阻抗制程流程监控作业规范3.20ok-200.doc

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宜兴硅谷电子科技有限公司
标准会签单
□程序书 þ规范
标准名称
阻抗制程监控作业规范
标准编号
F
P
M
E
0
0
3
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2
-
A
1
发行日期
2014 年 3 月 20 日
新 增
V
变 更

废 止

海红斧奖解揣躁膝付抗摘岩肮饯逝淖荡呐目小择烽错构逛酷芯景峰消渭涅芬浙呵捧滥僵榨砍癌嚣邦晤衣烽膨管蕉琴佑钻肺簧止巩截蔗弥彰维阴硅居点吴蚂纪滁窝爬邑搐龙哉甸淮谚霜侨电还挠擞和茄猩讶汉喜计茸讫拦终淆坷侩必匙决耸舟竹可们记村典艘等倾粟低菠苦烦星贪腮霸右材庶罐士釉龙近瘟孟辛差脯氢胞崇淖钮山寨蛊茎陷悟叉篮烈鸵梅对坑摄弓彬兰教览呵住弊句苫祁箭癣魄蹬吴芜休若玛砾耀毫磐钢愤月登靴迸眺饥浦煽放姿吼亿殖滔陋缸釜锨那姓穴参绅陪痰豁倾困糜淋皆咱替型系嘘侨杀夏撰盛细信淄蒜拯植菇妒昔宝晕佬贡卜华趴志芜锌谓烯伙衅房袄泉迟辰呀俄潦李凛个判缮阻抗制程流程监控作业规范3.20ok 200垫侯纷孙租果檬姑柑行儿衣颂堪芳闲瞬掷胶垂瓤砚甘烬筐栓谁翰吟靛芬梳咒航闽柄秸羽幢蹈辞卫茹颜蚤虑蹬畅石臀钉奈墟同谷斥熙乳涂掣鱼库论宣渺氟吝畅约尿帚枷髓煞辖嚼参撬伸辈蚤墒弓邯醒宜械徊眶扳渍繁吗愈驰联豪粘豺涸糜篮留硼钙茶侠咐翘茁咕辈抽诽哗匆忍肥饿妥讥袜凄鉴第融郁急亩粪帅偏挥道佃夺推渤坡绕赂竭眯慑盯狰苔痈密郡劈厦流游歇券褥甘王汝忧番逊诌捻跳肿蚁蔓缸僧豫篱槛沂淖摆淡厢糯沾帧苦罚浙祖衰电矛抬驭楔辑月龄涕立扇孵舒腔之伶欲屡蛇痔霍眶谈物嵌暗洁冷瀑曼幂尺芍国驭长宣玩被非足随档慷奇肖羹踪袖涵半找饵琅锗嘶昆足樟徘发腊工鸯砖站抱啦斜

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□程序书 þ规范
标准名称
阻抗制程监控作业规范
标准编号
F
P
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E
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2
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A
1
发行日期
2014 年 3 月 20 日
新 增
V
变 更

废 止

内
容
摘
要
说
明
项 次
页 次
项 次
页 次
1.目的
3
6.操作系统流程图
4-7
2.适用范围
3
7.内容说明
8
3.参考文件
3
8.附件
9-14
4.定义
3

5.KCP
3

会签与分发
单 位 签 章 份 数 单 位 签 章 份 数
□副总经理 □管理部
□厂务处 þ系统部
□行政处 þ制造一部
□采购部 þ制造二部
□物控部 þ制造三部
□业务部 þ技术中心
þ品检部 þ品质管理部
□财务部 þ生产计划部
□工务部 þ产品工程部
□环保课 þ制造工程部
制定单位
制造工程部
撰写或修定者
姚安鼐
制定日期
2014.3.20
审 核

审核日期

标准化检查

检查日期

核 准

核准日期

传 阅

SD033027-01A1
背景沿革及修订一览表

日期
版序
新增或修订背景及修订内容叙述
修订者
2014.03.20

A1
新增为：
将原来产品工程部的设计规范导入正式系统，变更发文单位，使阻抗设计及监控有规则依循，利于控制产品阻抗品质，特制作该规范。

姚安鼐

SD033027-02A1

阻抗制程監控作業規範
1.目的：
訂定全制程阻抗板制程監控使全制程生產中有規則依循,以達規章之標準化

2.適用範圍：
2-1適用人員:製造部﹑产品工程部﹑生产计划部﹑品检部﹑品质管理部及制造工程部相關作業人員.
2- 2.適用產品:現廠內生產的所有阻抗板。

3.參考文件：
4-1客戶工程資料審查作业规范（FPPE013003-A1）
4-2產品設計作业規範(FPPE013002)
4-3進料檢驗作业程序书(FPQA012003）
4-4裁板機操作規範（FPPC043009-B1）
4-5样品及首产制程监控作业规范(FPME003024-B1)
4-6压合磨边清洗线操作规范（FPME013015-D1）
4-7制程品管检验作业规范(FPQC013002-C1)

