微摩擦力测量装置的设计大学毕设论文.doc
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1、毕业设计(论文)题 目: 微摩擦力测量装置的设计系 别 航空与机械工程系专业名称 机械设计制造及其自动化班级学号 学生姓名 指导教师 二一四 年 五 月 微摩擦力测量装置的设计摘要:摩擦现象与人类的生产和生活密切相关,自80年代原子显微镜和摩擦力显微镜问世以后,发现在原子、分子及纳米级尺度下宏观的摩擦规律不再适用,摩擦学研究开始进入微观与宏观结合的新阶段,随着微电子技术的飞速发展而兴起的微电子机械系统(Micro Electron Mechanical System, MEMS),其零部件的几何尺寸目前一般在微米数量级,他们之间的摩擦介于微观与宏观摩擦之间,称之为微摩擦。本文提出了一种全新的微
2、摩擦测试仪器,在查阅了大量的国内外资料的基础上,详细论述了微摩擦力测试仪的总体设计过程,主要包括转动装置和进给系统的具体设计原理和方法及电机的选用。关键词:微摩擦力 测试仪 MEMS传感器 MECHANICAL DESIGN OF MICRO FRICTION TESTING BEDABSTRACT: The phenomenon of friction is get well with peoples live and product. From the 1980s, atom-microscope and friction microscope came out, then the sci
3、entists found that the macro friction regularity was not suitable at the degree of atom, molecular and nano. This hints that Friction research has entered a new stage in which friction is studied in sub-micro-level. With the micro electronics technology development, the micro E6lectro-mechanical-sys
4、tem (MEMS) has a rapidly developed, whose apparatus geometry dimension at the level of millimeter, the friction of them is between micro and macro. It is called micro-friction. Now the urgent problems needed to be solved in MEMS research is whether the macro friction regularity is suitable for micro
5、-friction phenomena and what degree is the dimension of friction component in that area of micro-friction. Because of the development of MEMS, the explicit principle of micro friction is needed urgently, It has many practical need in micro-friction research. Under the guide of professor Liu Wenguang
6、 ,I looked up many abroadand native essays and did many experimentation,a new micro friction surveyors apparatus came out, it have many advantages such as high measure precision,cheaper than others products,reliability function and so on. This article is focused on the course of designing the appara
7、tus of micro-friction. In this article,the paper describes three parts, the design methods and principles of forcing sensor and turning equipment, the choice of electromotor and hardware of timing design.Key words: micro-friction; strain sensor; test bed 目 录1绪论11.1引言11.2国内外研究现状及发展趋势11.2.1国内外研究现状11.2
