常用气体激光器讲解.ppt
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1、 二氧化碳激光器二氧化碳激光器 属分子气体激光器属分子气体激光器一、工作原理一、工作原理 CO2分子有三种不同的运动形式:1 1.对称振动对称振动(b b)2 2.形变振动形变振动(c c)3 3.非对称振动非对称振动(d d)1 1、CO2分子运动分子运动方向相反方向相反.1.CO1.CO2 2气体是气体是工作物质工作物质,辅助气体有,辅助气体有N N2 2、HeHe、XeXe和和H H2 2等;等;2.N2.N2 2在气体中起在气体中起能量转移能量转移作用。作用。N2N2分子受电子碰撞的分子受电子碰撞的概率很概率很大大,放电中使大量,放电中使大量N2N2处于处于亚稳态亚稳态。通过近。通过近
2、共振碰撞共振碰撞把内能转把内能转移给移给CO2CO2分子,分子,实现粒子数反分布实现粒子数反分布 ;3.He3.He对对COCO2 2分子有分子有冷却作用冷却作用,也可加速下能级粒子数,也可加速下能级粒子数抽空抽空;4.Xe4.Xe的的电电离离电电位位低低,激激光光器器内内的的气气体体易易电电离离,使使COCO2 2分分子子能能量量转转换换效效率率提提高高10101515。同同时时在在维维持持放放电电电电流流相相同同的的情情况况下,加入下,加入XeXe后可使后可使放电电压下降放电电压下降20203030。5.H5.H2 2或或(H(H2 2O O蒸汽蒸汽)可促使低能粒子可促使低能粒子抽空抽空,
3、H H2 2O O蒸汽有利于蒸汽有利于COCO2 2分分 子的还原,可子的还原,可延长寿命延长寿命。2 2、工作物质工作物质.N2N2分子受到电子碰撞分子受到电子碰撞后被激发并和后被激发并和CO2CO2分子分子发发生碰撞生碰撞,N2N2分子把获得的分子把获得的能量传递能量传递给给CO2CO2分子,使分子,使大量的大量的CO2CO2分子被激发到分子被激发到 001001能级时,能级能级时,能级001001和能和能级级 100100之间形成之间形成粒子数的粒子数的反分布。反分布。3 3、CO2分子激发机理分子激发机理.HeHe原子质量小,运原子质量小,运动速度快,频繁地碰撞动速度快,频繁地碰撞CO
4、2CO2分子,分子,高效地抽运高效地抽运010010能级上的能级上的CO2CO2分子,分子,大大提高了粒子数反转大大提高了粒子数反转程度。程度。100100能级和能级和020020能级的能级的分子迅速跃迁到亚稳态分子迅速跃迁到亚稳态010010能级上。因此必须把跃迁能级上。因此必须把跃迁到到010010能级上的能级上的CO2CO2分子分子立立即抽空即抽空,否则不利于粒子,否则不利于粒子数的反转。数的反转。.二、基本结构二、基本结构 纵向电激励水冷内腔式封离型纵向电激励水冷内腔式封离型 CO2CO2激光器的典型结构激光器的典型结构 所谓封离型是指所谓封离型是指工作工作气体被密封气体被密封在放在放
5、电管内电管内(由放电管、由放电管、水冷管和储气管三层水冷管和储气管三层结构组成结构组成 )。它的优点是结构它的优点是结构简单、紧凑。但它的简单、紧凑。但它的单位放电长度可输出单位放电长度可输出的的功率功率比其他结构的比其他结构的(如流动型和气动型)(如流动型和气动型)COCO2 2激光器要激光器要低低。.折叠式折叠式CO2CO2激光器(水冷套未画出)激光器(水冷套未画出)横向循环流动横向循环流动CO2CO2激光器激光器纵向流动纵向流动CO2CO2激光器激光器.三三 、输出特性、输出特性1 1、能量转换效率高、能量转换效率高 :202025%(25%(氦氖激光器的能量转换效氦氖激光器的能量转换效