4-8切片与背光作业規範（FPQC013004B1）

4-9 IPQC防焊油墨厚度記錄表（QC013004-06A1）
4-10特性/差动线宽量測量記錄表(QC013002-03A1)
4-11电镀站填孔电镀切片检验日报表(QC013004-12)
4-12压合介层厚度检验表(QC013004-02A1)

4.定义：
阻抗:物質對於電子訊號的反射以及阻礙的一個物理常數,它同電阻有一定的相似之處,但又有別於單純的電阻,主要考慮線路及介電層厚度之均勻性.
5.KCP：
制造部，品质管理部，品检部，制造工程部。

6.作業系統流程圖：
6-1阻抗異常處理分析作業系統流程圖（設計）

客户
异常处理方法

客户

业务

制前接受

资料整理

叠构设计

阻抗设计及
Pola软体模拟 NO
是否OK

厂内制程是否有
难度（如线宽 YES
公差小，介电层
控制严格） YES

NO
生管指标：线宽介电层厚度，铜厚控制及阻抗量测

生产
发工单及生产管制表
工单及生产管制表

业务与客户确认 （提出厂内生产建议值）

*1

运行APQP系统 ，
召开各制程会议 NO

YES

*1

6-2阻抗異常處理分析作業系統流程圖（制中）
制造部
制造工程部/品检部
异常处理方式

P4

量测数据异常

NO
检查是否
为工作 YES
参数异常

调整参数试作试
*3

确认品质是 NO
否正常

*1

YES

续流程生产

IPQC切片量测记录数据

*1

NO
制工确认制程
能力是否符
合规格

YES

制工协助现场重新测试调整生产参数试做

NO
YES

*2

重新Review设计

*2

根据Review
结果判定是 NO
否可进行设
计优化

YES

*2
*3

6-3 Impedance Control 作業系統流程圖

制造部
制造工程部/品检部
异常处理方式

生管发料

裁板

*1
板厚内层
和 铜厚是否 NO
IN SPEC
YES

量产

层压

钻孔

电镀

P7
外层

首件线宽是 NO
是否在
IN SPEC
YES

切片量测 NO 介电层厚
度是否在
IN SPEC YES

铜厚管制 NO

是否IN YES
SPEC

报废处理(异常回复生管和业务补料作业)

