单晶制绒工艺文件A0.doc

(完整版)单晶制绒工艺文件A0单晶硅制绒工艺文件目录1.目的42.适用范围43。职责44。 制绒工艺44.1 制绒目的44.2 工艺原理44。2.1 碱制绒原理44.2。2 HCl酸洗作用54.2。3 HF酸洗作用54。3 工艺流程54.4 操作注意点64。4。1开包和插片注意点64。4.2 数量校对64。4.3 抬花篮架注意点74。4.4 配液和加液注意点74。4。5 手动操作的时候注意点74.5 工艺参数75. 异常处理85.1白斑85.2 发白85。3 小雨点85.4 水纹95。5 发亮96. 检验卡片107。 制绒工序控制点118. 设备维护标准128.1 换槽维护标准128.2 每周一大维护标准128。3 大维护周期128.4 制绒辅助用品的清洗与维护129. 安全规范131.目的确保制绒工艺处于受控和稳定的状态。2。适用范围适用于本公司单晶制绒工序。3.职责本文件由工艺部负责制定，更新和修订，由工艺主管监督并保证如实执行，工艺部具体执行。本文件的必须经过工艺部的签字认可并备案，方可交付执行.4. 制绒工艺4。1 制绒目的4。1.1 去除硅片表面污染和损伤层。 4.1.2 在硅片表面形成金字塔,减小反射率.4。1。2 为扩散准备一个良好的基底。4.2 工艺原理4。2。1 碱制绒原理在低浓度NaOH水溶液中，硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。NaOH作用:腐蚀硅片，与硅反应. 化学反应方程式:Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2.Na2SiO3作用：减缓反应，起到缓冲剂的作用IPA作用：降低溶液的表面张力，起到减小气泡、消泡和调节金字塔大小的作用.4.2.2 HCl酸洗作用利用HCL的酸性和Cl的络合能力去除硅片表面残留的金属离子.4.2.3 HF酸洗作用去除硅片表面的二氧化硅氧化层，把硅羟基转变为硅氢键,使硅片表面转变为疏水性,从而去除由水层带来的污染。4.3 工艺流程单晶制绒工艺流程图过程检验开包检验 不合格 合格 插片1号预处理槽 2号QDR清洗槽6号、7号制绒槽3号、4号制绒槽5号QDR清洗槽8号QDR清洗槽9号混酸槽10号OF槽11号混酸槽 12号QDR清洗槽13号慢提拉槽14号烘干槽不合格质检异常处理合格转入扩散工序4.4 操作注意点4。4.1开包和插片注意点4。4.1。1用美工刀时，深度不能超过包装盒的厚度，防止刀片将硅片划伤。4.4。1。2整个插片过程中，禁止裸手与片盒接触,避免片盒与衣物接触；4.4.1.3双手须戴PVC手套,手指上需套手指套，手指禁止接触硅片表面;4。4.1。4手套须洁净、无破损、无汗迹，每插1000片硅片需更换手套；4.4。1。5片盒需保持干净，不允许贴标签.4。4。1.6插片过程中，须将有崩边、严重线痕、翘曲、油污片、原损片（穿孔、缺角、隐裂等）、明显偏厚或偏薄等不合格硅片挑出(除包装盒上写明不合格硅片类型外）。具体标准,参考原硅片来料检验标准。4。4.2 数量校对插完一个包装盒内的硅片后，核对硅片的数量是否与泡沫盒盖上标示的相符合。插片具体操作，参考制绒插片操作工艺规范4.4.3 抬花篮架注意点需双人双手抓住花篮架抬，防止花篮架变形.严禁单人操作!4.4.4 配液和加液注意点 在预清洗槽和制绒槽初始配液跟加液过程中，操作员务必佩戴PVC手套跟口罩，佩戴手套不能露腕以免药液溅出伤害身体.在混酸槽初始配液补液过程中，操作员必须佩带橡胶手套、3M防毒面具、橡胶防护围裙等劳保用品.加液过程中一定要缓慢细心，禁止将液体溅出.配液具体操作，参考配液操作规程4.4.5 手动操作的时候注意点4。4.5。1 机械臂手动操作前一定要在点动状态下恢复原点4.4。5.2 机械臂脱钩时一定要注意对应槽子的槽盖处于打开状态4.4.5.3 机械臂在慢提拉槽脱钩时一定要确认慢提拉机械臂要在高位的状态4。