先进制造技术3精密与超精密加工技术.pptx

先进制造技术之四先进制造技术之四1、超精密加工技术概述、超精密加工技术概述2、超精密加工技术的发展历程、超精密加工技术的发展历程3、超精密加工的范畴、超精密加工的范畴4、超精密加工的主要研究领域、超精密加工的主要研究领域5、超精密加工的主要方法、超精密加工的主要方法6、超精密加工的发展趋势、超精密加工的发展趋势精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四 精密与超精密加工技术是适应现代技术发精密与超精密加工技术是适应现代技术发展的一种机械加工新工艺。目前成为衡量现代展的一种机械加工新工艺。目前成为衡量现代制造技术水平的重要指标之一，是现代制造技制造技术水平的重要指标之一，是现代制造技术中最活跃的因素术中最活跃的因素,已成为一个国家制造技术水已成为一个国家制造技术水平的主体。平的主体。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术1、概述先进制造技术之四先进制造技术之四l美国的美国的NNI(Nationalnanotechnologyinitiative)纳米计划纳米计划l英国的多学科纳米研究合作计划英国的多学科纳米研究合作计划IRC(Interdisciplinaryresearchcollaborationinnanote-chnology)，l日本的纳米技术支撑计划日本的纳米技术支撑计划世界发达国家均予以高度重视。最近启动的研究世界发达国家均予以高度重视。最近启动的研究计划包括计划包括：精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四精精密密与与超超精精密密加加工工是是指指加加工工精精度度和和表表面面质质量量达达到到极极高高程程度度的的精精密密加加工工工工艺艺。随随着着加加工工技技术术的的发发展展，精精密密加加工工的的技技术术指指标标也在不断变化。也在不断变化。一般加工：一般加工：精度值精度值1-10m左右，左右，Ra0.10.8m精密加工：精密加工：精度值精度值0.1-1m左右，左右，Ra0.1m以下以下超精密加工：超精密加工：精度值精度值0.1m以下，以下，Ra0.02m以下以下纳米加工：纳米加工：精度值低于精度值低于0.001m，Ra小于小于0.005m精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四2、超精密技术的发展历程、超精密技术的发展历程（1）20世纪世纪50年代至年代至80年代为技术开创期；年代为技术开创期；（2）20世纪世纪80年代至年代至90年代为民间工业应用初期；年代为民间工业应用初期；（3）20世纪世纪90年代至今为民间工业应用成熟期；年代至今为民间工业应用成熟期；精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四Y-12核武器工厂核武器工厂原子弹原子弹“小男孩小男孩”原件模型原件模型先进制造技术之四先进制造技术之四先进制造技术之四先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术促进超精密加工技术发展的因素：促进超精密加工技术发展的因素：(1)对产品高质量的追求对产品高质量的追求(2)对产品小型化的追求对产品小型化的追求(3)对产品高可靠性的追求对产品高可靠性的追求(4)对产品高性能的追求对产品高性能的追求先进制造技术之四先进制造技术之四国际知名超精密加工研究单位与企业主要有：国际知名超精密加工研究单位与企业主要有：l美国美国LLNL实验室和实验室和Moore公司公司l英国英国Granfield大学和大学和Tayler公司公司l德国德国Zeiss（蔡司）公司和（蔡司）公司和Kugler公司公司l日本东芝机械、丰田工机和不二越公司等日本东芝机械、丰田工机和不二越公司等国内主要的研究单位有北京机床研究所、清华大学、哈尔滨国内主要的研究单位有北京机床研究所、清华大学、哈尔滨工业大学、中国科学院长春光机所应用光学重点实验室、大连理工业大学、中国科学院长春光机所应用光学重点实验室、大连理工大学和浙江工业大学等。工大学和浙江工业大学等。