烘手器烘干）。
5.3.2.8 通常交叉污染媒介，要常常洗涤。不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等。要按要求戴手套和指套。
5．3．3 洁净室工作人员须知
5.3.3.1 进入洁净室人员应严格实施人身净化制度、路线和程序，任何人不得随意更改。在洁净室内必需按要求着衣、戴帽、换鞋。
5.3.3.2 进入洁净等级1万级和高于万级洁净区域，必需最少经过二次更衣。可先从一次更衣室进入，进行更鞋、脱外衣、换洁净服、戴口罩、帽子（或洁净头套）后，经过走廊进入二次更衣室，进行二次更衣、更鞋、戴防静电腕带、戴口罩、戴帽子，确定更换完成后，进入风淋室进行风淋后，才能进入万级和高于万级洁净区域。
5.3.3.3 严禁不经过风淋而直接走旁通门进入洁净室。旁通门只许可人员出到洁净间外和发生紧急情况时进出。
5.3.3.3.1风淋室使用须知
A. 风淋室是工作人员进入净化区域前进行人身净化专用设备，它能将人体表面吸附着尘埃用高速气流吹去，使工作人员不带污染源进入净化区域，并能使净化区域和非净化区域起到气闸作用。
B. 风淋室设定和状态：风淋室在投入使用前必需完成调试和设定，使之保持自动风淋状态。
C. 风淋室使用
þ 使用者无需按任何键即可开门进入风淋室内，人数每次限定三人,把门关好即可自动风淋,风淋时旋转身体360度, 等候风机停止工作以后蜂鸣响，内门开锁，用户出风淋室。
þ 按“照明开”键即可打开室内照明灯。
þ 风淋室微电脑对所做设定有记忆功效,关闭风淋室电源再次打开电源时风淋室处于上次操作最终设定状态。
þ 严禁一线使用者对设备数值设定进行更改，数据更改必需由专业管理人员进行。
þ 严禁使用者野蛮对风淋室门（红外电控锁）强行推拉而损坏设备。
þ 风淋设备若因使用不妥而损坏，使用部门应据实反应损坏原因，并立即报修。
þ 一线职员在使用过程中发觉实状况态异常，应立即通知主管部门进行处理；并停止使用风淋室。
D. 风淋室正常/异常状态界定：
1. 风淋室正常初始化自检：打开电源操作面板LED数码显示时间点亮，同时电脑控制器做一次检测，二门是否关闭，有门开着则等候关门，假如二门全部关闭则自动进入正常工作状态。
2. 正常工作状态
þ 假如系统处于不工作状态：按电源开关键使系统处于工作状态，LED被点亮。
þ 根据明开/关则风淋室灯被点亮或熄灭，人员可依据需要循环选择。
þ 系统处于正常等候工作状态时，风淋室两扇门处于关闭未锁状态。
3. 异常状态：喷嘴出现微弱风速、门不能正常关闭或开启、电源操作面板无显示。
5.3.3.3 .2 进出风淋室步骤机理：
Ø 进入：当外门(红外电控锁)被打开时，内门（红外电控锁）自动闭锁。假如用户进入风淋室，经过红外探头，风机将自动工作一定时间，此时内外门均闭锁，风机停止工作以后蜂鸣响，内门开锁，用户出风淋室。开门、关门整个过程结束。
Ø 退出：当内门被打开时外门自动闭锁，用户关门后，则内外门均开锁，用户能够从任意门出风淋室。开门、关门，整个过程结束。
5.3.3.4 作业人员在洁净室内工作时，动作要轻。严格实施操作规程，不许可跑跳、打闹及喊叫，不作无须要动作，不作易发尘和大幅度动作。
5.3.3.5 作业人员在洁净室内工作时，尽可能避免人员聚集现象。若部分工位无特殊协作需求，其它工位职员严禁聚集、围观和自己工位工作不相干其它工位正常工作事件。
5.3.3.6 为不干扰气流，在作业区上游侧不应放物品，生产操作通常应在洁净工作台或气流上游进行。
