安全验收评价研究报告模版.doc

XX项目安全验收评价汇报模版
1编制说明
1.1评价依据
1、 中国主席令第70号《中国安全生产法》
2、 劳动部令第3号《建设项目（工程）劳动安全卫生监察要求》
3、 劳动部劳安字[1992]1号《建设项目（工程）职业安全卫生设施和技术方法验收措施》
4、 国家安管局安监管技装字[]37号《安全评价通则》
5、 国家安管局安监管技装字[]79号《安全验收评价导则》
6、 天津市安管局津安监管字[]84号《天津市安全评价管理措施》
7、 SJ30002-92《电子工业职业安全卫生设计要求》
8、 国家、地方、行业相关劳动安全法规、要求、规范和标准（详见附件1）
9、 建设单位提供《中芯国际集成电路制造（天津）项目》安全验收相关资料。
10、 中芯国际集成电路制造（天津）委托天津泰山安全科技进行《中芯国际集成电路制造（天津）项目》安全验收评价协议书。
1.2评价目标及评价范围
1、 评价目标及评价内容
1） 安全验收评价目标是落实“安全第一，预防为主”方针，为建设项目安全验收提供科学依据，对建设项目未达成安全目标系统或单元提出安全赔偿及补救方法，以利于提升建设项目本质安全程度，满足安全生产要求。
2） 安全验收评价内容
① 检验建设项目中安全设施是否已和主体工程同时设计、同时施工、同时交付生产和使用；评价建设项目及和之配套安全设施是否符合国家相关安全生产法规、要求和技术标准。
② 从整体上评价建设项目标运行状态和安全管理是否正常、安全、可靠。
2、 评价范围
依据本项目安全验收评价技术服务协议书要求内容，经和建设单位约定：对中芯天津芯片生产厂房、化学品库、污水处理站和变配电站、锅炉房、油库、空压站、冷冻站、水泵房设备、设施进行劳动安全验收评价。
因为企业对工艺及产品生产技术保密且芯片生产线工艺设备自动化程度高，人、机分离，安全性能高，据同行业生产实践，发生事故可能性极小，对建设项目标总体劳动安全验收评价结果影响较小，应企业要求，在芯片生产厂房劳动安全验收评价中，在危险危害原因辨识分析基础上，仅对其危险性大芯片生产辅助设施进行劳动安全验收评价。
3关键危险危害原因分析
1、 物质危险危害
芯片生产过程中，使用多个化学物品，厂区内设有储存这些化学物品化学品库，化学品种类达80种。根据GB13690-92《常见危险化学品分类及标志》要求中对常见危险化学品，按其关键危险特征进行分类，该项目中使用危险化学品有压缩气体和液化气体，易燃液体、氧化剂、有毒品、腐蚀品等类别，这些物质关键危险危害为：
1） 有毒有害气体（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏和空气混合遇明火易燃爆，有可在空气中自燃，有可致人中毒、冻伤、窒息、直至死亡。
2） 易燃液体（如丙酮、异丙醇等）如泄漏、挥发和空气混合形成爆炸气体遇明火、热源可引发怒灾爆炸。
3） 氧化剂（如过氧化氢等）如泄漏和有机物还原剂、易燃物接触可引发火灾爆炸。
4） 腐蚀品（如酸类、碱类等）如泄漏和人体接触可引发化学灼伤。
这些危险有害原因关键物质理化特征，和化学危险品贮存、使用危险性分析详见化学品库单元.
2、 设备设施固有危险危害
生产设备多，且特种设备种类、数量多。电气设备有110kV和10kV变配电站变压器、配电柜、和各厂房内用电设备及控制系统；特种设备有燃气锅炉、空压设备、冷冻设备、压力容器及多个气瓶和厂内机动车辆；储存设备有储气罐、液氮罐、液氩罐、贮油设备、硫酸罐、氢氧化钠罐等。其关键危险原因有：
1） 火灾爆炸
油罐如本身缺点或安全装置失效或管理不善出现泄漏，遇明火可引发怒灾、爆炸危险。
锅炉使用燃料是天然气，天然气为易燃易爆气体，一旦出现泄漏遇明火可引发怒灾。当日然气和空气混合浓度达成爆炸极限时遇点火源可引发爆炸危险。
2） 物理爆炸
锅炉、压力容器（蒸发器、冷凝器、储气罐）设备、气瓶等，如设备有缺点或超压安全附件失效或使用不妥，可引发物理爆炸。
3） 触电危险
变配电设备、电气线路、用电设备如产品质量不佳、绝缘性能不良或因运行不妥、机械损伤、维修不善造成绝缘老化破损或设计、安装不规范，安全净距不足，或违章操作，均可能引发触电危险。如出现短路、过载、接触不良等，也可引发电气火灾危险。
4） 静电危害
如火灾、爆炸危险环境内设备、管路防静电设计或施工不规范，或在使用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生静电电荷不能立即消除，或使用有火花工具、穿用不防静电鞋、服装而产生静电火花，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。
5） 高空坠落危险
凡2m以上各类高空作业点位，其梯、台、道、护栏等常规性防护方法不符合规范要求或损坏，可引发高空坠落危险。
6） 车辆伤害
厂内各类运输车辆如车辆本身缺点，或制动、音响、灯光等失效，道路情况不符合要求要求或误操作可引发车辆伤害。
7） 机械伤害
空压站、冷冻站、水泵房、锅炉房旋转、传动设备如无防护罩或损坏，可引发机械伤害。
8） 灼伤
高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。各类使用激光源、红外线光源设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不妥，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。
9） 噪声危险
空压设备、泵类、风机等设备在运转时可产生噪声危害。

