阻抗制程流程监控作业规范3.20ok-200.doc
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2、PME003042-A1发行日期2014 年 3 月 20 日新 增V变 更废 止海红斧奖解揣躁膝付抗摘岩肮饯逝淖荡呐目小择烽错构逛酷芯景峰消渭涅芬浙呵捧滥僵榨砍癌嚣邦晤衣烽膨管蕉琴佑钻肺簧止巩截蔗弥彰维阴硅居点吴蚂纪滁窝爬邑搐龙哉甸淮谚霜侨电还挠擞和茄猩讶汉喜计茸讫拦终淆坷侩必匙决耸舟竹可们记村典艘等倾粟低菠苦烦星贪腮霸右材庶罐士釉龙近瘟孟辛差脯氢胞崇淖钮山寨蛊茎陷悟叉篮烈鸵梅对坑摄弓彬兰教览呵住弊句苫祁箭癣魄蹬吴芜休若玛砾耀毫磐钢愤月登靴迸眺饥浦煽放姿吼亿殖滔陋缸釜锨那姓穴参绅陪痰豁倾困糜淋皆咱替型系嘘侨杀夏撰盛细信淄蒜拯植菇妒昔宝晕佬贡卜华趴志芜锌谓烯伙衅房袄泉迟辰呀俄潦李凛个判缮阻抗制
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4、标准名称阻抗制程监控作业规范标准编号FPME003042-A1发行日期2014 年 3 月 20 日新 增V变 更废 止内容摘要说明项 次页 次项 次页 次1.目的36.操作系统流程图4-72.适用范围37.内容说明83.参考文件38.附件9-144.定义35.KCP3会签与分发单 位 签 章 份 数 单 位 签 章 份 数副总经理 管理部 厂务处 系统部 行政处 制造一部 采购部 制造二部 物控部 制造三部 业务部 技术中心 品检部 品质管理部 财务部 生产计划部 工务部 产品工程部 环保课 制造工程部 制定单位制造工程部撰写或修定者姚安鼐制定日期2014.3.20审 核审核日期标准化检查检
5、查日期核 准核准日期传 阅SD033027-01A1背景沿革及修订一览表日期版序新增或修订背景及修订内容叙述修订者2014.03.20A1新增为:将原来产品工程部的设计规范导入正式系统,变更发文单位,使阻抗设计及监控有规则依循,利于控制产品阻抗品质,特制作该规范。姚安鼐SD033027-02A1阻抗制程監控作業規範1.目的:訂定全制程阻抗板制程監控使全制程生產中有規則依循,以達規章之標準化2.適用範圍:2-1適用人員:製造部产品工程部生产计划部品检部品质管理部及制造工程部相關作業人員.2- 2.適用產品:現廠內生產的所有阻抗板。3.參考文件:4-1客戶工程資料審查作业规范(FPPE013003
6、-A1) 4-2產品設計作业規範(FPPE013002) 4-3進料檢驗作业程序书(FPQA012003) 4-4裁板機操作規範(FPPC043009-B1) 4-5样品及首产制程监控作业规范(FPME003024-B1) 4-6压合磨边清洗线操作规范(FPME013015-D1)4-7制程品管检验作业规范(FPQC013002-C1)4-8切片与背光作业規範(FPQC013004B1) 4-9 IPQC防焊油墨厚度記錄表(QC013004-06A1)4-10特性/差动线宽量測量記錄表(QC013002-03A1)4-11电镀站填孔电镀切片检验日报表(QC013004-12)4-12压合介层厚
7、度检验表(QC013004-02A1)4.定义:阻抗:物質對於電子訊號的反射以及阻礙的一個物理常數,它同電阻有一定的相似之處,但又有別於單純的電阻,主要考慮線路及介電層厚度之均勻性.5.KCP:制造部,品质管理部,品检部,制造工程部。6.作業系統流程圖:6-1阻抗異常處理分析作業系統流程圖(設計) 客户异常处理方法 客户业务制前接受资料整理叠构设计阻抗设计及 Pola软体模拟 NO 是否OK厂内制程是否有难度(如线宽 YES 公差小,介电层 控制严格) YES NO生管指标:线宽介电层厚度,铜厚控制及阻抗量测生产发工单及生产管制表工单及生产管制表 业务与客户确认 (提出厂内生产建议值) *1
8、运行APQP系统 , 召开各制程会议 NOYES *1 6-2阻抗異常處理分析作業系統流程圖(制中) 制造部制造工程部/品检部异常处理方式 P4 量测数据异常 NO检查是否 为工作 YES参数异常调整参数试作试 *3 确认品质是 NO否正常 *1 YES 续流程生产 IPQC切片量测记录数据 *1 NO制工确认制程 能力是否符 合规格 YES 制工协助现场重新测试调整生产参数试做 NO YES *2 重新Review设计 *2根据Review结果判定是 NO否可进行设计优化 YES *2 *3 6-3 Impedance Control 作業系統流程圖制造部制造工程部/品检部异常处理方式生管发
9、料 裁板 *1 板厚内层和 铜厚是否 NOIN SPEC YES 量产层压 钻孔 电镀P7外层 首件线宽是 NO是否在 IN SPECYES 切片量测 NO 介电层厚 度是否在IN SPEC YES 铜厚管制 NO 是否IN YES SPEC 报废处理(异常回复生管和业务补料作业)调整蚀刻参数及异常板处理规范介厚异常确认及异常板处理规范铜厚异常确认及异常板处理规范 制造部制造工程部/品检部异常处理方式FA转量产包装出货量产终检电子测试铣板防焊表面处理P7阻抗量测油墨厚度是否IN NOSPEC YES切片量测油墨 NO厚度是否IN SPECYES 阻抗量测数据值 NO是否IN SPEC YES
10、品管切片分析量测线宽/介厚/铜厚/油墨厚度FOLLOW防焊油墨异常及异常板处理规范 制前评估后重新投料验证异常部分是 NO否受现场影响 YES整体优化及修改设计 7.作業內容:7-1 製作流程監控 7-1-1內層課 阻抗線寬現場線寬測量儀進行測量,以確保精准度,線寬以中值進行管控,並如實填寫 7-1-2壓合課 介厚按照工單要求進行管控,IPQC對各料号板厚進行監測,如實做好異常板厚的分析與資料收集並即時把異常資訊PASS給制造工程部,經兩者討論後確認是否補償線寬或報廢進行處理. 7-1-3電鍍課IPQC對銅厚進行切片確認,有阻抗的料号铜厚规格不在工单范围内,通知制造工程部进行处理。 7-1-4
11、外層一課 阻抗線寬要求以中值進行管控,並使用線寬測量儀進行測量或使用線寬測量儀檢測,蝕刻首片出來後由IPQC進行線寬測量首片由現場人員送TDR處測試阻值.半测阻抗確認OK後方可作業.量產由現場IPQC進行確認與資料收集。 7-1-5加工課 對成型後阻抗條,由現場人員將阻抗條送TDR處測試阻值,樣品進行全測,量產10% (或依客戶要求)進行抽測,不良板提交制工分析,並將結果及不良原因pass相關單位進行改善. 7-2異常處理流程 7-2-1課若有異常發生時,應立即知會領班及其課主管進行異常查找處理,若自我查檢生產 參數發現異常無法處理時,並知會制工協助處理. 7-2-2在接到異常通知時,確認制程
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