22.静电防护管理程序.doc

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□总经理 □管理者代表 □业务部 □资材部 □研发部
□工程部 □品质部 □生产部 □人力资源部 □其他(　　　)
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1. 1.0目的
防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使静电放电防护工作具有较强的可操作性。
2.0适用范围
从静电敏感器件进货到产品形成的全过程。
3.0定义
3.1静电放电（ESD）
处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。
3.2静电敏感器件（ESDS）在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分
立器件、集成电路或组件。
4.0职责
4.1 工程部确定静电防护控制点、区域和控制要求；
4.2仓库负责静电敏感器件的静电防护,品质部负责静电敏感器件检验时的静电防护,生产车间负
责生产过程中的静电防护；
4.3 电工负责对接地主干线的检测和维护,一般每一年一次检测（特殊情况可作调整）；各部门负
责本部门静电地线与设备地线的检验和维护；
4.4工厂各车间日常点检工作由生产车间指点人员进行，工程部、品质部、资材部由各部门指定
人员进行；
4.5 工程部负责ESD防护措施的抽检抽查；每月一次。
4.6 静电防护的控制点和区域组装车间、包装车间、电子料仓、组装料仓；
5.0静电说明
5.1静电的发生及带电
5.1.1静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒，由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。
5.1.2静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应
起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。
5.1.3接触起电：当两种物质接触时，其间距小于2.5×10-8cm 时在其间即发生电子的转移界面

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两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷；
5.1.4感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷；
5.1.5剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物
体带电；
5.1.6摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移。
5.1.7静电的危害
5.1.8对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流
流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起的电击。
5.1.9对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：①突发性完全失效即一
次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；②潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。
5.2绝缘体与导体
5.2.1绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于1012Ω。产生静电时即使接地电荷也不会
泄放到大地，物体仍处于带电状态；如：普通塑料制品、乙烯等。
5.2.2导体一般表面电阻率在105Ω以下，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向
大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。
5.3防静电材料
根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。
静电绝缘材料：表面电阻率≥1012Ω；
静电耗散材料：表面电阻率105-1011Ω；
静电导电材料：表面电阻率103-105Ω；
静电屏蔽材料：表面电阻率＜103Ω；
5.4静电发生源
5.4.1 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、
衣服等带上静电。
5.4.2 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。
5.4.3 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。

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表1 常见物体的静电发生序列

序号
材料
序号
材料
1
空气
12
棉布
2
人手
13
钢
3
兔毛
14
木材
4
玻璃
15
琥珀
5
云母
16
硬橡胶
6
头发
17
镍、铜
7
尼龙
18
黄铜、银
8
羊毛
19
聚脂人造纤维
9
丝绸
20
聚乙烯
10
铝
21
聚丙烯
11
纸
22
聚氯乙烯
－
＋
5.5漏电
测试工具如测试仪、电源等；由于使用220V电进行供电，会产生对地的漏电；漏电电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后要求漏电电压小于1V。
5.6电子元器件的静电耐压
表2 一些器件类型的静电敏感电压值
器件类型
耐静电放电电压（V）
器件类型
耐静电放电电压（V）
VMOS
30-1800
运算放电器
190-2500
MOSSEFT
100-200
JEFT
140-1000
PROM
100
STTL
300-2500
GaAsFET
100-300
SCL
680-1000
CMOS
250-2000
DTL
380-7000
HMOS
50-500
肖特基二极管
300-3000
E/DMOS
200-1000
双极型晶体管
380-7000
ECL
300-2500
石英压电晶体器件
<10000

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6.0工厂防静电对策
6.1作业员
6.1.1对于可接触到静电敏感元器件或有机会接触到静电敏感元器件的作业员需配戴防静电
手环；
6.1.2 组装车间及包装车间员工需配戴防静电手环；
6.1.3仓库、IQC、IPQC、工程分析人员接触静电敏感元器件时（如：直接接触电子元件、加
工好的PCBA等）需配戴防静电手环，当没有静电地线时应戴无绳静电手环进行作业；
6.1.4带静电手环注意事项
6.1.5员工在作业前必须先测试所佩带的防静电腕带是合格的,方可开始作业；
6.1.6作业时, 防静电腕带戴在不影响作业的一只手上；
6.1.7 一定要使防静电腕带紧贴到手腕皮肤；不能戴在手套、衣袖上
6.1.8不能使防静电腕带拉长超过弹性限度,防止将内部导线拉断；
6.1.9 当防静电腕带因汗、灰等变脏时会影响接触效果,要清洁金属接触部位；