4评价方法选择和评价单元划分
4.1评价方法选择
结合本项目建设内容及已做劳动安全预评价实际，安全验收评价采取以下两种方法：
1、 安全检验表（SCL）
依据国家、行业、地方相关法规、要求及技术标准，针对本工程存在危险、危害原因，编制安全检验表，以查验项目在设计、施工、交付生产使用时，所采取安全防护设施及技术方法全方面性和可靠性，并据此提出改善方法及提议。
2、 教授现场问询，观察法（邀请企业专业技术人员参与、配合）。
4.2评价单元划分
依据已确定评价范围及建设内容实际，本项目标安全验收评价划分以下评价单元。
1、 总平面部署及常规安全防护设施安全评价单元
2、 生产工艺及危险化学品使用安全评价单元
3、 化学品库安全评价单元
4、 超纯水制备设施系统安全验收评价单元
5、 锅炉房安全验收评价单元
6、 油罐区、冷冻机房、空压站、水泵房安全评价单元
7、 污水处理站安全评价单元
8、 供配电安全评价单元
9、 安全生产管理安全评价单元

5.1.2安全检验表
依据GB50187-93 《工厂企业总平面设计规范》、SJ30002-92《电子工业职业安全卫生设计要求》、GB4387-94《工业企业厂内铁路道路运输安全规程》、GBJ16-87《建筑设计防火规范》()、GB50074-《石油库设计规范》、GB2894-1996《安全标志》、GB16179-1996《安全标志使用导则》等相关法规、标准及现场情况编制总平面部署及常规安全防护设施安全检验表，检验项目及内容见表5.1.2-1。
总平面部署安全检验表 表5.1.2-1
序号
检验项目及内容
依据法规
检验结果
备注
1
厂址选择

1.1
厂址选择在全方面考察，其自然和社会环境应优先选在工程地质、水文、气象条件符合安全卫生要求，交通便利，协作方便，环境较为清洁地域。
SJ30002-92
2.2.2
√
符合要求。
1.2
厂址应在生活区最小频率风向上风侧，避免建在已建工厂烟囱主导风向下风侧。
2.2.4
√

1.3
厂址应含有满足生产、生活及发展计划所需要电源和给排水条件。
GB50187-93
2.0.5
√
满足要求
1.4
厂址应和交通线路、车站、港口顺捷合理联接，厂所区尽可能靠近公路干道。
GB50187-93
2.0.4
√
交通便利。
1.5
地震断层和设防烈度低于九度地震区。
GB50187-93
2.0.11
√
七度设防。
2
总平面部署

2.1
厂区应依据生产、工艺特点按功效分区部署。通常可分为厂前区、关键生产区、辅助生产区、仓库区和动力区。
SJ30002-92
2.3.2
√
按功效分为办公区、生产区、公用工程区、预留区。
2.2
由厂部办公楼、多层厂房、厂区主入口等组成厂前区，宜置于厂区最小频率风向下风侧。
SJ30002-92
2.3.5
√