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四l超精密切削（车削、铣削）超精密切削（车削、铣削）l 超精密磨削超精密磨削l 超精密研磨、抛光超精密研磨、抛光l 微细（超微细，纳米）加工微细（超微细，纳米）加工精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术3、超精密加工的范畴、超精密加工的范畴宏观加工技术宏观加工技术微观加工技术微观加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四 微细（超微细）加工是在半导体集成电路制造技微细（超微细）加工是在半导体集成电路制造技术的基础上形成并发展的术的基础上形成并发展的,是大规模集成电路和计算是大规模集成电路和计算机技术的基础，是信息时代、微电子时代、光电子时机技术的基础，是信息时代、微电子时代、光电子时代的关键制造技术之一。代的关键制造技术之一。超微细加工以电子束、离子束和激光束三束加工超微细加工以电子束、离子束和激光束三束加工为基础，采用沉积、刻蚀、溅射和蒸镀等加工手段进为基础，采用沉积、刻蚀、溅射和蒸镀等加工手段进行各种处理。行各种处理。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术4 4、超精密加工的主要研究领域包括、超精密加工的主要研究领域包括:超精密加工技术是以高精度为目标的技术，超精密加工技术是以高精度为目标的技术，它必须综合应用各种新技术，在各个方面精益它必须综合应用各种新技术，在各个方面精益求精的条件下，才有可能突破常规技术达不到求精的条件下，才有可能突破常规技术达不到的程度界限，实现新的高精度指标。的程度界限，实现新的高精度指标。先进制造技术之四先进制造技术之四（1 1）超精密切削刀具，刀具材料；）超精密切削刀具，刀具材料；（2 2）超精密加工设备；）超精密加工设备；（3 3）超超精精密密加加工工环环境境控控制制(包包括括恒恒温温、隔隔振振、洁洁净控制等净控制等)；（4 4）超精密加工的测控技术。）超精密加工的测控技术。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四（1）超精密加工刀具）超精密加工刀具精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术 超精密加工要求刀具能均匀地去除不大于工件加超精密加工要求刀具能均匀地去除不大于工件加工精度且厚度极薄的金属层或非金属层。工精度且厚度极薄的金属层或非金属层。超精密切削中的加工刀具，一般指天然单晶金刚石超精密切削中的加工刀具，一般指天然单晶金刚石刀具。超精密切削中必须保证金刚石刀具的刀面与刃刀具。超精密切削中必须保证金刚石刀具的刀面与刃口质量。口质量。超精密磨削的加工刀具砂轮的磨料品级与力度均匀超精密磨削的加工刀具砂轮的磨料品级与力度均匀性在加工中十分重要。性在加工中十分重要。先进制造技术之四先进制造技术之四（2）超精密加工设备）超精密加工设备精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术目前的超精密加工机床一般采用目前的超精密加工机床一般采用高精度空气静压轴承高精度空气静压轴承支撑主轴系统；支撑主轴系统；空气静压导轨空气静压导轨支撑进给系统的结构模式。支撑进给系统的结构模式。另外，要实现超微量的切削，必须配有微量移动工作另外，要实现超微量的切削，必须配有微量移动工作台的微进给驱动装置台的微进给驱动装置（摩擦驱动方式）（摩擦驱动方式）和满足刀具角度微和满足刀具角度微调的微量进给机构，并实现数字控制。调的微量进给机构，并实现数字控制。先进制造技术之四先进制造技术之四1）主轴：要求极高的回转精度和刚度。）主轴：要求极高的回转精度和刚度。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术空气静压轴承主轴能够得到高于轴承零件本身的回转精度。空气静压轴承主轴能够得到高于轴承零件本身的回转精度。先进制造技术之四先进制造技术之四2)导轨及进给驱动装置：动作灵活，无爬行等不连导轨及进给驱动装置：动作灵活，无爬行等不连续动作，续动作，直线精度好。通常采用空气静压导轨直线精度好。通常采用空气静压导轨。