5.3.3.7 不许可将和生产无关和轻易产尘物品带入洁净室，严禁在洁净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。
5.3.3.8 患有以下多个疾病职员是不宜进入洁净室：呼吸系统疾病（如严重感冒咳嗽等，患者除了会传输病菌、病毒外，还会因咳嗽而产生大量污浊颗粒混入洁净空气中）、皮肤疾病（如显著脱皮、掉皮屑皮炎等）；针对上述情形若采取了可靠额外人净方法时是能够进入洁净室。
5．3．4 洁净室人员退出时应注意事项
5.3.4.1 为了预防再次进入和往返作业对洁净室造成交叉污染按要求次序退出洁净室。
5.3.4.2 洁净室人员在作业中途和作业完成在退出到更衣区之前不得脱掉洁净工作服，进入更衣室先脱洁净室用鞋，放在要求场所。
5.3.4.3 必需时脱鞋前洗手，脱鞋后再摘掉帽子，放在要求处。
5.3.4.4 脱洁净工作服时不要触及地板、桌子和其它物品，对于洁净服通常由下至上脱（由下至上是指先脱鞋、再脱衣、再去除帽子和口罩），用衣架挂在要求处所。
5.3.4.5 脱去洁净工作服以后，若需再进洁净室时，仍需按进入洁净室次序进行人净。
5.3.4.6 退出10K及其以下等级洁净室时不需要经过空气吹淋。直接走旁通门退出10K洁净室是许可。
5.3.4.7 不能穿洁净工作服上厕所及进入动力设备间、仓库等非洁净区域。
5．4．洁净服管理制度
洁净服管理包含：洁净服采购和制作(含材料选择)、洁净服使用管理、洁净服清洗要求等。
5．4．1 洁净服采购和制作
5.4.1.1 洁净服必需选择由专业厂家制作合格产品。
5.4.1.2 洁净服必需满足工艺对洁净/防静电等全部要求。
5．4．2 洁净工作服使用管理基础标准
5.4.2.1 人员进入洁净室首先由个人洁净工作服专用柜或收纳处取出洁净工作服，若洁净工作服还未开封，需仔细切开包装拿出服装，不沾带包装料碎屑。
5.4.2.2 穿衣时，不要使衣服触及地板、桌子、椅子等物品，不要沾污袖子和裤腿下摆，姿势要保持直立，按从上至下次序穿衣［戴帽→穿衣（分体洁净服先上衣后裤子）→穿鞋］，必需时须设置专用穿衣台。
5.4.2.3 戴兜帽和帽子时要把头发全部遮住，头部紧紧地包在兜帽内。
5.4.2.4 若不穿洁净鞋而采替换用鞋套临时方法，穿鞋套时要把裤腿下摆紧紧地裹在鞋套内。
5.4.2.5 在不违反洁服使用管理基础标准前提下，生产线可细化出实用和可操作性强具体要求。
5．4．3 洁净服清洗要求
5.4.3.1 洁净服清洗若采取外协形式，清洗企业应选择经考察合格专业清洗企业。
5.4.3.2 洁净服清洗液不得对洁净服性能有影响；洁净服面料清洗后不许可有脱丝、掉渣。
5.4.3.3 清洗后衣物防静电织物性能不应被破坏，若被破坏，应立即报废或降级使用，降级使用应有显著标识且严禁在有防静电要求区域内使用。
5.4.3.4 清洗完成洁净服应进行可靠包装后运输及存放，避免和外界交叉污染。
5．5 洁净室物流/洁净室内设备及工器具管理制度
5．5．1 物流管理包含：进入洁净室物料准入制度，物料清理和清扫要求、废弃物管理制度等。
5.5.1.1 为预防污染物带入洁净室(区)，全部送入洁净室(区)多种物料、原辅料、设备、工器具包装材料等均需按要求进行外包装清理、吹净，有效地清除外表面微粒。
5.5.1.2 在洁净厂房内依据空气洁净度等级、产品生产要求设置必需物料净化设施，包含外包装清理室，气闸室或传输窗(柜)等。