8、.2国内外技术发展趋势51.3本文的主要工作62微摩擦测量装置的设计的总体设计72.1微摩擦技术简介72.2测试仪的总体设计83微摩擦测量装置的进给系统123.1进给系统概述123.2功能模块的分析133.2.1精密位移台TMS202M133.2.2 PTS103M型一维位移台153.3本章小结164微摩擦测量装置的转动系统174.1转动装置的总体结构设计174.1.1 主轴的结构的设计要求174.1.2主轴的支承方案的确定184.1.3轴承型号的选定184.1.4轴承的预紧184.1.5传动方案的确定194.2转动主轴的设计194.2.1主轴的初步设计194.2.2转轴的校核204.2.3转
9、轴轴承的校核234.2.4转轴精度分析234.3电机驱动系统的设计254.3.1电机的选用254.3.2电动机驱动能力的校验254.3.3电动机的调速274.4本章小结325结论33参考文献34致谢35II1 绪论1.1 引言微机械构件表面的微摩擦不同于宏观摩擦,也不同于原子力/ 摩擦力显微镜探针与基片之间的微摩擦,因此,宏观或微观摩擦实验仪器对于微摩擦的研究有很大的局限。随着微机械应用日益广泛,其微摩擦学问题日渐突出微摩擦学引发了对表面改性纳米膜(或涂层)的关注,表面微纳米膜可以大幅度降低微摩擦磨损,从而提高微机械的使用寿命,微动摩擦测试系统机械装置成为评估这些膜的必要和有效工具。本课题旨在
10、设计一种考虑微机械工况的销盘式微摩擦测试仪与数据处理系统,采用微应变片获取摩擦力及载荷导致的变形信号,通过A/ D 卡采集数据,在数据处理系统中进行数据处理,从而获得微摩擦力和微载荷的数值,为微摩擦特性测试和分析提供一种手段,主要设计任务是为摩擦测试仪器机械装置的设计,我的本次毕业设计选择了微摩擦测试系统机械装置的设计的设计这个课题。1.2 国内外研究现状及发展趋势1.2.1 国内外研究现状 随着我国信息科学技术的不断进步与测试水平持续提高为研制微摩擦测量装置的设计提供了可行性基础。目前关于微动摩擦测试仪的常见类型有如下几种:(1)力平衡法,是用一个已知的力来平衡待测的未知力。例如,机械杠杆式
11、测力计; 文献6中就利用杠杆原理来实现对法向载荷的加载与测量。图1-1力平衡法测力示意图(2)光学反射法,是一种广泛应用于微纳米测试仪器中测量方法。图1-2光路系统原理图 中科院长春光机所研制的光反射法微摩擦测试仪,由微位移进给机构、光电探测系统、数据采集处理系统组成。光电探测系统如图1-2所示,由两套激光光源、准直及聚焦透镜、硅传感器、两套CCD探测器及其机械调节系统组成。激光器1、硅传感器1及CCD1用来测量正压力,激光器2、硅传感器2及CCD2用来测量摩擦力。激光光源采用可见光半导体激光器(GaAIAs Laser,波长为670nm,功率为3mW)作为单色光源,光束经准直及聚焦透镜汇聚,
12、入射到硅传感器上,再经硅传感器的抛光面反后照射到CCD探测器的光敏面上,得到光斑的初始位置。两硅片相互垂直安放,当两硅片受到正压力及水平摩擦力时发生偏转,反射激光也偏转相应的角度,CCD上的光斑位置也发生了相应变化。硅片的挠度反映了探针和试件间作用力大小,反映到CCD上就是光斑所在像元几何位置的变化,由此通过标定可得到正压力及摩擦力大小。实验测试结果表明,该仪器摩擦力测试满足分辨率为50微牛,量程200毫牛的技术指标,重复率约为1.3%,总精度为2.257%a(3)压电法,利用晶体的压电效应,将力转换成电荷并通过二次仪表转换成电压。图1-3 压电法测力示意图(4)应变片法,其原理是把检测力转变
13、成弹性元件的应变,再利用电阻应变效应将应变转化为电阻变化,继而通过电桥进一步转换成电压信号,从而间接地测出力的大小。南昌大学机电工程学院研制的球盘式微摩擦测试仪I21I81,基于簧片和应变片,通过应变仪测量压力和摩擦力。采用二维精密平移台上下移动实现正压力的加载和测头位置的移动;测试试件粘贴在工作台上,采用电机带动工作台转动,完成摩擦副的运动;将电阻应变片贴在一个簧片上,当簧片产生变形时,相应的应变片的电阻就会发生变化,从而力所产生的应变就被转换成了电信号.这个电信号通过一定的信号处理后,被A/D卡采集下来,然后输入到计算机中进行加工处理。可以得出应变的大小,最终能够将应变还原成载荷和摩擦力的
14、值,从而实现测试的目的,如图1-4所示。图1-4 测试仪原理图该测试仪的测力部件采用了两个测力簧片,通过一个立方体连接到一起,如图1-5。A.测头 ;B.簧片 ; C.立方块 ; D.应变片图 1-5测力部件结构由立方体来保证两簧片间相互垂直。这样的设计加工的工艺性和精度得料和尺寸可根据实际所需更换。同时,采用箔式应变片,在结构上,每一个测力簧片上有一组4个应变片,被两两分贴在簧片的正反两面,组成一个全桥回路,这样的结构既提高了电桥对微力的灵敏度,又能够进行温度补偿,因而提高了测量的精度。以保证9。测头设计并制作成半球形或其他形状,与簧片豁结在一起,测头的材料和尺寸可根据实际所需更换。同时,采