空气静压导轨空气静压导轨先进制造技术之四先进制造技术之四摩擦驱动原理图摩擦驱动原理图精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术（3）超精密加工的工作环境）超精密加工的工作环境超精密加工必须在超稳定的环境下进行，主要衡量超精密加工必须在超稳定的环境下进行，主要衡量指标有三个：指标有三个：l超净超净l防振防振l恒温恒温先进制造技术之四先进制造技术之四6、超精密加工的主要方法超精密加工的主要方法精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术6、1金刚石刀具镜面切削金刚石刀具镜面切削(1)金刚石刀头的特性金刚石刀头的特性(2)金刚石刀头的制造金刚石刀头的制造(3)刀头的使用特性刀头的使用特性(4)刀头的形状刀头的形状先进制造技术之四先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术1)金刚石的颜色和硬度选用金刚石的颜色和硬度选用黄色金刚石：韧性较好，硬度较高，一般用于金黄色金刚石：韧性较好，硬度较高，一般用于金属材料和硬度较低的材料的加工属材料和硬度较低的材料的加工茶色金刚石：韧性差，硬度最高，一般用于难切茶色金刚石：韧性差，硬度最高，一般用于难切削材料的镜面加工中。削材料的镜面加工中。2）热传导率）热传导率金刚石的热传导率是矿物中最大的，切削加工中金刚石的热传导率是矿物中最大的，切削加工中发热量非常小。发热量非常小。先进制造技术之四先进制造技术之四天然金刚石的加工多采用研磨加工方法，通天然金刚石的加工多采用研磨加工方法，通常采用空气轴承研磨机，由于振动小，可达到很常采用空气轴承研磨机，由于振动小，可达到很低的粗糙度和极小的刃口半径。低的粗糙度和极小的刃口半径。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四1）刀尖的磨损）刀尖的磨损在切削距离到达在切削距离到达100km以前，后刀面磨损急剧上以前，后刀面磨损急剧上升，以后磨损逐渐减慢。升，以后磨损逐渐减慢。注：由于积屑瘤的原因，一般将研磨好的锋利刀注：由于积屑瘤的原因，一般将研磨好的锋利刀尖有意加工成理想的稳定的磨损状态。尖有意加工成理想的稳定的磨损状态。2）切削速度和振动）切削速度和振动提高切削速度有利于获得良好的加工表面，但注意提高切削速度有利于获得良好的加工表面，但注意以不产生振动为准则。以不产生振动为准则。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四(a)直线刃刀头(b)直线刃刀头(c)圆弧刃刀头精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术6、2超精密磨削超精密磨削加工精度：加工精度：0.1um，Ra0.0020.02um的磨削方法的磨削方法超精密磨削一般采用细粒度（超精密磨削一般采用细粒度（80400)砂轮，经过砂轮，经过精细修整，光磨精细修整，光磨46次，便可获得粗糙度为次，便可获得粗糙度为Ra0.0050.02um的加工表面。的加工表面。先进制造技术之四先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术（1）超精密磨削表面的形成机制）超精密磨削表面的形成机制超精密磨削获得的极低的表面粗糙度，主要靠砂轮精超精密磨削获得的极低的表面粗糙度，主要靠砂轮精细修整得到的大量的、等高性很好的微刃来实现微量切削细修整得到的大量的、等高性很好的微刃来实现微量切削作用。作用。随着磨削时间的增加，微刃被磨的平坦，等高性获得改随着磨削时间的增加，微刃被磨的平坦，等高性获得改善，作用在每一个微刃上的磨削力减小。随着磨削作用力善，作用在每一个微刃上的磨削力减小。随着磨削作用力的减小，磨粒的摩擦抛光作用加强。这种摩擦、抛光作用的减小，磨粒的摩擦抛光作用加强。这种摩擦、抛光作用在精密磨削过程中对稳定尺寸、降低表面粗糙度都起至关在精密磨削过程中对稳定尺寸、降低表面粗糙度都起至关重要的作用。重要的作用。先进制造技术之四先进制造技术之四硬脆材料超精密磨削的主要方式硬脆材料超精密磨削的主要方式延性磨削延性磨削在硬脆材料磨削加工中，为了使加工表面不产生脆性在硬脆材料磨削加工中，为了使加工表面不产生脆性断裂现象，使材料以断裂现象，使材料以“塑性塑性”流动方式去除，必须保证未变流动方式去除，必须保证未变形切削厚度小于脆性形切削厚度小于脆性-塑性塑性(或称延性或称延性)转换临界值。该临界值转换临界值。