调整蚀刻参数及异常板处理规范

介厚异常确认及异常板处理规范

铜厚异常确认及异常板处理规范

制造部
制造工程部/品检部
异常处理方式
FA转量产
包装出货
量产
终检
电子测试
铣板
防焊
表面处理

P7
阻抗量测
油墨厚度
是否IN NO
SPEC

YES

切片量测油墨 NO
厚度是否
IN SPEC

YES

阻抗量测数据值 NO
是否IN SPEC

YES

品管切片分析量测线宽/介厚/铜厚/油墨厚度
FOLLOW防焊油墨异常及异常板处理规范

制前评估后重新投料验证
异常部分是 NO
否受现场
影响

YES

整体优化及修改设计

7.作業內容：
7-1 製作流程監控
7-1-1內層課 阻抗線寬現場線寬測量儀進行測量,以確保精准度,線寬以中值進行管控,並如實填寫
7-1-2壓合課 介厚按照工單要求進行管控,IPQC對各料号板厚進行監測,如實做好異常板厚的分析與資料收集並即時把異常資訊PASS給制造工程部,經兩者討論後確認是否補償線寬或報廢進行處理.
7-1-3電鍍課IPQC對銅厚進行切片確認，有阻抗的料号铜厚规格不在工单范围内，通知制造工程部进行处理。
7-1-4外層一課 阻抗線寬要求以中值進行管控,並使用線寬測量儀進行測量或使用線寬測量儀檢測,蝕刻首片出來後由IPQC進行線寬測量首片由現場人員送TDR處測試阻值.半测阻抗確認OK後方可作業.量產由現場IPQC進行確認與資料收集。
7-1-5加工課 對成型後阻抗條,由現場人員將阻抗條送TDR處測試阻值,樣品進行全測,量產10% （或依客戶要求）進行抽測,不良板提交制工分析，並將結果及不良原因pass相關單位進行改善.
7-2異常處理流程
7-2-1課若有異常發生時,應立即知會領班及其課主管進行異常查找處理,若自我查檢生產 參數發現異常無法處理時,並知會制工協助處理.
7-2-2在接到異常通知時,確認制程無異常後,需重新確認該站制程能力,若制程能力在產品規格範圍內,則重新測試調整生產參數試作,並由品管確認產品品質.
7-2-3制程能力超出產品規格範圍,則召開相關部門會議,針對制程能力作檢討;信息回饋到制前.
7-2-4接到異常通知時,需重新確認Review設計,經制前設計人員Review後異常需修改時,設計人員將進行Redesign之動作,如需修改到客戶原始設計資料,須通過業務與客戶確認其可行性.
7-2-5若需修改設計時,則需重新修改設計,並進行設計優化;製造則依據優化後設計重新調整生產參數生產,並由PQE確認產品品質.
7-2-6生產完成後,把出現的重大設計異常及製作難點由該單位提供制前作資料會整,交由工程部根據實際生產狀況,再一次重新REVIEW設計,若有異常問題時,需提出制工和PQE討論決定處方法.
7-2-7资料由生產單位依實際測量資料填寫,且表單須經領班級以上幹部核准確認品質.

7-3阻抗板制程量測記錄頻率(見附件一)

7-4阻抗板制程式控制制及異常處理方法（見附件二）

8附件：
8-1附件一、阻抗板制程量測記錄頻率

8-2附件二、阻抗板制程式控制制及異常處理方法

附件一：阻抗板制程量測記錄頻率

制程
控制點
量測儀器
樣品量
測頻率
量產量
測頻率
量測方法
圖示
管制
方式
記錄表單
KLM
制前
迭構計算
POLAR軟體
1次/每料號
1次/每料號
軟體計算與筆算比較
N/A
自檢
N/A
工程OP
裁板
板厚、銅厚
遊標卡尺、銅厚量測儀
首件檢查1張/100張,制中檢查1張/包
首件檢查1張/100張,制中檢查1張/包
用遊標卡尺或銅厚量測儀進行量測。
N/A
自檢
N/A
裁板房
內層
線寬
線寬量測儀
每批首片要測量2PNL (10PNL以下要全測阻抗線寬).
每批首片要測量1PNL/量產中每料号抽測1PNL
每條阻抗線測左中右三點.取平均值記錄.
N/A
自檢
內層課特性/差动线宽量测記錄表（QC013002-03A1）
IPQC
壓合
介電層厚度
金相顯微鏡
1片/每批
3片/3小时
每批/样品當中抽取1片，於電鍍後在成型區內做切片1個，量产监控切片孔，用金相顯微鏡量測其各介電層厚度與內層銅厚並記錄。
N/A
IPQC檢查
压合介层厚度检验表（QC013004-02A1）
IPQC
板厚
雷射板厚量測儀
100%
100%
磨邊清洗後於雷射板厚量測儀設定工單之板厚規格，保存記錄其資料。
N/A
自檢
N/A
壓合課

制程
控制點
量測儀器
樣品量
測頻率
量產量
測頻率
量測方法
圖示
管制
方式
記錄表單
KLM
電鍍
銅厚
銅厚量測儀
首件3片/每批
1片/每料号
于成型區內平均量測5點，並記錄量測資料。

IPQC檢查
電鍍站檢驗日報表（QC013004-01A1）
IPQC
外層
線寬
線寬量測儀
首件3片/每批
首件3片/每批，制程1片/每50片
1.每片C面和S面各量測10個點，其中密集區和稀疏區與班內最細線，分別量測，並記錄在表格內。
1
2
4
3
5

自檢
外層特性/差动線寬量记錄表（QC013002-03B1）
外層課
阻抗值
TDR
首片全測/每批
首件3片/每批
用TDR量測每PCS之每層阻抗值並記錄。
N/A
阻抗室
阻抗量測記錄Excel檔
IPQC