5.5.1.3 物料在外包装清理室拆除外包装、装入洁净容器内或当外包装不能拆除时，对其擦拭清除尘土或采取其它清除污染物方法对设备、容器工具进行清洁处理，并使清理前后物料以一定标志给予区分。
5.5.1.4 洁净区域专用周转小车、周转盒必需有清楚标志，和非洁净周转小车有显著区分标识，严禁混用。
5.5.1.5 对清理外包装后物料应经过气闸室或传输窗(柜)才能进入洁净室(区)，气闸室或传输窗(柜)作用和人员净化用气闸室相同，用于保持洁净室空气洁净度和洁净室内必需压力。
5.5.1.6 传输窗(柜)应满足以下要求。两侧门上设窗，能看见内部和两侧；确保两侧门不能同时开启（可经过两侧门上设连锁装置或经过严格管理来实现）；传输窗内尺寸可适应搬运物料大小及重量，气密性好并有必需强度；依据用途不一样可设置室内灯、杀菌设施。
5．5．2 洁净室内设备及工器具管理包含：设备及工器具搬入管理，清扫和清洁要求，设备及工器具退出管理等。
5.5.2.1 工艺设备进入洁净区域前，应事先明确运输路线，清除设备运输通道上障碍物，包含对活动洁净围护板拆卸，并作好隔离防护方法，尽可能避免破坏洁净区域环境；若设备搬入可能对生产造成污染，应提前安排局部停产配合设备搬入。
5.5.2.2 隔离防护设施必需确保严密可靠，能够有效控制污染物扩散，并注意监控其完好状态，若有破损，立即修补使严密完好。
5.5.2.3 设备进入洁净区域前，必需先在缓冲区（或缓冲地带）进行根本清洁和擦拭。
5.5.2.4 在进行设备、材料搬运过程中，要严格进行洁净控制，设备进车间前注意在洁净缓冲区（或临时缓冲走廊）相关清洁工作。尤其注意不得穿洁净服经设备、材料通道门到户外，如此经过交叉污染过衣服、鞋套、帽子再次无任何方法又进入洁净室，会造成洁净室交叉污染。
5.5.2.5 在设备、材料搬运期间应尽可能避免让步接收可能出现环境扰动，对人员、设备、材料净化管制应严格进行控制。一定要严格控制污染物扩散，尤其是交叉污染现象，不然会有高效过滤器（HEPA）污染损失，和额外洁净清理费用。
5.5.2.6 以下图所表示，在洁净室同意入口处设置洁净缓冲/管制间，任何进入洁净室内物品必需经过缓冲间。

5.5.2.7 物品进入洁净室步骤。
室外预清洁→传入缓冲区→缓冲区内最终清洁→传入洁净室内
þ 首先，室外、缓冲间（或临时缓冲走廊）、洁净室内各有一支搬运组（共三组）候命，这三组人员依据各自环境身着不一样服装：室外身着一般工作服，缓冲间内身着清洁服装并穿戴鞋套，洁净室内身着完整齐净服，带有口罩和手套等，这三组人互不能进入其它人工作区域。
þ 当有设备、物品需要运输时，首先室外组人员对物品进行预清洁，然后打开缓冲间室外侧门（或设备预留进出外门），将物品传入缓冲区。必需确保，在打开缓冲间室外侧门（或设备预留进出外门）时，洁净室侧门处于关闭状态。
þ 缓冲区（或临时缓冲走廊）那组人员对物品进行最终清洁，并用洁净洁净布检测合格后，打开洁净室侧门，将物品传入洁净室内。如此才规范完成了物品传送和清洁过程。
5.5.2.8 设备搬入完成并就位后，立即清理设备区域杂物、拆除隔离防护方法、恢复活动洁净围护板，并对设备搬入区域及周围区域进行根本清扫和清洁，使满足洁净。
5.5.2.9 拆除隔离防护方法应注意控制避免交叉污染，恢复活动洁净围护板应确保围护结构密闭性，密封压条要确保有效密封，胶密缝应恢复严密平整。
5.5.2.10 小型工器具搬入管理需要满足物流管理要求。
5.5.2.11 大型工器具搬入管理可参考工艺设备搬入管理要求实施。
5.5.2.12 设备本身清扫和清洁由生产部门及保养部门进行要求编制及实施，但其可靠性必需满足洁净要求。