该临界值因材料而异，大约为因材料而异，大约为0.1m。能满足这种磨削条件的方式称。能满足这种磨削条件的方式称为延性磨削方式。为延性磨削方式。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四（2）影响超精密磨削质量的主要因素：影响超精密磨削质量的主要因素：1）砂轮特性的影响：磨料材料、粒度、结合剂）砂轮特性的影响：磨料材料、粒度、结合剂磨料材料与工件材料的选配应遵循以下基本规磨料材料与工件材料的选配应遵循以下基本规律：律：钢件和铸铁零件应选用单晶刚玉砂轮；对铜合钢件和铸铁零件应选用单晶刚玉砂轮；对铜合金和铝合金零件，单晶刚玉和碳化硅磨料均可；硬金和铝合金零件，单晶刚玉和碳化硅磨料均可；硬脆材料零件的超精密磨削，应选用立方氮化堋、金脆材料零件的超精密磨削，应选用立方氮化堋、金刚石磨料的砂轮。刚石磨料的砂轮。具备形成微刃的粒度才是超精密磨削砂轮选用具备形成微刃的粒度才是超精密磨削砂轮选用的粒度。超精密磨削所选用的磨料粒度为：的粒度。超精密磨削所选用的磨料粒度为：80400。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术普通工件材料的零件宜选用硬度中软、使用陶瓷结合剂且普通工件材料的零件宜选用硬度中软、使用陶瓷结合剂且组织紧密的砂轮，且磨粒分布要均匀；超硬磨料砂轮采用金组织紧密的砂轮，且磨粒分布要均匀；超硬磨料砂轮采用金属结合剂。属结合剂。2）砂轮修整的影响）砂轮修整的影响砂轮的修整通常采用砂轮的修整通常采用车削法和电解法车削法和电解法。车削法适用普通。车削法适用普通磨料砂轮的修整，而电解法适用超硬磨料砂轮的修整。磨料砂轮的修整，而电解法适用超硬磨料砂轮的修整。ELID砂轮修整方法砂轮修整方法1987年日本学者大森整提出的在线电解砂轮修整年日本学者大森整提出的在线电解砂轮修整(electrolyticinprocessdressing,ELID)方法，可以用于超精密方法，可以用于超精密延性磨削。延性磨削。先进制造技术之四先进制造技术之四ELID修整方法中，砂轮在工作中接正电极，安装在修整方法中，砂轮在工作中接正电极，安装在机床上的修整电极为负电极，通过砂轮与电极之间浇注机床上的修整电极为负电极，通过砂轮与电极之间浇注的电解液进行电化学作用在线修整砂轮，使砂轮保持锋的电解液进行电化学作用在线修整砂轮，使砂轮保持锋利。利。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四大森整使用大森整使用ELID方法加工光学玻璃非球面方法加工光学玻璃非球面透镜，精度达到透镜，精度达到0.2m，表面粗糙度，表面粗糙度Ra达达20nm。砂轮的修整用量对超精密磨削质量也有一砂轮的修整用量对超精密磨削质量也有一定的影响。修整参数包括：修整导程、修整切定的影响。修整参数包括：修整导程、修整切深、修整次数以及光修次数。深、修整次数以及光修次数。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四3)磨削用量对超精密磨削表面的影响（包括砂轮磨削用量对超精密磨削表面的影响（包括砂轮速度、工作台速度、磨削深度）速度、工作台速度、磨削深度）精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术砂轮速度对磨削表面粗糙度无显著影响。但速度砂轮速度对磨削表面粗糙度无显著影响。但速度增加，机床振动变大，对工件加工不利。增加，机床振动变大，对工件加工不利。工作台速度对磨削表面质量影响很大，应选用低工作台速度对磨削表面质量影响很大，应选用低一点的工作台速度。一点的工作台速度。磨削深度不能过大，一般小于磨削深度不能过大，一般小于0.003mm。4)光磨次数的影响光磨次数的影响5)冷却润滑液的影响冷却润滑液的影响先进制造技术之四先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术6、3超精密研磨、抛光超精密研磨、抛光研磨和抛光利用研磨剂使工件和研具之间通过相研磨和抛光利用研磨剂使工件和研具之间通过相对复杂的轨迹而获得高质量、高精度的加工方法。对复杂的轨迹而获得高质量、高精度的加工方法。通常，研磨为次终加工工序，将平面度降低至数通常，研磨为次终加工工序，将平面度降低至数微米以下，并去前道工序微米以下，并去前道工序(通常为磨削通常为磨削)产生的损伤层。