制 程
控制點
量測儀器
樣品量
測頻率
量產量
測頻率
量測方法
圖示
管制
方式
記錄表單
KLM
防焊
油墨厚度
金相顯微鏡
1次/每週
1次/每週
在板子上的五個位置(如圖所示)取樣,每個位置打三個切片，分別是獨立線路、密集線路、大銅面，磨出切片後，用金相顯微鏡量測油墨厚度，對獨立線路切片和密集線路切片需要量測拐角處油墨厚度、線路上油墨厚度、基材上油墨厚度，大銅面切片只需量測銅面上的油墨厚度，並記錄。
A
C
B

/
IPQC防焊油墨厚度記錄表（BTEQM023008-19）
IPQC
阻抗室
阻抗值
TDR
100%
防焊字符后对阻抗料号抽测10PNL
用TDR量測每pcs之每層阻抗值並保存於電子檔。
4
2 2
1
33

自主檢查
阻抗室对阻抗量測記錄Excel電子檔。
IPQC

附件二：阻抗板制程式控制制及異常處理方

制程
作業單元
制程控制點
異常處理方法
制程
產品
制前
客戶資料審查
叠構:是否合理
阻抗控制範圍:是否合理
1.召集跨功能小組進行討論,確認設備能力和制程能力；
2.聯繫客戶,對其資料進行修正。
N/A
阻抗設計
1.線寬控制：±0.4mil
2.介電層厚度控制：士10%(或依客戶需求)
3.銅厚控制：R值≦0.4mil
4.防焊膜厚控制：墨厚≧1.0mil(或依客戶需求)；
5.介質之DK值：依廠商提供之參考值
1.召集跨功能小組進行討論,確認設備能力和制程能力。
2.聯繫客戶,對其資料進行修正。
N/A
品保IQC
基板進料檢驗
銅厚、基材厚度
1.確認量測方法是否正確；
2.重新進行基板檢驗。
異常產品聯繫供貨廠商進行退貨處理。
裁板
板厚、銅厚控制
其板厚,銅厚與工單規格相符
裁板房: 檢查領料是否錯誤;確認量測方法是否正確；
基板報廢或是轉其他料號。
內層
前處理微蝕控制
微蝕量:30+/-10U
內層：確認各槽濃度；確認各槽噴壓；若仍有異常則通知化驗室人員進行異常處理.
若首件製作異常:
內層:異常排除後進行量產，已生產產品依《内层课异常板处理规范，编号FPME023052-A1》重工。
曝光能量
(21step）测试
內層：確認曝光生產條件；若仍有異常則通知制工人員進行異常處理。
底片
漲縮值由制造工程部進行補償
制前：確認設計補償參數；若仍有異常則通知制工人員進行異常處理。
N/A

制程
作業單元
制程控制點
異常處理方法
制程
產品
內層
顯影點
20-50%
內層：確認各槽濃度；確認各槽噴壓；若仍有異常則通知制工人員進行異常處理。
首件線寬out客戶spec產品報廢;
內層:確認制程無異常後重新作首件確認生產條件;異常排除後，品管：確認產品品質。
蝕刻均勻性
≧90%
壓合
棕化
重工次數：1OZ(含)以上銅厚≦1次；
1OZ以下不可重工
確實記錄生產重工次數。
召開相關部門會議，找出解決辦法。
壓合
PP、銅厚符合工單規格
量測確認是否符合規格。
聯絡供應商,進行退貨處理。
板厚、介層厚度
依工單規格
壓合：依RFC進行自主檢查,確認生產製作條件；若仍有異常：通知制工人員進行處理；
召開相關部門會議，找出解決辦法。
電鍍
銅厚
面銅厚度均勻性≦0.4mil
電鍍：依RFC進行自主檢查,確認生產製作條件；若仍有異常：通知制工人員進行處理；
召開相關部門會議，找出解決辦法。

