实验七--压阻式压力传感器的压力测量实验.doc

(完整版)实验七 压阻式压力传感器的压力测量实验实验七 压阻式压力传感器的压力测量实验一实验目的了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。二基本原理扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条，接成电桥。在压力作用下根据半导体的压阻效应，基片产生应力，电阻条的电阻率产生很大变化，引起电阻的变化，我们把这一变化引入测量电路，其输出电压的变化反映了所受到的压力变化。三需用器件与单元压力源（已在主控箱)、压力表、压阻式压力传感器、CGQ-002压力传感器实验模块、流量计、连接导管、电压表、直流稳压源4V、15V。四实验步骤储气箱 压缩泵 220AC K3 调气阀 快速接头 三通 压力传感器 显示单元 处理电路 低压端 高压端 主控箱内部 外接部分 流 量 计 单相阀 图2-1 压阻式压力传感器测量系统 压力显示1根据图21连接管路和电路，主控箱内的气源部分，压缩泵、贮气箱、流量计已接好。将硬管一端插入主控板上的气源快速插座中（注意管子拉出时请用手按住气源插座边缘往内压，则硬管可轻松拉出）。另一端软导管与压力传感器接通。这里选用的差压传感器两只气咀中,靠右边一只为高压嘴，另一只为低压嘴。本实验模块连接见图22，压力传感器有4端：3端VS接+4V电源，1端接地线，2端为Vo+，4端为Vo- 。1、2、3、4端顺序排列见图2-2.图2-2 压力传感器压力实验接线图2实验模块接入模块电源15V(从主控箱引入），检查无误后,合上主控箱电源开关。实验模块上Rw2用于调节零位，Rw1可调节放大倍数，按图2-2接线，模块的放大器输出Vo2引到主控箱电压表表的Vi插座.将显示选择开关拨到20V档,反复调节Rw2（Rw1旋到满度的1/3)使电压表表显示为零。3先松开流量计下端进气口调气阀的旋钮，开通流量计。4合上主控箱上的气源开关，启动压缩泵，此时可看到流量计中的滚珠浮子向上浮起悬于玻璃管中。5逐步关小流量计旋钮，使标准压力表指示某一刻度。6仔细地逐步由小到大调节流量计旋钮，使在520KP之间每上升1KP分别读取压力表读数,记下相应的电压表值列于表2-1。表2-1 压力传感器输出电压与输入压力值P(KP)VO（p-p）7计算本系统的灵敏度和非线性误差。8如果本实验装置要成为一个压力计，则必须对电路进行标定，方法如下:输入10KPa气压，调节Rw2（低限调节）使电压表显示1.00V，当输入20KPa气压，调节Rw1(高限调节）使电压表显示2.00V，这个过程反复调节直到足够的精度即可。五思考题利用本系统如何进行真空度测量？