产生的损伤层。抛光是目前主要的终加工手段，目的是降低表面粗糙抛光是目前主要的终加工手段，目的是降低表面粗糙度并去除研磨形成的损伤层，获得光滑、无损伤的加度并去除研磨形成的损伤层，获得光滑、无损伤的加工表面。抛光过程中材料去除量十分微小，约为几个工表面。抛光过程中材料去除量十分微小，约为几个微米。微米。先进制造技术之四先进制造技术之四6、3、1研磨加工的机制和特点研磨加工的机制和特点通常使用尺寸为几个通常使用尺寸为几个um至十几至十几um大小的氧化铝和大小的氧化铝和碳化硅做研磨剂（磨料），铸铁等硬质材料做研具。碳化硅做研磨剂（磨料），铸铁等硬质材料做研具。精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术6、3、2抛光加工的机制与特点抛光加工的机制与特点通常使用通常使用1um以下的微细磨粒，而抛光器则需要以下的微细磨粒，而抛光器则需要使用沥青、石蜡、合成树脂、人造革、特富隆等软制使用沥青、石蜡、合成树脂、人造革、特富隆等软制材料制成。材料制成。超精密研磨（抛光）通常选用粒度大小只有几个超精密研磨（抛光）通常选用粒度大小只有几个或几十个纳米的研磨微粒，对加工表面进行长时间的或几十个纳米的研磨微粒，对加工表面进行长时间的研磨以达到极高表面质量，超精密研磨机床的要求很研磨以达到极高表面质量，超精密研磨机床的要求很高。高。先进制造技术之四先进制造技术之四弹性发射研磨抛光加工弹性发射研磨抛光加工弹性发射加工弹性发射加工(ElasticEmissioMachining,EEM)是是一种新的一种新的“原子级尺寸加工方法原子级尺寸加工方法”。EEM使用软使用软(在微在微小压力下很容易发生变形小压力下很容易发生变形)的聚亚胺酯球作为抛光工具的聚亚胺酯球作为抛光工具(研磨工具研磨工具)，同时控制旋转轴与加工工件的接触线保持，同时控制旋转轴与加工工件的接触线保持在在45角。抛光时角。抛光时,垂直工件方向施加载荷，并且保持载垂直工件方向施加载荷，并且保持载荷是荷是1个常量。个常量。EEM采用亚微米（纳米）尺寸微粉（氧采用亚微米（纳米）尺寸微粉（氧化锆）化锆）,微粉与水混合。通过强迫微粉在旋转的聚亚胺微粉与水混合。通过强迫微粉在旋转的聚亚胺酯球表面下方与工件间距近似酯球表面下方与工件间距近似1m（也就是大于研磨微（也就是大于研磨微粉尺寸粉尺寸)加工工件。加工工件。先进制造技术之四先进制造技术之四先进制造技术之四先进制造技术之四弹性发射加工研磨抛光弹性发射加工研磨抛光先进制造技术之四先进制造技术之四磁力研磨抛光磁力研磨抛光磁力研磨抛光是利用磁场作用进行研磨加工的新磁力研磨抛光是利用磁场作用进行研磨加工的新方法，它能高效、快速地对各种材料、尺寸和结构的方法，它能高效、快速地对各种材料、尺寸和结构的零件进行超精密加工，是一种投资少、效率高、用途零件进行超精密加工，是一种投资少、效率高、用途广、质量好的研磨加工方法。广、质量好的研磨加工方法。先进制造技术之四先进制造技术之四磁力研磨抛光磁力研磨抛光先进制造技术之四先进制造技术之四化学机械研磨抛光化学机械研磨抛光（CMP)化学机械抛光分为干式和湿式抛光两种。干式抛化学机械抛光分为干式和湿式抛光两种。干式抛光是报道较多的用于加工蓝宝石材料的抛光方法。湿光是报道较多的用于加工蓝宝石材料的抛光方法。湿式抛光法已被世界上广泛接受为一种加工半导体硅片式抛光法已被世界上广泛接受为一种加工半导体硅片的标准方法。的标准方法。先进制造技术之四先进制造技术之四化学机械研磨抛光化学机械研磨抛光（CMP)先进制造技术之四先进制造技术之四化学机械研磨抛光化学机械研磨抛光粗研粗研精研精研粗抛粗抛精抛精抛(CMP)先进制造技术之四先进制造技术之四化学机械研磨抛光化学机械研磨抛光先进制造技术之四先进制造技术之四水合研磨抛光是一种积极利用在工件临界面上生水合研磨抛光是一种积极利用在工件临界面上生成水合化反应的研磨抛光方法。其主要特点是不使成水合化反应的研磨抛光方法。其主要特点是不使用磨粒和加工液，而加工装置又与目前使用的研磨用磨粒和加工液，而加工装置又与目前使用的研磨盘或抛光机相似，只是在水蒸汽环境中进行加工。盘或抛光机相似，只是在水蒸汽环境中进行加工。为此，要尽量避免使用能与工件产生固相反应的材为此，要尽量避免使用能与工件产生固相反应的材料抛光盘。料抛光盘。