5 工艺参数NaOHIPANaSiO3H2O温度时间补液1号槽8L-加至高液位70180sIPA：4L/10篮2,5 , 8号槽-加至高液位室温180s每班换液3，4，6,7号槽2000g10L1000g加至高液位-881200sNaOH： 220g/篮IPA：2L/篮-9,11号槽HCl 4LHF 8L 加至高液位室温100s每班换液10，12号槽加至高液位-室温100s每班换液-13号慢提拉槽-加至高液位-6560s每班换液14号槽-加至高液位80180s每班换液-纯水槽-加至高液位88-5. 异常处理5。1白斑对策：适当提高氢氧化钠的浓度（手动补加100-200g的氢氧化钠)5。2 发白对策:适当提高氢氧化钠的浓度（手动补加100-200g的氢氧化钠）5。3 小雨点对策:在制绒槽中手动补加一定量的IPA（1L2L）5。4 水纹水纹对策： a. 可以将制绒温度适当降低1-2度。b。 在制绒槽中手动补加一定量的IPA（1L-2L)5.5 发亮对策：a。 适当减小NaOH的补液量(可以尝试降低50g左右)b. 适当增加IPA6。 检验卡片检验卡片产品名称单晶硅太阳电池名称碱制绒工作地制绒间工序号1来自何处材料库交往何处扩散序号检测内容及技术要求检测方法检验器具全检抽检备注名称规格1表面清洁度目检日光灯2003自检要求表面无明显的沾污物、指纹和划痕2绒面状况目检金相显微镜10402001自检要求角锥体大小均匀，覆盖率在95以上3硅片重量称量电子台秤0。01g2001自检要求减少重量控制在0.5g0.8g之间4反射率不大于15。2%仪器测量D8反射仪0。1自检7. 制绒工序控制点工序控制点操作指导卡电池类型单晶硅太阳电池编号碱制绒工作地制绒间工序号1工序名称制绒控制点编号TXT1设备名称及型号中联科利制绒机工装名称及编号工序因素控制序号控制项目及内容控制方法检 验 器 具检查频次名 称规格精度1腐蚀温度:=2监控温度水银温度计11次/天控制程序：1 腐蚀过程控制1。1 按照控制因素的相应检查要求进行检查调整，使各控制因素稳定在控制界限值之内，并作好记录。1。2 投片进行生产。1。3 按照质量特性值和技术要求进行检查、记录。若发现质量特性值不符合规范要求，应按照本程序1。1条进行检查调整，并报告工艺师。2 工艺状态控制2.1 按照第1条进行过程控制不能保证产品质量特性值和技术要求时，应当进行工艺状态诊断,查明原因后，提出调整试验方案报告。2。2 工艺状态的调整应由工艺师出具书面报告，经主管领导批准后方可进行。2。3 工艺状态的调整试验应有试验记录，试验完成后应有试验报告。3 化学试剂、气体源代用，更换供应厂商的控制3。1 当使用新的供应厂商提供的化学试剂时,必须有材料质量检验合格证，并且必须先做工艺应用试验，试验完成后应有记录和报告。3。2 应用试验报告证明能够满足工艺技术要求和产品质量特性要求的，经质量管理部批准，可用于生产。8. 设备维护标准8.1 换槽维护标准A 维护范围：清洗槽内壁、底板，清洗槽四周，设备表面，及慢提拉架。B 具体方式：用纯水清洗上述各模块8。2 每周一大维护标准A 维护范围:上下料台、清洗槽内壁、底板，清洗槽四周，设备表面,慢提拉架及挡板下加热器，设备窗户等。B 具体方式:用纯水清洗上述各模块8.3 大维护周期每周一维护一次。8。4 制绒辅助用品的清洗与维护8。4。1 花篮和花篮框对于新进制绒花篮，根据工艺要求进行预清洗。预清洗流程：将制绒槽加水至正常液位，加入NaOH=1500g，IPA=8L，每个制绒槽中放46个花篮，对制绒槽进行加热（设定87），恒温维持2h后，停止加热后浸泡1h后，该花篮方能正常上线使用.所有制绒花篮，如有横挡处严重变色、有细小裂纹或经过焊接的，全部剔出；9. 安全规范9。1 进入制绒车间员工须穿戴好个人工作服、工作帽、防静电工作鞋、口罩.9。2 员工头发不得露于工作帽外，在硅片附近员工口罩须戴过鼻梁.9.3 开始工作前,员工须检查PVC手套的气密性，戴好白色作业手套、PVC手套。9.4 员工不得直接用手接触硅片表面。当员工装原始硅片及倒出制绒后硅片时，可用手拿取硅片两侧，而不得用手直接接触硅片表面。9.5 设备补充氢氟酸人员与手工操作人员须按车间规定穿戴好个人耐酸碱防护服、耐酸碱手套、耐酸碱靴子及防护面罩。9.6 酒精桶及酒精清洗槽，在使用完后必须盖好盖子。9。7 酒精及IPA类易燃、易爆化学品需远离电源等装置。