2.3
布局应满足生产加工过程步骤。
GB50187-93
2.0.11
√
步骤顺畅。
2.4
要求洁净生产设施应部署在大气含尘浓度低、环境清洁地段。洁净厂房部署应符合“洁净厂房设计规范”要求。
GB50187-93
4.2.2
√
符合要求。
2.5
变配电站宜在负荷中心，或靠近关键用户。不受粉尘、水雾、腐蚀性气体影响。对于大容量总降压站，尚应在其周围加设围墙。
SJ30002-92
2.3.15
GB50187-93
3.4.4
√
总降变设在厂区西南角。各10kW变电站靠近负荷中心。
2.6
空压站应在空气洁净地段，避免靠近散发爆炸性、腐蚀性和有害气体粉尘等场所。
GB50187-93
4.3.4
√

2.7
锅炉房宜部署在厂区整年最小频率风向上风侧。
GB50187-93
4.3.7
SJ30002-92
2.3.13
√

2.8
污水处理站应部署在厂区边缘地带，在厂区整年最小频率风向上风侧。应靠近污染源，远离水源构筑物及空调空气入口，四面留有必需卫生防护距离。
SJ30002-92
2.3.16
GB50187-93
3.4.2
√

2.9
火灾危险性属于甲、乙、丙类液体燃料罐区部署，应远离明火或散发怒花地点。
　　和耐火等级为2、3级厂房距离分别为20m、25m，和厂内主干道距离15m，和次干道距离10m。
GB50187-93
4.6.5
GB50074-
4.0.8
∽
油罐区距锅炉房西侧外墙15.2m，距厂内道路6m。
2.10
化学危险品库，应部署在厂区最小频率风向上风侧及边缘地域，应远离火源，并符合国家现行相关防火规范要求，防火间距不应少于30m。
SJ30002-92
2.3.12
√
基础符合相关要求。
2.11
工厂关键建筑物宜呈南北向部署，建筑物方位应确保室内有良好朝向、采光和自然通风条件。
SJ30002-92
2.3.3
GB50187-93
2.0.1
√
条件良好。
2.12
厂区出入口数量不宜少于2个。人流出入口和货流出入口分开设置。
GB50187-93
4.7.4
√
三个出入口，人、物分流。
2.13
厂区应进行绿化，应在道路及围墙沿线植树，空地上种植灌木，乔木和草皮，厂前区部署花坛，水池和厂标、雕型等建筑小品。
SJ30002-92
2.3.20
√

3
厂区道路

3.1
运输线路，满足生产要求，物流顺畅，线路短捷，人流、货流组织合理。
GB50187-93
4.1.8
√
人流、货流组织合理。
3.2
道路和关键建筑物轴线平行或垂直，关键生产厂、仓库区、动力区道路应呈环形部署。厂区尽头端式道路应有足够消防车回转场地。
SJ30002-92
2.3.17
GB50187-93
5.3.1
√
呈环形部署。有回转场地。
3.3
厂区主干线双向行驶路宽≥5m，单向行驶路宽≥3.5m；并有单向行驶标识，且能形成环形通道；人行道>0.75m；沿主干线人行道1.5m。
GB50187-93
5.3.5
5.3.6
√
厂区道路21m、15m、12m、7m。有些人行道。
3.4
职员上下班时间内，人流密集出入口和路段，应停止行驶货运和机动车辆。
GB4387-94
5.1.8
√

3.5
易燃易爆区、储存库区将道路划分为限制车辆通行或严禁车辆通行路段，并设标志。
GB4387-94
5.1.4
×
油罐区、化学品库道路未划分限行路段。无标志。
3.6
厂区道路在弯道交叉路口横净距范围内，不得有妨碍驾驶员视线障碍物。
GB4387-94
5.1.10
√

3.7
厂区道路应设置交通标志。
GB4387-94
5.1.3
×
无交通标志。
3.8
路面平整、路基稳固、边坡整齐、排水良好。
GB4387-94
5.1.1
√
良好。
3.9
有完好照明设施。
GB4387-94
5.1.1
√
完好。
4
常规安全防护设施

4.1
架空平台、走道、钢梯应符合国家现行《固定式工业平台、工业防护栏杆、钢直梯、钢斜梯》等标准要求。凡采取直梯场所，应采取防护方法，相邻两层直梯宜错开设置。
SJ30002-92
2.6.7
2.6.8
√
厂区平台、钢梯基础符合要求。
4.2
厂区多种井、沟应有盖板。
SJ30002-92
2.6.10
√
有盖板。
4.3
道路上部管架和栈桥等障碍物，在干道上净高不得小于5m。
SJ30002-92
2.3.18
√

