单靶镀膜工艺操作规范模板.doc
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1、单靶镀膜工艺操作规范1. 适用范围2. 本规程要求了单靶镀膜操作技术要求和操作步骤。3. 技术要求2.1铝靶直径60mm;2.2压缩空气压强应达成0.40.6Mpa;2.3镀膜操作室室温小于35,相对湿度小于70%RH;2.4镀室内清洁,无灰尘、异物。4. 操作步骤3.1工作准备3.1.1打开压缩空气阀门,检验空气压强是否达成0.40.6Mpa。3.1.2打开冷却循环水阀门,同时检验通水情况是否良好,各水管接头和阀门有无泄漏。3.1.3检验氩气、氮气两种气体联接情况,看接头是否有泄漏,分别打开氩气、氮气总阀。3.2开机3.2.1开启本机电源。3.2.2将机箱控制面板上电源开关置于“开”位置,手
2、动状态下,打开“机械泵”,延时1分钟后,压差阀自动打开,按下“前级阀”按钮,当电离计显示数值低于8Pa时,开“机械泵扩散泵”,扩散泵加热。扩散泵加热温度超出160后,方可进行正常操作。3.2.3缓慢调整氩气、氮气减压阀,得氩气、氮气低压表读数控制在0.1-0.2MPa之间。3.2.4打开质量流量计显示器电源开关。3.2.5打开计算机电源,输入工艺卡片中要求工艺参数。3.2.6打至 “放气”按钮,放完气后打到“停”,然后打开镀室门。3.3装管3.3.1打开转架电源开关,将合格内管插入转架插杆。装管时,预先戴好一次性手套,外层再戴上洁净细纱手套,戴好以后不许触摸其它物品,如门、车把、桌椅等。3.3
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