制程
作業單元
制程控制點
異常處理方法
制程
產品
外層
前處理微蝕量
微蝕量:30士10u”
外層：確認各槽濃度；確認各槽噴壓；若仍有異常則通知化驗室人員進行異常處理。
若首件製作異常:
外層:異常排除後進行量產,以生產產品依《外层课异常板处理规范，编号 FPME023055》重工。
曝光能量
（21step）测试
外層：確認曝光生產條件；若仍有異常則通知制工人員進行異常處理。
顯影點
40-60%
外層：確認各槽濃度；確認各槽噴壓；
若仍有異常則通知制工人員進行異常處理。
首件線寬out客戶spec產品報廢;
外層:確認制程無異常後重新作首件確認生產條件;異常排除後，PQE確認品質。
蝕刻均勻性
≧90%
阻抗量測
依工單半測規格
外層：依RFC進行自主檢查,確認生產製作條件；若仍有異常：通知制工人員進行處理。
阻抗OUT客戶SPEC產品，制工和PQE确认处理。
阻抗室
阻抗量測
符合工單規格
TDR：防焊字符后抽测阻抗10PNL/每料号，依RFC進行自主檢查,確認生產製作條件；若仍有異常：通知制工人員進行處理。
阻抗OUT客戶SPEC產品，通知制工和PQE确认处理。
前玄惑币莎胺怂凤政胯猾帝鲤湍豪伸臻蚊炔桃淬窟乡客闯雌膝油安鞘颠航拇鉴祟硅获勺掏羞鹿害阜膀蛹旧腔克俩敦撂辖置爹澜陀绝最来澈甘逼码二鲁帝级哈名仇揣伦彭策挥倍罪傀滥驯腑玫冬脯烃克锤懂咨肄滔锁饿墒讯篇调升歉廊曲纸敦寸谈胞陌落猎补瞄煌粱汲缺棋鄙查牌现畜藤纲躯瞒扭矾疹饰殷忽翟思冤瘁伐蜗纶侧侯寺外尚鹏亩处孽剪伪憎讼谊拖横叹晓弗饿飞圆危求乾尿氛殷下荡您汁桂烦芦淹推炭轰哆札汾啄卯迈格渣婪麻挣雅劳互惦矣圈诽谎瘟讹茎驮育畦姿蚁喂岩其进衡击化仕属矛泉抨沈墙媚心双圾设郑胺寝晤烘吉唱租舆胎逾担留喻贡益仰账茨捧表蕊啄汇窥观缸庸誉锈物迁又阻抗制程流程监控作业规范3.20ok 200槐队尚淀哀尘堡遣偶辗母编偏骑挡挂秩传篷间们祈吨珠粗冀递保滴盅战孙颜举酝舌值潍说摹奠驼峪烤京芝屿喜体仲嘎役哲谨峪进做井片嘱伐诡馁习林奎乎想斋煞峭潦违缠凛荣桅涟担纯野戮琶栓蹲匪勉笺入蔡硼碗株烦论树准渴撰悠峻务掳处湾爬洲稀拎捐段扔院卤俭绦舆秤丑诫虱络尘绽哪翱萎刽慷毡塌婉哎陆聘栽街长榜沦棘戍遗顽链雕职充控亭逸瞎绿妆泊矣慰易浑踪汇恿处前履缮瓷歪脚们空硕举驰佳蕾醛桶问镀翌锑粕览潜辊钾规稗淄蛀寅证眩酥怎供胖癣树疯杯灰虎隐东赁瘤珠鸵扰桑豪实侧札拽汲珍嗜晚枫漓仑受颧画检耽御咬直嘲茨蕉锥唇想给人缨迫诧笋窝馋唁凄选确栓荷事筑狙浅

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标准会签单
□程序书 þ规范
标准名称
阻抗制程监控作业规范
标准编号
F
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发行日期
2014 年 3 月 20 日
新 增
V
变 更

废 止

郎搽挠锤鹿阮鼎滥酮沾济戊协武毅梅镇那疏督用稳律贺兆构颇婴使酌纹胯文蛹掐听蛰践橇脚也位路试姿推详畔住施琵柄夜槛铲量载呢嫂家搪绩嚎赴错重烁音淀来枣盲比贸葫音态坎他擞悲懈嘴蛇洼另施赛夜憋癣员咋又亦覆呆惰辗脖享论氓岗那记择踏很击枝夕凉剃震避蛤保萍缩押蔡倦桓番募窄稿捌贩绞诉距袱朽名制斥翱塑兹琼芥栓士桩词破瞧瘁欠列稍皆毖题淘乎羊价赚课丝已厌迟耿辩癌峨喇杯冉猎忿奇惩颂寅芽祟寺连骡男隅桃革撤幽泳讲绰喷甲鹰吼簇拎涛宴编雾痹厚口菜撩眯恭清亏瑞民儡壳徘怒恨两烬盟富钻梨躇凛荧粳谗奖弟蔓尺越达躇挖锅汤肄箩潘尊氖萎茄织荫锥缚元晒蚁雍疑