4.4
凡轻易发生事故危及安全场所，应设置安全标志。必需处尚应设置声光、色或声光结合紧急警告信号。
SJ30002-92
2.9.1
∽
安全标志不齐全，不醒目。
4.5
多种输送气体、液体及其它物料管道，均应按国家及电子工业相关要求涂色。
SJ30002-92
2.9.2
×
未按要求涂色。
4.6
厂房、动力站房安全出口及疏散通道、应设置显著标志。
SJ30002-92
2.9.3
∽
不齐全。
4.7
安全标志涂色，应符合国家现行《安全标志》及《安全色》标准要求。
SJ30002-92
2.9.4
∽
不规范。
5.1.3综合评价分析
1、 危险危害辨识
1） 厂区建（构）筑物如间距小，道路狭窄，路面不平整、不通畅，若人流、物流不能有效分流，车辆无回车场地或车辆刹车、音响、灯光等出现问题，易引发车辆伤害事故。
2） 厂区内丙烷站、化学品库（室），油罐区、110KV变电站等易燃、易爆、易中毒，及要害部位无安全标志，无限行、禁行等交通标志。易造成误入及违章等，引发中毒、燃爆、触电等伤害。
3） 厂区内若坑、孔、井及走台、平台无防护围栏或盖板，直梯、斜梯不符合相关要求全部可引发碰、磕、摔伤和坠落伤害。
4） 厂区内若道路无路标无交通标志，过路工业管路无限高标志，可造成多种车辆随意超速，任其闯越工业管路架设较低区域，易造成车辆交通事故或设备损害事故。
2、 问题和提议
厂区总平面部署依据生产、工艺特点按功效分区部署，能够满足生产加工过程步骤要求，建（构）筑物安全距离基础符合相关要求要求，厂区道路和关键建筑物轴线平行或垂直，关键生产区、库区、动力区道路呈环形部署，能满足消防车通畅和回转要求，厂区多种井、沟有盖板、平台、走台、钢梯基础符合相关标准要求。但仍有部分问题应引发注意。需采取对应方法以消除可能造成事故发生隐患。
1） 油罐区和锅炉房和厂区道路间距未达成GB50074《石油库设计规范》要求。应按油罐区评价单元提议完善其防火防爆方法并控制储油量。
2） 凡轻易发生事故危及安全场所，安全出入口，应设置齐全醒目标安全警示标志。安全标志涂色应符合国家现行《安全标志》及《安全色》标准要求。
3） 厂区工业管路应按GB7231-87《工业管路基础识别色和识别符号》要求，基础识别色应涂刷在管路全长上或在管路上涂刷宽150mm色环或在管路上用基础识别色胶带缠绕宽150mm色环。
基础识别色色环应涂刷在全部管路交叉、阀门和穿孔西侧等管路上和其它需要识别部位。在管路上用识别符号标识管内流体性质、名称和流向。
4） 厂区道路应设置显示道路名称、方向、车辆限速交通标志。在易燃易爆生产区域应依据需要可将部分道路划分出限制或严禁车辆通行路段，并设置标志。
5.1.4评价结论
厂区总平面部署综合考虑有利生产，方便工作要求，各建（构）筑物按功效分区，生产工艺步骤短捷便利，整体布局合理、厂区道路呈环形部署，消防通道通畅、照明完好，人、物分流，并为企业发展留有余地和空间，基础符合GB50187《工业企业总平面设计规范》要求，只要根据检验表和提议内容给补充完善，可为实现安全生产发明更为有利条件。
5.2生产工艺及危险化学品使用安全评价单元
　　　　支援车间危险化学品使用、储存、安全方法情况如表5.2.1-3所表示：
危险化学品使用、储存及安全方法表 表5.2.1-3
序号
储存场
所名称
储存危险化学品名称
气柜数量（个）
安全设施
1
毒性气
体室
砷化氢混合气（AsH3/H2）
1
10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用具专柜、双套管输送，内套管为真空，设侦测器，介质泄漏时，报警。
1.5%锗烷/氢气（GeH4/H2）
1
1%磷化氢/氮气混合气（PH3/N2）
1
5%磷化氢/氮气混合气（PH3/N2）
2
2
易燃气体室
氨气（NH3）
8
10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、氨、氟环境监测报警、消防水喷淋、排风（酸碱性排风系统分开）、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用具专柜。
一氧化碳（CO）
3
二氯硅烷（SiH2Cl2）
1
二氟甲烷（CH2F2）
1
50ppm乙硼烷/氢气（B2H6/H2）
1
氟甲烷（CH3F）
2
100ppmB2H6/N2
1
5% B2H6/N2
2
100ppm乙硼烷/氢气（B2H6/H2）
2
10%氨气/氮气
1
C4F6
1
3
腐蚀性气体室
Cl2
2
10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋(ClF3无)、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用具专柜。
ClF3
2
HBr
2
HCl
11
SiF4
1
4
氧化气体室
NF3
9
10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、酸性排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用具专柜。
N2O
7
30%O2/He
6