6、率仅为千分之几率仅为千分之几);2 2、常用的、常用的COCO2 2激光器输出波长为激光器输出波长为10.6 10.6 ,属于中红外区,属于中红外区,对人眼损害小;对人眼损害小;3 3、连续输出功率可达万瓦级,常用电激励、连续输出功率可达万瓦级,常用电激励 ;4 4、温度效应温度效应 转换效率最高也不会超过转换效率最高也不会超过4040,这就是说有,这就是说有6060以上的能量转换为气体的热能,气体温度的升高,将引以上的能量转换为气体的热能,气体温度的升高,将引起起CO2CO2分子的分解,降低放电管内的分子的分解,降低放电管内的CO2CO2分子浓度。使激光器分子浓度。使激光器的输出功率下降,因
7、此,的输出功率下降,因此,冷却问题冷却问题是是CO2CO2激光器正常运转的重激光器正常运转的重要技术问题。要技术问题。.原子或分子因某种原因失去电子或获得电子的原子或分子因某种原因失去电子或获得电子的过程称为过程称为电离电离。若原子失去电子,称为正离子,。若原子失去电子,称为正离子,反之则称为负离子。反之则称为负离子。利用离子的能级跃迁所获得的激光器件称为利用离子的能级跃迁所获得的激光器件称为离子激光器离子激光器。氖、。氖、氩、氪、氙、镉蒸气、硒蒸气氩、氪、氙、镉蒸气、硒蒸气等均能作离子激光器的工作物质。它们的激光输等均能作离子激光器的工作物质。它们的激光输出功率比原子气体激光器要高,达几十瓦
8、,可连出功率比原子气体激光器要高,达几十瓦,可连续或脉冲输出。续或脉冲输出。氩离子激光器氩离子激光器.一、工作原理一、工作原理 激发过程一般分激发过程一般分两步两步:气体放电后,放电管中的气体放电后,放电管中的高速电子与中性氩离子碰高速电子与中性氩离子碰撞,从氩离子中打出一个撞,从氩离子中打出一个电子,使之电离,电子,使之电离,形成处形成处在基态上的氩离子在基态上的氩离子;该基;该基态态Ar+Ar+再与高速电子碰撞,再与高速电子碰撞,被激发到高能态被激发到高能态,当激光,当激光上下能级间产生粒子数反上下能级间产生粒子数反转时,即可产生氩离子激转时,即可产生氩离子激光。光。因此,氩离子激光器因此
9、,氩离子激光器的激活粒子是的激活粒子是Ar+Ar+。.采取两次电子碰撞采取两次电子碰撞将氩原子激发到将氩原子激发到 3p3p4 44P4P态要比直接碰撞、一次态要比直接碰撞、一次将氩原子激发到将氩原子激发到3p3p4 44P4P态态的电子能量要小,后者的电子能量要小,后者只能在低气压放电中才只能在低气压放电中才有如此大的能量有如此大的能量(35.5eV35.5eV)。)。由于由于3p3p4 44P 4P 和和3p3p4 44S4S能级上有许多不能级上有许多不同的电子态,所以氩同的电子态,所以氩离子激光输出由丰富离子激光输出由丰富的谱线。最强的谱线的谱线。最强的谱线波长是波长是488.0nm48
10、8.0nm、514.5nm514.5nm。.二、基本结构二、基本结构 氩离子激光器包括:氩离子激光器包括:放电管、电极、回气管、谐振腔、轴向磁场等。放电管、电极、回气管、谐振腔、轴向磁场等。.氩离子激光器分段石墨放电管.国产的氩离子激光管.三、输出特点三、输出特点 1 1、是一种、是一种惰性气体离子激光器惰性气体离子激光器 ,在离子激光器中输出效率,在离子激光器中输出效率最高;最高;2 2、其输出波长较多,主要有、其输出波长较多,主要有 514.5nm514.5nm和和488.0nm488.0nm两个蓝绿色两个蓝绿色 的谱线,是的谱线,是可见光区域中最强可见光区域中最强的激光器。的激光器。;3