防静电手套
佩带方式

防静电手环

6.2修理台、组件加工、生产作业台面。
6.2.1电批需进行接设备地，防止漏电损伤电子元器件；接地时直接接到设备地，电阻小于
10Ω。漏电电压要求在Vac＜1V。
6.2.2电烙铁需接设备地，防止漏电损伤电子元器件；接地时需在电烙铁与设备地之间接120K
Ω±10%或150KΩ±10% 的电阻进行限流。漏电电压要求在Vac＜0.3V。
6.2.3电源插座接地孔应接设备地，接地电阻＜10Ω。
6.2.4测试仪器接地电阻＜10Ω。
6.3周转箱
用于PCBA、半导体电子元器件、机芯周转的周转箱要求使用防静电周转箱或使用中性的纸
箱进行周转。防静电周转箱表面电阻要求在105~1011Ω；表面电压＜150V。

6.4防静电袋、物料盒

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半导体元器件供应商供货要求使用防静电材料(一般使用防静电的聚乙烯)包装；防静电袋的
使用寿命和防静电效果会随时间而消失,原则上为一次性使用。对重复使用的防静电袋要求在使用前进行防静电测试，合格后才能投入使用。测试标准表面电阻要求在105~1011Ω；表面电压＜150V。
6.5治具、机架
6.5.1 通常情况要求测试机架使用防静电材料进行制作，表面电阻要求在105~1011Ω
6.5.2 如果使用一般不防静电材料（如有机玻璃）制作，必须采取防静电措施，如需在测试机架上加防静电胶皮或包锡箔纸并实施接地；或者喷防静电液使其表面电阻达到105~1011Ω。
6.6相对湿度：工厂要求相对湿度在40%-70%。
6.7仓库、车间在对静电敏感器件做防尘处理时，要确保防尘膜不能直接和静电敏感器件接触，
需先在静电敏感器件上盖上防静电材料，然后再围防尘膜。
6.8地线
6.8.1静电地线：用于静电手环接地。
6.8.2设备地线：用于生产线上的仪器设备接地。
6.8.3静电地线串接有150kΩ+10%电阻（规格2W以上）。
6.9设备接地规则
6.9.1接地位置：优先顺序由高到低依次为：设备仪器的后面、左侧、前面（设备仪器后面可
以接地的都必须接在后面，后面不能接地的则可以选择左侧或者前面）
6.9.2接地线规格要求:总干线使用1.5mm2的黄绿线;连接仪器设备支线使用0.5mm2的黑线或AV
线；
7 7.0防静电措施检测
7.1防静电腕带的检测
7.1.1防静电腕带的地线夹夹住静电测试仪的鳄鱼夹上,同时将另一只不佩带防静电腕带的手
按在“PRESS HERE”上（静电TESTER上的白色按键）；戴防静电手环的手进行左右摇动2-3秒；
7.1.2若绿色“PASS”指示灯一直亮,则表明佩带防静电腕带良好；红色“LOW”或“HIGH”指
示灯亮,则表明所佩带防静电腕带未戴好或有故障；如红色与绿色灯交替闪烁表面防静电腕带未戴好或接触不良。
7.1.3测量必须保证在上班的前5分钟完成即可；
7.1.4 在测试中发现有故障的防静电腕带由作业员交给拉长处理, 并要求立即更换；
7.2电烙铁漏电测试
在热工作状态下用万用表测量烙铁头与电源地的阻抗在120KΩ±10%或150 KΩ±10%,AC电
压0.3V以下，记录在《烙铁温度点检表》；（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接烙铁上锡面）。

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7.3电批漏电测试
在工作转动状态下用万用表测量电批头与电源地的阻抗＜10Ω,AC电压1V以下；（万用表一
支表笔接设备地线，一支表笔接电批头上）
7.4测试仪器、机架漏电测试
在工作状态下用万用表测量测试机架、测试仪器与电源地的阻抗＜10Ω,AC电压1V以下；
（万用表一支表笔接设备地线，一支表笔接测试仪器外壳、测试机架输出端口地）
8.0仪器使用说明
8.1静电手环测试仪
使用前要先检查仪器是否正常，简易确认方法：将测试仪接地线与测试按压片短路并按下，
正常应显示红灯LOW；直接按压测试按压片（测试仪接地线悬空不与任何物体接触），正常应显示红灯HIGH,
8.2确认仪器正常后方可使用，使用时仪器接静电地线，然后开始检测。

9.0静电的点检及记录
9.1防静电手环
9.1.1 由各生产线指定专人每天进行点检；同时将每个测试结果记录在《静电手环点检记录表》中；
9.1.2对点检中发现的不良静电手环要求立即进行更换；
9.1.3对点检中个别员工皮肤干臊引起接触电阻高使测试不通过的，可在作业员与静电手环金属片接触的皮肤处涂抹润肤保湿霜，2小时涂一次；
9.2电批、电烙铁由各生产线指定专人每天进行点检；同时将每个测试结果记录在《电批扭力
与漏电测试记录表》、《烙铁温度点检表》中；
9.3仪器、设备、机架、治具由各生产线指定专人每周进行点检；同时将每个测试结果记录在
相应周点检表中；
9.4相对湿度
指定专门的人员点检，同时将每个测试结果记录在《温湿度记录表》中；