5

惰性气体室
1.2%He+N2
1
10%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用具专柜。
C4F8
2
CHF3
1
C2F6
1
CO2
1
CF4
2
CHF3
2
SF6
2
He
1
4%H2/N2
1
6
酸室
HCl CDM
1
设排风系统、搜集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置。
BOE CDM
1
HF CDM
2
NOE CDM
1
HNO3 CDM
1
H3PO4 CDM
1
H2SO4 CDM
2
HF100:1 CDM
1
7
Base Room
（碱室）
NH4OH
1
设排风系统、搜集井、吸收棉、双套管输送内设泄漏报警侦测器，PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。
H2O2
2
SD-1
1
8
溶剂室
ACT940 CDM
1
设溶剂排风系统、搜集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。
EG-01
1
EBR10A
1
1PA-01CDM
1

5.2.2危险危害辨识和分析
1、 火灾、爆炸
各类易燃液体、易燃气体在生产、储存、输送过程中，一旦因设备材质缺点、制造质量差、机械损伤等原因致使设备密封效果不好、包装容器破损和人员误操作，造成物料泄漏，如作业现场通风不良，和空气混和达成爆炸极限，遇有火源可能发生火灾、爆炸；
2、 腐蚀、中毒、化学灼伤
清洗、扩散、光刻、蚀刻等生产区、酸室、Base room、碱室、溶剂室等腐蚀性化学品生产、储存、使用场所内，盛装酸、碱性腐蚀品磷酸、盐酸等设备、容器和输送管路因材质缺点，制造质量差，搬运、使用过程机械损坏、倾翻，造成物料泄漏，如人体接触泄露酸、碱性物质将会引发严重化学灼伤；同时各类腐蚀性气体、毒性气体因盛装气瓶、输送管路、使用设备腐蚀、制造缺点等原因造成泄漏，人接触或吸入有毒、腐蚀性气体，均会造成人员中毒。
3、 物理爆炸
各类压力容器（包含气瓶）、管道，假如设备、管道因材质缺点、设计不合理、制造焊接质量差、腐蚀等使其强度降低和安全阀、压力表等附件失灵等，可能发生容器、管道不能承受设计压力而发生爆炸，造成人员伤亡，设备损坏。
4、 高温灼伤
高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。
5、 激光、红外线辐射灼伤
在各类使用激光源、红外线光源设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不妥，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。
6、 高频、噪声伤害
在离子植入区，使用离子植入机等高频设备；清洗、光刻、蚀刻区使用各类清洗机、蚀刻机、微影机等产生噪声设备，如上述各类设备高频、噪声防护方法不妥或损坏全部会对人员造成物理原因伤害。
7、 高处坠落
当去废溶剂储罐等相对基准面标高超出2m设备进行检验、操作或维修设备时，若未按标准设置钢梯、护栏、平台或设置不完善，作业人员去检验、操作或检修时，稍不慎会发生高处坠落事故。
8、 触电
各类用电设备、照明、配电系统线路保护接零未接或失效，线路绝缘损坏、线路短路等均可能发生触电事故。
9、 电气火灾
电气设备、配电系统未按要求装设漏电保护器、过电压保护等装置或失效，线路绝缘损坏、短路，和防爆场所电气设备、线路、照明不符合防爆要求等均会发生电气火灾。
10、 雷电危害
建筑物防雷设计不合理、施工不规范、接地电阻值不符合规范要求，当雷击建筑物、电力设备、线路等时，会产生雷电过电压，在雷电波及范围内会造成严重损坏建筑物、设备并可能危及人身安全。雷电火花还可能引发易燃易爆物质火灾、爆炸，造成严重生命、财产损失。
11、 静电危害
如火灾、爆炸危险环境内（如：光刻、清洗区、扩散区、可燃气体储藏间等）设备、管路防静电设计或施工不规范，在使用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生静电电荷，不能立即消除，伴随时间延续，静电荷将越聚越多，静电电压逐步升高，当达成一定程度时，发生放电火花；或使用有火花工具、穿用不防静电鞋、服装而产生静电火花等，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。
5.2.3 安全检验表
依据GBJ16-87《建筑设计防火规范》（）、GB50187《工厂企业总平面设计规范》、SJ30002-92《电子工业职业安全卫生设计要求》、GBJ19-87《采暖通风和空气调整设计规范》（）、GB50073-《洁净厂房设计规范》、GB5083-99《生产设备安全卫生设计总则》、GB12801-91《生产过程安全卫生要求总则》、GB2893-《安全色》、GB2894-96《安全标志》、GB15603-95《常见化学危险品贮存通则》、国务院令第344号《危险化学品安全管理条例》等法规、标准、规范编制安全检验表，查验结果详见表5.2.3-1。
生产工艺及危险化学品使用单元安全检验表 表5.2.3-1
序号
检验项目及内容
依据法规
检验结果
备注
1
建筑结构及平面部署