15、用箔式应变片,在结构上,每一个测力簧片上有一组4个应变片,被两两分贴在簧片的正反两面,组成一个全桥回路,这样的结构既提高了电桥对微力的灵敏度,又能够进行温度补偿,因而提高了测量的精度。 该摩擦测试仪测量的加载范围在微牛到毫牛之间,正压力和摩擦力的分辨率能够分别达到20微牛和10微牛。根据国外从事微动摩擦学试验仪研究发表论文的数量统计,英、法、美、日、加这5个国家进行动摩擦学研究的总体水平最高。这里主要介绍位移法的微动摩擦学试验仪。 所谓位移法,是通过位移传感器间接测量力。目前主要用以测量位移的传感器有电容式位移传感器和非接触电涡流位移传感器。图 1-6 电容传感器结构示意图电容传感器具有功耗低
16、、噪声特性好、高灵敏度以及对温度和振动敏感性小等优点。与横向电容式传感器(改变电容极板正对面积)相比,纵向电容式传感器(改变电容极板间距离)具有更高的灵敏度,但是其存在较大的线性误差。梳齿差分式电容传感器,能够克服纵向电容传感器的这一缺点,在获得高灵敏度的同时保证线性关系。其结构由三部分组成,中间可移动部分和上下两边固定部分,如图4所示。固定电容器的两个梳齿分别放于中间可移动电容器梳齿的两边,可以使固定电容器的梳齿间相互隔绝。 当传感器探针受到轴向力,单向弹簧产生弯曲变形,使得内部的可动电容极板(2)移动,朝x正方向时,极板(2)远离极板(1)且靠近极板(3),导致电容差值在外部固定电容极板(
17、1)、(3)上加上交流信号,形成如图1-7所示差分电路。图 1-7传感器及读出电路示意框图存在于微动腐蚀中的摩擦,其加载的接触压力大约在O.O1N到2N,运动幅度在微米量级,是介于宏观摩擦与微观摩擦之间的微摩擦力。上述方法中力平衡法精度较低,不适合微摩擦测试;压电式测量法其缺点是仅适用于动态力的测量。光学法具有最高的精度,但是需要的投资较大;电阻应变片法测试电路相对简单,结构紧凑,工作稳定,其实践应用也相当成熟,虽然其分辨力无法与光学法相比,但是已能满足测试系统的精度要求;位移法通过位移传感器间接测量力也是一种合适的方法,且市场上的位移传感器分辨力最高能达到0.01微米,动态特性也好,也能满足
18、要求。1.2.2 国内外技术发展趋势微摩擦测量装置的设计的研究越来越受到国内研究人员的重视,并目己经取得了明显的进展,但与工程实际需要尚有很大差距,微动损伤问题在设计阶段是很难甚至无法解决的,而微动摩擦研究本身,又具有多学科性、多影响因了性和因了参量时变性的特点,故此研究工作十分困难与复杂在这种情况下,我们必须面向工程实际需要进行深入系统的微动摩擦测试仪的研究。国外关于微动摩擦测试仪的研究一般体现在继续向工矿企业传播微动摩擦学知识和研究成果,主要开展失效分析与交流,收集和研究微动损伤的例证,建立图谱,,以求准确处理微动失效故障,促进微动损伤研究的深化与发展,并探索微动损伤的早期诊断和监控等。1
19、.3 本文的主要工作本课题旨在设计一种考虑微机械工况的销盘式微摩擦测试仪与数据处理系统,采用微应变片获取摩擦力及载荷导致的变形信号,通过A/ D 卡采集数据,在数据处理系统中进行数据处理,从而获得微摩擦力和微载荷的数值,为微摩擦特性测试和分析提供一种手段,主要设计任务是为微摩擦测试仪机械装置的设计。首先介绍微摩擦测试仪国内外现状,然后推出微摩擦测试仪机械装置的两套设计方案并进行比较分析确定最佳方案。在进行摩擦测试仪传动机构结构的设计计算和结构设计。最后进行小结和进一步工作的展望。2 微摩擦力测量装置的设计的总体设计2.1 微摩擦技术简介微摩擦力测量仪有别于纳米摩擦学的实验测试仪器。在纳米摩擦学
20、的实验测试仪器中无论其所施加的载荷还是所研究的材料的面积甚至于相对滑动的速度都是采用纳米量级的。它们研究的是原子、分子尺度上摩擦界面的微观结构和特性。而这里要开发的微小摩擦力测量仪则是在微小面积接触和微小载荷作用下测试摩擦力的一种仪器。它的载荷是毫牛顿级,这与纳米量级来进行比较毫无疑问是相当大的,但相对于宏观载荷来说又是相当小。并且,它的相对滑动速度是宏观中的低速、微观中的极高速。在机械领域中这种条件下的摩擦是经常可以看见的,但在系统分析中我们到底使用宏观的摩擦学理论还使用微观的理论呢?这就需要我们对这种条件下的摩擦来进行分类,并通过对该仪器的实验来找到与之相适合的理论。由滑动摩擦的宏观研究得
21、出,固体摩擦遵循 Amontons (阿蒙顿)摩擦公式15,即摩擦力F与载荷P成正比,其比例常数为摩擦系数 F=P (2.1)在界面摩擦过程中15,有 C1P2/3+C2P+C3P4/3 (2.2)式(2,2)中,C1,C2,C3分别为于粘着能w、弹性常数K、球体半径r等有关的函数。 由式(2.2)分析可知,在组成界面摩擦力的各项因素中,统称第三项所占比例较小,可以忽略不计。当表面粘着强度较大时,第一项是界面摩擦力的主要成分,此时可以近似地采用式中的一项.而当外加载荷P相对较大时,界面摩擦力将以第二项为主,接近于描述常规摩擦的Amontons公式(2.1)。由以上可知,用此课题所开发出的测试仪
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