11、 3、一般连续输出几瓦到十几瓦,甚至上百瓦。、一般连续输出几瓦到十几瓦,甚至上百瓦。4 4、输出波长易输出波长易 被血红蛋白吸收,所以氩离子激光器对生物被血红蛋白吸收,所以氩离子激光器对生物止血效果最好止血效果最好。在临床上主要用于外科手术,用它作在临床上主要用于外科手术,用它作“光刀光刀”,尤其是上、下消化道出血时,氩离子激光器可以利用光,尤其是上、下消化道出血时,氩离子激光器可以利用光纤导人内镜进行止血等非手术治疗。目前它广泛用于眼科凝纤导人内镜进行止血等非手术治疗。目前它广泛用于眼科凝固、皮肤科、内科等综合治疗领域。固、皮肤科、内科等综合治疗领域。.表表 氩离子激光的可见光光谱线氩离子激
12、光的可见光光谱线激光跃迁能级 波长(nm)或率(W)4P2S01/24S2P1/2 457.9 0.35 4P2D03/24S2P3/2 472.7 0.30 4P2P03/24S2P1/2 476.5 0.75 4P2D05/24S2P3/2 488.0 1.50 4P2D03/24S2P1/2 496.5 0.70 4P4D05/24S2P3/2 514.5 2.00 4P4D03/24S2P3/2 528.7 0.34.准分子激光器准分子激光器一、工作物质一、工作物质 “准分子准分子”:不是稳定分子。它是:不是稳定分子。它是混合气体混合气体受到外来能受到外来能量激发所引起的一系列物理和化
13、学的反应中量激发所引起的一系列物理和化学的反应中曾经形成曾经形成但但转瞬转瞬即逝即逝的分子,其寿命仅为的分子,其寿命仅为几十毫秒几十毫秒。这类激光器的工作物质是受激的气体原子这类激光器的工作物质是受激的气体原子(如如ArAr、KrKr、XeXe,用,用RgRg表示表示)和卤元素和卤元素(例如例如F F、ClCl,用,用X X表示表示)结合而成的结合而成的准分子,如氟化氩准分子,如氟化氩(ArF)(ArF)、氯化氪、氯化氪(KrCl)(KrCl)、氟化氙、氟化氙(XeF)(XeF)等等;.二、工作原理二、工作原理 通常情况下,基态的稀有气体原子化学性质稳定,因此呈通常情况下,基态的稀有气体原子化
14、学性质稳定,因此呈两种气体两种气体混合状态(混合状态(Rg+XRg+X)。但当它们受到激发时,如。但当它们受到激发时,如电子电子束的轰击或高压激励束的轰击或高压激励等,稀有气体原子就可能从基态跃迁到激等,稀有气体原子就可能从基态跃迁到激发态,甚至被电离,这时很容易和发态,甚至被电离,这时很容易和另一个原子另一个原子形成一个形成一个寿命极寿命极短的分子(短的分子(RgXRgX),这种处于激发态的分子称受激二聚物,这种处于激发态的分子称受激二聚物,简称简称准分子准分子。RgXRgX基态分子寿命极短,为基态分子寿命极短,为1010-13-13s s量级,它沿着自己的势能量级,它沿着自己的势能曲线想核
15、间距增大的方向移动,曲线想核间距增大的方向移动,直至最终直至最终离解成独立的原子离解成独立的原子Rg+XRg+X。激发态。激发态RgX*RgX*能级寿命为能级寿命为1010-8-8s s量级,比基态稳定,因此量级,比基态稳定,因此很很容易形成粒子数反转容易形成粒子数反转。.三、基本结构三、基本结构准分子激光器的结构准分子激光器的结构 .1功率特性:功率特性:准分子基态的电子迅速排空造成激光准分子基态的电子迅速排空造成激光下能级总下能级总是空的是空的,这样有利于离子数反转的形成,即使,这样有利于离子数反转的形成,即使在超短脉冲下运转,从而可以获得在超短脉冲下运转,从而可以获得较高的输出较高的输出