5.5.2.13 设备和大型工器具退出和搬入管理类似，也应事先明确运输路线，清除设备运输通道上障碍物，包含对活动洁净围护板拆卸，并作好隔离防护方法，尽可能避免破坏洁净区域环境；若设备退出可能对生产造成污染，应提前安排局部停产配合设备退出。
5.5.2.14 设备和大型工器具退出后，立即清理设备区域杂物、拆除临时隔离防护方法、恢复活动洁净围护板，并对设备退出区域及周围区域进行根本清扫和清洁，使满足洁净。
5．6 洁净室清洁、清扫和灭菌管理制度
5．6．1洁净车间及洁净车间走廊清洁操作程序见下表：

5．6．1-（A）洁净车间清洁操作程序
工具
吸尘器、防静电尘推、长软管、小毛刷、簸箕、
防静电尘推布头、伸缩杆、梯子、防静电去尘布
耗材
防静电去尘剂、防静电清洁剂。
清洁
部位
1、 车间墙；
2、 门窗、文件柜、地面
具
体
操
作
方
法
1、  用伸缩杆配合去尘布，自上而下，进行墙体清洁，对污染较重局部用去尘布沾取少许纯防静电清洁剂擦 ，用去尘布揩拭洁净。
2、  用伸缩杆不方便局部，应用梯子按同上操作方法清洁墙面（如柜子上方）。
3、  墙面清洁完成后，用吸尘器加软管吸收车间地面粉尘，吸尘器应置车间走廊上，软管进车间，吸尘扒头应从左到右，先远后近区域进行吸尘，吸尘区域不能有间隔，以免漏吸（换鞋套）。
4、  吸尘完成后，用尘推根据吸尘操作方法进行，局部污染较重地方应用去尘布沾取少许纯防静电去尘剂，用湿去尘布清洁，然后用干防静电去尘布揩干。
5、  门窗内侧、柜子等附件清洁用去尘布配合防静电清洁剂先上后下进行清理。
6、  整理工具，定时将吸尘器尘袋更换（地点：车间外）。
7、  车间内须回收废料放置在防静电车上，从车间西门运至成品库门口（通知外围保洁员接应），并分类集中至成品库内。
8、  车间垃圾具体清理程序见后附文件。
备注
以上所用工具及耗材均应符合威世企业要求要求。

5．6．1-（B）洁净车间走廊操作程序
工具
防静电尘推、擦地机、吸水器、长软管、扫帚、梯子、防静电去尘布、防静电尘推布头
耗材
防静电蜡、防静电清洁剂、防静电去尘剂
清洁
部位
1、墙面；2、门窗；3、消防设施；4、地面
具
体
操
作
方
法
1、A)用伸缩杆配合去尘布，自上而下，由左向右，进行墙体清洁，对污染较重局部用纯防静电清洁剂，用去尘布揩拭洁净。
B)用伸缩杆不方便局部，应用梯子按同上操作方法清洁墙面；对于石膏墙墙体用吸尘器自上而下吸收浮尘。
2、用去潮尘布配合防静电清洁剂先上后下，由左至右进行清理。
3、用无尘布由上侧、外侧及内面全部擦拭洁净，整理好消防设备并检验有没有损坏，完好后把门关闭；
4、用防静电尘推由一侧，依次推尘清洁。
打蜡程序
用起蜡水先行起蜡，用吸水机吸净残蜡，用清洁拖布脱水后拖净地面，等地面根本风干，再打防静电地板蜡（具体方法和步骤详见5．6．2条）。
备注
以上所用工具及耗材均应符合企业要求要求。正在清洁区域应设置标志牌，且清洁工作不得和威世职员正常工作冲突。

5．6．2 地面打蜡方法和程序
5．6．2．1 需要准备机器和工具、清洁剂：
þ 洗地机；吸尘吸水机；抛光机；大面积作业需配置自动洗地机
þ 拖把、蜡拖、拖把扭干器、水推
þ 除蜡剂、中性多功效清洁剂
þ 除蜡垫（黑色）、清洁垫（红色、白色）、抛光垫（白色）
5．6．2．2 假如地面已经打过蜡，且蜡面已失去光泽或已经磨损出现斑驳和脱落，在打蜡前就需要对洁净室地面优异行除蜡。
除蜡方法及步骤以下：

用拖把将除蜡剂均匀涂在蜡表面，作用5分钟后看到乳白色泡沫越来越多，就能够用装有除蜡垫洗地机清洗地面