水合研磨抛光水合研磨抛光先进制造技术之四先进制造技术之四水合研磨抛光水合研磨抛光先进制造技术之四先进制造技术之四悬浮抛光悬浮抛光悬浮抛光是在微粉粒子的撞击和研磨液的化悬浮抛光是在微粉粒子的撞击和研磨液的化学作用下产生研磨作用，去除工件表面的微量材学作用下产生研磨作用，去除工件表面的微量材料。该方法经济性好、生产率高。不仅可达到很料。该方法经济性好、生产率高。不仅可达到很高的表面粗糙度等级，而且加工的几何精度也很高的表面粗糙度等级，而且加工的几何精度也很高，并在被加工表面几乎不产生变质层，这对微高，并在被加工表面几乎不产生变质层，这对微电子功能材料的加工有很重要的应用价值。电子功能材料的加工有很重要的应用价值。先进制造技术之四先进制造技术之四悬浮抛光悬浮抛光先进制造技术之四先进制造技术之四离子束抛光离子束抛光离子束抛光是把中性离子在电场中加速，撞击工离子束抛光是把中性离子在电场中加速，撞击工件表面的原子或分子，使其逸出表面从而将材料去除。件表面的原子或分子，使其逸出表面从而将材料去除。由于被加工材料以原子或分子为单位去除，可获得纳由于被加工材料以原子或分子为单位去除，可获得纳米级高质量加工表面。米级高质量加工表面。先进制造技术之四先进制造技术之四先进制造技术之四先进制造技术之四等离子体辅助抛光又称化学蒸发加工等离子体辅助抛光又称化学蒸发加工(chemicalvaporizationmachining，CVM)，是在真空环境下进行，是在真空环境下进行将化学气体将化学气体(通常为卤素类气体，如通常为卤素类气体，如CF、Cl2等等)激发成激发成活性等离子体，与加工面产生化学反应，生成挥发性物活性等离子体，与加工面产生化学反应，生成挥发性物质从而达到材料去除的目的。这种加工方法实用化的一质从而达到材料去除的目的。这种加工方法实用化的一种就是等离子腐蚀。种就是等离子腐蚀。等离子体辅助抛光等离子体辅助抛光(PACE)先进制造技术之四先进制造技术之四先进制造技术之四先进制造技术之四7、超精密加工的发展趋势、超精密加工的发展趋势l高精度、高效率高精度、高效率l工艺整合化工艺整合化l两极化（大型化、微型化）两极化（大型化、微型化）l在线检测在线检测l智能化智能化l绿色化绿色化精密与超精密加工技术精密与超精密加工技术先进制造技术之四先进制造技术之四超精密加工的设备超精密加工的设备超精密加工设备是实现精密加工的重要组超精密加工设备是实现精密加工的重要组成部分。目前，在超精密加工设备的开发方面，成部分。目前，在超精密加工设备的开发方面，美国、日本和英国走在前列。美国、日本和英国走在前列。超精密加工设备应由精密结构化、温度控超精密加工设备应由精密结构化、温度控制、振动控制和先进驱动装置组成。制、振动控制和先进驱动装置组成。先进制造技术之四先进制造技术之四加工平面：加工平面：Ra0.005um超精密数控车床超精密数控车床北北京京机机床床研研究究所所先进制造技术之四先进制造技术之四超精密光学镜面铣床超精密光学镜面铣床Ra0.01m北北京京机机床床研研究究所所先进制造技术之四先进制造技术之四主轴回转精度：主轴回转精度：0.05m；导轨直线度：导轨直线度：0.2m/200mm；恒温油温控精度：恒温油温控精度：0.004；微量进给精度：微量进给精度：0.05m；加工的零件：尺寸形状误差加工的零件：尺寸形状误差0.2m，Ra0.02m。亚微米超精密车床亚微米超精密车床哈哈尔尔滨滨工工业业大大学学先进制造技术之四先进制造技术之四非球曲面超精密磨削机床非球曲面超精密磨削机床哈哈尔尔滨滨工工业业大大学学先进制造技术之四先进制造技术之四ELID超精密镜面磨削机床超精密镜面磨削机床加工零件的表面粗糙度小于加工零件的表面粗糙度小于10nm哈哈尔尔滨滨工工业业大大学学先进制造技术之四先进制造技术之四（1）重视世界先进科技的发展）重视世界先进科技的发展,积极引进和跟踪高新技术积极引进和跟踪高新技术（2）重视全行业组织）重视全行业组织,以廉价化策略为目标以廉价化策略为目标,进行整体规划进行整体规划（3）重视工艺的）重视工艺的“固化固化”工作工作（4）支持以创新为特色的基础研究）支持以创新为特色的基础研究展望与对策展望与对策为了尽快提升我国超精密加工的水平和能力，应该为了尽快提升我国超精密加工的水平和能力，应该加强超精密加工技术的研究力度加强超精密加工技术的研究力度,工厂、高校和研究所应工厂、高校和研究所应密切合作，重视以下几方面工作：密切合作，重视以下几方面工作：先进制造技术之四先进制造技术之四谢谢！谢谢！