16、功率(功率(1010瓦量级)瓦量级)。2.输出波长输出波长:从真空紫外到可见光区域从真空紫外到可见光区域 。3脉冲特性:脉冲特性:由于基态寿命短,即使是超短脉冲情况下,由于基态寿命短,即使是超短脉冲情况下,基态也可被认为是空的,因此准分子激光对基态也可被认为是空的,因此准分子激光对产生巨脉冲产生巨脉冲特别有利。特别有利。4.4.能够精确聚焦和控制,其切能够精确聚焦和控制,其切削精度非常高,每个光脉冲切削深削精度非常高,每个光脉冲切削深度为度为0.20.2微米,能够在人的头发丝微米,能够在人的头发丝上刻出各种花样来。上刻出各种花样来。.近视眼由于眼球的前后径近视眼由于眼球的前后径太长,眼角膜前表
17、面太凸,外太长,眼角膜前表面太凸,外界光线不能准确会聚在眼底所界光线不能准确会聚在眼底所致。致。准分子激光矫正近视是用准分子激光矫正近视是用电脑精确控制的准分子激光,电脑精确控制的准分子激光,根据近视度数和有无散光在根据近视度数和有无散光在瞳瞳孔区孔区的角膜基质层进行刻蚀,的角膜基质层进行刻蚀,使眼角膜前表面稍稍变平。从使眼角膜前表面稍稍变平。从而使外界光线能够准确地在眼而使外界光线能够准确地在眼底视网膜上会聚成像,达到矫底视网膜上会聚成像,达到矫正近视的目的。正近视的目的。准分子激光治疗近视眼的原理准分子激光治疗近视眼的原理.什么是什么是LASIKLASIK手术手术?LASIKLASIK手术
18、即准分子激光原位角膜磨镶术(手术即准分子激光原位角膜磨镶术(Laser in Situ Laser in Situ KeratomileusisKeratomileusis):):医生用角膜刀掀开一个角膜瓣,在瓣下角膜医生用角膜刀掀开一个角膜瓣,在瓣下角膜基质层上用准分子激光根据近视、远视、散光度数进行精确切削。基质层上用准分子激光根据近视、远视、散光度数进行精确切削。患者术前检查的数据卡输入计算机,由计算机控制切削的范围和患者术前检查的数据卡输入计算机,由计算机控制切削的范围和深度,削出一个光滑的曲面,相当于在角膜上切削出一个眼镜片,深度,削出一个光滑的曲面,相当于在角膜上切削出一个眼镜片,
19、使视力变得清晰。使视力变得清晰。它采用自动微型角膜板层节削仅进行手术,在角膜表面切削一直它采用自动微型角膜板层节削仅进行手术,在角膜表面切削一直径径8 8毫米,厚毫米,厚0.160.16毫米的带蒂板层角膜瓣,翻转角膜瓣后,应用毫米的带蒂板层角膜瓣,翻转角膜瓣后,应用准分子激光电脑控制多步分区角膜基质内切削,最后将角膜瓣复准分子激光电脑控制多步分区角膜基质内切削,最后将角膜瓣复位。位。.制做角膜瓣制做角膜瓣 准分子激光切削准分子激光切削 角膜瓣复位角膜瓣复位 .LASIK手术示意图手术示意图 角膜微切器切割角膜角膜微切器切割角膜 角膜瓣形成并翻转角膜瓣形成并翻转 .角膜中间基质切削区准备角膜中间
20、基质切削区准备 准分子激光切削角膜基质准分子激光切削角膜基质 .角膜瓣复位角膜瓣复位 准分子激光角膜原位磨镶术完成准分子激光角膜原位磨镶术完成 .智慧型大小光斑技术智慧型大小光斑技术:根据不同的个人数据,根据不同的个人数据,系统系统自动调整光斑大小自动调整光斑大小:光斑直径可在光斑直径可在0.65-0.65-6.5mm6.5mm范围内变化。可范围内变化。可使复杂的角膜切削变得使复杂的角膜切削变得极为轻松。极为轻松。三维主动眼球跟踪技术三维主动眼球跟踪技术:除对眼球在除对眼球在XYXY轴运动进行追踪轴运动进行追踪外,还可以追踪眼球在外,还可以追踪眼球在Z Z轴的立体轴的立体位移,可随眼球运动自动