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用洗地机清洗地面直至看不到蜡层，假如蜡层较厚，一次可能除不洁净，需要再用除蜡剂除第二次，用吸水机将水吸干
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用拖把和清水将地面拖试洁净，一定要多拖拭几遍，确保地面不再含有除蜡剂残液，以免影响重新打蜡效果
5．6．2．3 假如地面没有打过蜡，可直接用兑有多功效清洁剂溶液（按1：40百分比添加），用装有洗地垫洗地机清洗地面，然后将地面拖拭洁净，待地面完全干燥后开始打蜡。
5．6．2．4 打蜡程序
准备：
将适量封地蜡倒入拖把扭干器中，将蜡拖用水湿润并扭干。
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根据由边向内由里而外标准，让蜡拖按∞形运行，注意蜡拖每次沾蜡不可太多也不可太少，均匀涂抹，不要漏抹。
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30分钟后确定安全干燥后再按一样做法打面蜡2遍。干燥标准：不沾手，不粘脚。
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完全干燥后可进入抛光程序：应选择转速1500转以上抛光机和20#白色抛光垫进行抛光，抛光时要慢慢运行，抛光后此时亮度没有达成最亮，二十四小时后再做一次抛光其亮度可达成90。

5．6．3 洁净车间垃圾清理程序
5．6．3．1 保洁人员在外运洁净区内垃圾前，通知保安人员，在保安人员监督下实施将洁净区内垃圾外运操作。
5．6．3．2 车间内保洁员从车间内把装有废料垃圾桶放置专用防静电车，从车间西门运至原材料库门口。
5．6．3．3 将废料倾倒至原材料库门口临时垃圾站垃圾桶内。
5．6．3．4 通知外围保洁员接应。（注：天天早上8点清倒一次，下午4点清倒一次）
5．6．3．5 外围保洁员将车间内垃圾桶拉出原材料库内侧门，将垃圾清倒入已准备好周转垃圾桶内。
5．6．3．6 车间内垃圾桶重新进入车间内，必需清洁洁净后（包含垃圾桶底部车轮），再放回指定位置。
5．6．3．7 外围保洁员把周转垃圾桶运至车间外垃圾站进行清理。
5．6．3．8 洁净车间垃圾清理注意事项
& 需倾倒垃圾时，原材料库内门和外门不能同时打开。
& 外围人员不能进入车间，车间人员不能走出室外。
& 车子不能里外穿行，只能倒运车箱。
5．6．4 洁净室清洁、清扫和灭菌管理制度参考文件：
负责清洁服务部门，应依据企业实际情况制订清洁服务计划，明确具体清洁内容、周期、频次和对应质量标准。本文件未作细节描述处，可实施文件《FSD-SOP-19 清洁服务内容及质量标准》及《FSD-SOP-21 清洁工作化学用具管理要求》要求。
5．7 洁净室洁净室安全管理
洁净室安全管理，已经包含在《FSD-SOP-8-2 消防火警处理规程》内，需要严格实施。
6．0 版本更改统计
版本
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更改章节
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00
-05-24

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