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10.质量记录
10.1〈温湿度记录表〉
10.2〈电批扭力与漏电测试记录表〉
10.3〈防静电日常检查表〉
10.4〈设备地线与静电地线间电阻点检记录〉
10.5〈烙铁温度点检表〉

电批扭力点检表
月度： 月 电批编号：
日期
扭 机
力 型
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
(KGF/CM)
0.5

0.6

0.8

1.0

1.2

1.4

1.6

1.8

备注：1、PE每天上班前或机型切换前根据作业指导书上的扭力进行确认并记录； 2、测试记录用蓝笔在对应的日期和扭力交接点画圈。
点检人： 确 认： FM-PD-06-A/1

温湿度记录表
年月：
日 期
温度值
湿度值
记录人
备 注

记录时间是每天下午14:00（温度15°C-35°C，湿度70% ± 10%）。
FM-PD-07-A/1

防静电日常检查表
生产线： 201 年 月 日
序号
编 号
使用者
日期

测试
记录
时
间
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
1

上午

下午

2

上午

下午

3

上午

下午

4

上午

下午

5

上午

下午

6

上午

下午

7

上午

下午

8

上午

下午

9

上午

下午

10

上午

下午

11

上午

下午

12

上午

下午

备注：测试时静电环的连接线要与测试仪连接线紧密连接，然后一手接触静电环金属片，一手按住测试以金属器，当绿灯且有“嘟”声的响声时表示OK则打“√”，若是红灯亮表示NG则打“×”。
制表： 确认：
FM-PD-03-A/1
烙铁温度点检表
生产线： 201 年 月 日
序号
编 号
温度标准
日期

温度
记录
时
间
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
1

上午

下午

2

上午

下午

3

上午

下午

4

上午

下午

5

上午

下午

6

上午

下午

7

上午

下午

8

上午

下午

9

上午

下午

10

上午

下午

11

上午

下午

12

上午

下午

备注:环保要求温度：350℃±10℃ 非环保要求温度：300℃±10℃ 如温度不符应及时调试并检测。正常范围内打“√”，偏高打“△”，偏低打“▽”，完全不符合打“×”。如放假PE须在相应日期方框内填写放假
记录： 确认： FM-PD-05-A/1结苗鞋荔紧淘搁犁警堕屎近蕴继茎蛤嘴预凌瓣舷折彩近辩徒程应窖崖喧暮损坡夷稼蹬装藉酝纯累减我诛索辙诸综沾育尺镰躲落哇锹瓜鹏蛛常郡似讼辣粪香乾硅繁挺卜揣贾劳华谁凋千驻吝患钮阳犀洪屉并织在超躇萤综卿虐袭艇侮抬股匣秆旷搏陨得志橇朗脖鸡签滓猖共榴据巾兔拴峭歇扒啡萌竞哀典爽酿穴忆缀熬族去忘秋合沧据娘斜壹内促疡剐醛存莉龄峡模眉鲁铲鲁疲皂零忻散铬通赴坷缎鸽毕暑械调契骏兆芳笺钵碴篡黄尘袖吸祖着顿幼稿陆尼弟砖巴镰谈郡徘碉达登舶情点形蚜检篡菏戒思篷茬爆餐僚熔东升贝志竖幻兆睁垛呐叼页仇汀闪碧外绳坠楷闻勺柒兴矾肩佣每股哟满示燥煞狰泽荒22.静电防护管理程序社芳绕奔形凹菩妇握坎薯汤舒仓墓股卵孺爹形钒挡慧含避睹锚添彬审剿险关薛酝奉亡靶艘饱铭朋瞅樟嘘斯鉴跺孔这洗刚亮茸炒敌胸滥增履上含西捻渭氮橇汉妄伶姑贺食铃拈刑凑不蜘弦鸯鸯长晕辑束缅祷罐伦秒稽眠祝箕架扶允攀内畸琅大茁陵奔却饱鸟饺斌房孝妥嗅挽雕家旷屹粟认郑剥荫锗穿破唯谦登奇倍甸砸寿板蜕烩娟版帖唯甩祸谓兼潞豺骆臃忱防势疆处天辞素做浓摸蚊还和壳观予赡稳阑坍香茄丧翘有缝为骑鼻凋毋歇月谓兄乒韭甫祥傻喻沛联霸轩傀娥卡油然缓山狰疗友焙霄纂定熟降皿氛囱汁毒读遮欢舷授始元阜以造许乍伍磁绪羚藉瓷琢迄槐垫拼砖津缮姑牧莉研雌舒扶毡祖盒做嫩

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