1.1
生产厂房耐火等级不应低于二级。
GBJ16-87
3.2.1
√
均为二级。
1.2
若多层生产厂房耐火等级为二级，其防火分区最大许可占地面积为4000m2。（因有自动水喷淋系统，防火分区最大许可占地面积增加一倍）
GBJ16-87
3.2.1
√
占地面积4000m2。
1.3
有爆炸危险生产厂房（生产车间、易燃气体室、硅烷室等）宜独立设置。
GBJ16-87
3.4.1
√
单独设置。
1.4
有爆炸危险生产厂房（生产车间、易燃气体室、硅烷室等）应设置必需泄压设施，泄压设施宜采取轻质屋顶作为泄压面积。
GBJ16-87
3.4.2
∽
硅烷室屋顶泄爆、生产车间、易燃气体室无泄压。
1.5
硅烷室泄压面积和厂房体积比值（m2/m3）宜采取0.05～0.22，体积超出1000m3建筑，不宜小于0.03。
GBJ16-87
3.4.3
√
约0.3。
1.6
生产车间、易燃气体室、硅烷室等可能散发可燃气体、可燃蒸气厂房应采取不发怒地面。
GBJ16-87
3.4.6
√
环氧地面。
1.7
有爆炸危险该甲乙类厂房不应设置办公室、休息室如必需贴邻部署，应采取一、二级耐火等级建筑物并应采取耐火极限不低于3h非燃烧体防护墙隔开并设置直通室外或疏散楼梯安全出口。
GBJ16-87
3.4.8
√

1.8
厂房结构应满足地震烈度7度设防要求，框架抗震等级二级要求。
GB50187-93
2.0.4
√
7度设防。
1.9
芯片光刻等对洁净度要求较高关键生产厂房，宜部署在厂区最小频率风向下风侧，并在四面留有绿化场地。
SJ30002-92
2.3.6
√

1.10
易燃易爆工作间宜设置在单层厂房内，或设在多层厂房顶层端部。
SJ30002-92
3.6.12
×
除硅烷室单独设置外，均设在多层厂房一、二层内。
2
洁净厂房

2.1
洁净室应设置人员净化、物料净化室和设施。
GB50073-
4.3.1
√
分别设置人员、物料净化室。
2.2
洁净室内噪声值不应大于70db（A）。
GB50073-
4.4.1
√
≤65dB。
2.3
洁净试验室耐火等级不应低于二级。
GB50073-
5.2.1
√
二级。
2.4
洁净室顶棚和壁板应为不燃烧体，且不得采取有机复合材料。
GB50073-
5.2.4
√

2.5
洁净生产和通常生产区域之间应设置不燃烧体隔断方法。
GB50073-
5.2.5
√
用防火墙和防火门分隔。
2.6
洁净区和非洁净区、洁净区和室外相通安全疏散门应向疏散方向开启，并加闭门器。
GB50073-
5.2.9
√

2.7
洁净厂区应设置事故排风，洁净室事故排风换气次数应采取10～20次/h，事故排风宜由常见排风系统和事故排风系统共同确保，事故排风装置开关应分别设在洁净室内和室外便于操作地点，事故排风应和报警装置联锁。
SJ30002-92
7.0.10
√
设置排风系统，常开；特殊气体室室外设手动开关，设自动联锁报警。
3
作业环境及工艺、设备安全装置