21、将激光调位移,可随眼球运动自动将激光调整到切削点,极大的加强了手术的整到切削点,极大的加强了手术的安全性和精确性。安全性和精确性。.高精度200Hz飞点扫描、193nm氟化氩(ArF)准分子激光和最优光传输系统的完美结合形成光斑直径0.8mm优化高斯光束.染料激光器染料激光器染料激光器染料激光器 固体或其它激光所输出的波长已几乎覆盖了真空紫外至固体或其它激光所输出的波长已几乎覆盖了真空紫外至红外波段,还出现了红外波段,还出现了X X射线波激光器。但是,一般激光器输射线波激光器。但是,一般激光器输出的波长都是出的波长都是固定单一固定单一的,至多也只是有的,至多也只是有几个波长几个波长,这在应,这
22、在应用上有一定的局限性。为此人们研究了用上有一定的局限性。为此人们研究了可调谐激光可调谐激光。染料激光器是染料激光器是液体激光器液体激光器的一种,以染料为工作物质,的一种,以染料为工作物质,如若丹明如若丹明6G6G等,溶剂有乙醇、苯类、水及其他物质。染料的等,溶剂有乙醇、苯类、水及其他物质。染料的能量转换效率很高,可达数百毫瓦。染料激光器的最大特点能量转换效率很高,可达数百毫瓦。染料激光器的最大特点是其输出波长是其输出波长在一定范围内连续可调在一定范围内连续可调,所以称为可调谐激光,所以称为可调谐激光器。医学上常用的可调谐染料激光器有:器。医学上常用的可调谐染料激光器有:N N2 2激光泵浦可
23、调谐染激光泵浦可调谐染料激光器和料激光器和NdNd:YAGYAG激光泵浦可调谐染料激光器等。激光泵浦可调谐染料激光器等。.工作原理工作原理染料分子能级图染料分子能级图 S0S0是基态,是基态,S1S1、S2S2是激发态。是激发态。S0S0、S1S1、S2S2本身是由许多密集的本身是由许多密集的振动转动能级组成的。振动转动能级组成的。在在原子光谱原子光谱里,不同电子态之里,不同电子态之间的跃迁产生间的跃迁产生一条锐的谱线一条锐的谱线;在;在分子光谱分子光谱里,不同电子态(例如里,不同电子态(例如S1S1与与 S0S0)之间的跃迁将产生由一)之间的跃迁将产生由一簇密集的谱线组成的簇密集的谱线组成的
24、谱带谱带。染料。染料分子的这种能级结构是染料激光分子的这种能级结构是染料激光器的输出波长在一定范围内可调器的输出波长在一定范围内可调的根本原因。的根本原因。一、染料分子能级一、染料分子能级.染料分子能级图染料分子能级图 吸收了外来光子后,分子吸收了外来光子后,分子就从基态能级跃迁到就从基态能级跃迁到S1S1态的较态的较高的振动转动能上(图中高的振动转动能上(图中AbAb)。由于频繁的热交换,)。由于频繁的热交换,大多数被激发的分子无辐射地大多数被激发的分子无辐射地衰变到衰变到S1S1态的最低的振动转动态的最低的振动转动能级上(图中能级上(图中bBbB)。这样,)。这样,在在B B与基态与基态S
25、0S0的较高的振动转动的较高的振动转动能级(图中能级(图中a a)之间就实现了)之间就实现了粒粒子数反转子数反转。当反转达到阈值时,。当反转达到阈值时,就可以产生激光。就可以产生激光。可见染料激光形成过程,经可见染料激光形成过程,经历了历了两次无辐射跃迁两次无辐射跃迁。二、染料分子的光辐射过程二、染料分子的光辐射过程.三、染料分子的三重态三、染料分子的三重态三、染料分子的三重态三、染料分子的三重态“陷阱陷阱陷阱陷阱”能级图中的能级图中的T1T1和和T2T2是是三重态三重态。由于三重态由于三重态T1T1较单态较单态S1S1低,所以处低,所以处在在S1S1中的分子很容易无辐射地跃迁中的分子很容易无
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