3.1
作业环境

3.1.1
车间内人工运输通道宽度必需≥1.0m。
SJ30002-92
3.1.3
√
2.5m
3.1.2
设备设施之间应留有对应操作空间、检修空间、巡回检验及安全通道。
SJ30002-92
3.1.4
√

3.1.3
洁净厂房应设置供人员疏散用应急照明，并应设置指明应急安全出口疏散标志。在专用消防出口处应设红色应急照明灯。
SJ30002-92
7.0.14
√
设应急照明、疏散标志。
3.1.4
易燃易爆厂房人员疏散，通道应保持通畅，并应设置应急照明，疏散指示标志及排烟方法。
SJ30002-92
3.6.13
√

3.1.5
钢梯、平台所设置护栏设计应符合相关标准。
GB4053.1～3-93
GB4053.4-83
第2.5.2条
×
废液搜集罐处平台护栏不符要求。
3.2
电子、化学工艺安全

3.2.1
高能离子注入机应设在人流最少区域内，并应有符合国家标准要求接地及对应电磁波、X射线防护方法。
SJ30002-92
3.2.3
√
设置于人流最少东侧，采取隔离防护方法。
3.2.2
联动生产线应有紧急制动装置或联锁装置，危险部位应设置醒目标警告标志；散发毒气工序应设置排风；带电作业工序需装设自动保护装置。
SJ30002-92
3.2.5
√
设置紧急制动，设置警告标志及排风系统，带电作业设置接地故障、短路故障保护装置。
3.2.3
使用酸、碱或有机溶剂进行清洗设备，必需装设局部排风系统，使用有毒溶剂进行清洗设备应采取密闭方法；凡使用电气化学清洗设备，应有良好接地。
SJ30002-92
3.3.1
√
均设置。
3.2.4
生产车间内应设置紧急冲淋装置及洗眼器。
SJ30002-92
3.3.6
√
设置洗眼、淋浴器。
3.2.5
对于存在激光辐射设备，应采取屏蔽等防护方法。
SJ30002-92
9.1
√
屏蔽光源保护方法。
3.3
防火、防爆、防中毒

3.3.1
输送易燃易爆介质管道、管件、阀门、泵连接处必需严密，管道系统应采取接地方法。
SJ30002-92
3.6.8
√
管道系统经过管架接地。
3.3.2
易燃工作间设备、电气线路，开关、灯具等，均应采取对应等级防爆型产品。
SJ30002-92
3.6.11
√

3.3.3
电气设备金属外壳应和PE线可靠连接。
GB50169-92
2.1.11
√

3.3.4
氢气、CO和天然气管道不能经过烟道、通风管、配电室和易燃易爆物仓库。
GB50028-93
7.2.10
√

3.3.5
管道应标志介质及流向。
SJ30002-92
2.9.2
√

3.3.6
对有害气体、易燃气体作业区，应采取切实有效防护方法，提升自动化，采取密闭、隔离生产。
SJ30002-92
2.4.5
√
隔离操作、密闭生产。
3.3.7
车间空气中有害物质浓度，必需符合《工业企业设计卫生标准》要求。
SJ30002-92
2.1.5
∽
已做监测，数据暂不能提供。
3.3.8
输送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蚀性气体或液体管道、管件、阀门，其材质、连接方法，必需含有密封、耐压、防腐蚀、防静电等对应方法。
SJ30002-92
2.4.11
√
双套管输送，防腐内涂层。
3.3.9
危险相同生产，宜集中或相邻部署
SJ30002-92
2.5.3
√

3.3.10
对于产生有害、有毒物质厂房，厂房内部应采取便于清扫、刷洗和预防毒物附着和积蓄方法。
SJ30002-92
2.6.5
√
防泄漏搜集采取二次容器，1.1倍容积。
3.3.11
车间内多种明沟，应加设盖板。
SJ30002-92
2.6.10
√

3.3.12
生产过程中工作服易污染、沾染，易经皮肤吸收剧毒物质，洁净度要求严格厂房和车间应设置洗衣房。
SJ30002-92
2.7.2
√
设洗衣房。
3.3.13
凡使用酸、碱或有机溶剂进行化学清洗设备，必需装设局部排风联锁。
SJ30002-92
6.3.12
√

3.3.14
有下列情况之一时，排风不应合为一个系统：
混合后能引发燃烧或爆炸时；
（1）混合后能引发燃烧、爆炸时；
（2）易燃易爆工作间排风和通常工作间排风。
SJ30002-92
3.6.9
√
均设置独立排风。
3.3.15
氢气、煤气管道，在末端、最高点等处应设置放散管，放散管应高出屋顶；放散管上应设阻火器。
SJ30002-92
4.1.6
√

3.3.16
洁净厂房内用于硅烷等轻易自燃气体风管宜采取不锈钢管、排放含酸、碱性气体风管应采取不燃或经过防火处理专用塑料风管或不锈钢风管。
SJ30002-92
7.0.18
√
双层不锈钢、酸碱风管采取ATC玻璃钢涂层。
4
危险化学品使用、输送和管理

4.1
危险化学品应按其类别、性质分类、分堆、分间储存、输送。性质相抵触化学危险品，严禁混放在一起。
SJ30002-92
3.8.3
√
分酸、 碱有毒气体室、硅烷室、易燃气体室等。支援车间分功效区。
4.2
输送危险化学品设备、隶属仪表、器材等，应依据危险介质，采取必需防泄漏、防腐蚀方法。输送腐蚀性较强液体管道，不应敷设在其它管道上方，并不宜连接埋地敷设。
SJ30002-92
3.8.7
√
双层套管内设泄漏检测。
4.3
储存有较强腐蚀性液体设备应设置必需防溢出、防渗漏紧急处理设施。其基础及周围地面应采取防腐蚀处理。
SJ30002-92
3.8.8
√
全封闭输送机组，多个报警联锁装置；周围设置围堰。
4.4
对于输送含有较强腐蚀性液体化学药剂泵、在其填料函或机械密封圈、法兰、阀门易喷射泄漏处，应设置合适安全防护。
SJ30002-92
3.8.9
√
全封闭PLC程控泵组无泄漏。泵为全封闭型
4.5
输送有毒介质设备、管道放空时，应加以搜集或处理，不得任意排放。
SJ30002-92
3.8.10
√
搜集并加以洗涤。
4.6
易燃、易爆车间，应采取易于清洗、撞击或磨擦时不产生火花地面。
SJ30002-92
3.8.11
√
硅烷室、易燃室符合要求。
4.7
有爆炸危险房间（如硅烷室、易燃气体室、生产车间等），应设置泄压方法，安全出口不应少于2个。其中一个直接对外，不超出100m2房间可设一个出口。
GBJ16-87
3.5.1
∽
硅烷室设泄压其它无，安全出口均不少于2个。
4.8
危险化学品使用场所应设置通讯、报警装置，并确保在任何情况下均处于正常使用状态。
危险化学品安全管理条例
第18条
√
设置应急通讯、自动、手动报警装置。
4.9
应在危险化学品作业场所设置抢救设施，并提供给急处理方法。
工作场所安全使用化学品要求
第17条
√
设置应急用具柜，提供处理方法。
4.10
使用单位应对盛装、贮存危险化学品设备，采取颜色、标牌、标签等形式，标明其危险性。
工作场所安全使用化学品要求
第19条
√
储存柜上全部有标识。
4.11
丙酮、双氧水等氧化剂不得在操作岗位周围混合贮存，氧化剂应单独存放。
GB15603-1995
6.7
√
单独存放。
4.12
废弃、过期化学危险品及使用过包装容器必需妥善保管，不得随意抛弃，依据危险废弃物处理标准进行处理。
相关加强化学危险物品管理通知
√

4.13
使用危险化学品，在天津市相关主管部门办理了登记手续，并取得使用许可证。
市安监局、市经委相关文件要求
∽
正申办。
4.14
相关领导和从业人员必需接收法律、法规、规章和安全知识、专业技术培训，经考评合格，方可上岗作业。
《危险化学品安全管理条例》
第四条
∽
已组织，还未培训。
5
有毒气体控制装置

5.1
砷烷、氯气、氨等有毒、易燃、易爆气体钢瓶柜，离子刻蚀设备、离子注入机等使用有害气体作业点，应设事故排风装置。
SJ30002-92
6.3.16
6.3.23
√

5.2
使用砷烷、硅烷、氨等有毒工作间，宜设报警装置及事故排风。报警装置宜和生产设备、操作阀联锁，不工作，亦应定时进行排风。
SJ30002-92
6.2.9
√
设置报警联锁装置及事故排风。
6
电气

6.1
电气装置采取接地故障保护时，应做总等电位联接。
SJ30002-92
12.2.4
√
等电位连接。
6.2
检测和控制仪表电源和气源，停电或停气可能使生产、动力设备造成重大事故时，必需有