第十一章新型传感器.pptx
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1、集成温度传感器集成温度传感器 一、所谓集成传感器 就就是是在在一一块块极极小小的的半半导导体体芯芯片片上上集集成成了了包包括括温温度度敏敏感感器器件件、信信号号放放大大电电路路、温温度度补补偿偿电电路路、基基准准电电源源电电路路等等在在内内的的各个单元,它使传感器和集成电路融为一体。各个单元,它使传感器和集成电路融为一体。集成温度传感器与传统的热电阻、热电偶集成温度传感器与传统的热电阻、热电偶温度计相比最大的优点是:温度计相比最大的优点是:线性度好线性度好 、灵敏、灵敏度高度高 、输出信号大,且规范化标准化、输出信号大,且规范化标准化 二、优点二、优点集成温度传感器按信号输出形式分为:电流型集
2、成温度传感器按信号输出形式分为:电流型 、电压型电压型集成温度传感器集成温度传感器 三、AD590AD590系列集成温度传感器系列集成温度传感器 AD590AD590是是电电流流型型集集成成温温度度传传感感器器,其其输输出出电电流流与与环环境境绝绝对对温温度度成成正正比比,所所以以可可以以直直接接制制成成绝绝对对温温度度仪仪。AD590AD590有有I I、J J、K K、L L、M M等等型型号号系系列列,采采用用金金属属管壳封装。管壳封装。外形图外形图电路符号电路符号电源+电流输出端美国DALLAS公司生产的单总线数字温度传感器DS1820,可把温度信号直接转换成串行数字信号供微机处理。由
3、于每片DS1820含有唯一的串行序列号,所以在一条总线上可挂接任意多个DS1820芯片。从DS1820读出的信息或写入DS1820的信息,仅需要一根口线(单总线接口)。读写及温度变换功率来源于数据总线,总线本身也可以向所挂接的DS1820供电,而无需额外电源。DS1820提供九位温度读数,构成多点温度检测系统而无需任何外围硬件。数字输出型IC温度传感器、DS1820DS1820的特性的特性u单线接口:仅需一根口线与MCU连接;u无需外围元件;u由总线提供电源;u测温范围为-55125,精度为0.5;u九位温度读数;uA/D变换时间为200ms;u用户可以任意设置温度上、下限报警值,且能够识别具
4、体报警传感器。DS1820123GNDI/O VDD(a)PR35封装DS1820的管脚排列DS182012345678I/OGND(b)SOIC封装NCNCNCNCVDDNC2 2、DS1820DS1820引脚及功能引脚及功能GND:地;VDD:电源电压I/O:数据输入输出脚(单线接口,可作寄生供电)3 3、DS1820DS1820的工作原理的工作原理图为DS1820的内部框图,它主要包括寄生电源寄生电源、温温度传感器度传感器、64位激光位激光ROM单线接口单线接口、存放中间数据的高存放中间数据的高速暂存器速暂存器(内含便笺式RAM),用于存储用户设定的温度上下限值的TH和TL触发器存储与控
5、制逻辑、8位循环冗余校验码(CRC)发生器等七部分。存储器控制逻辑64bitROM和单线接口电源检测温度传感器高温触发器低温触发器8位CRC触发器存储器DS1820内部结构图寄生电源由两个二极管和寄生电容组成。电源检测电路用于判定供电方式。寄生电源供电时,电源端接地,器件从总线上获取电源。在I/O线呈低电平时,改由寄生电容上的电压继续向器件供电。寄生电源两个优点:n检测远程温度时无需本地电源;n缺少正常电源时也能读ROM。若采用外部电源,则通过二极管向器件供电。(1)(1)寄生电源寄生电源DS1820内部的低温度系数振荡器能产生稳定的频率信号f0,高温度系数振荡器则将被测温度转换成频率信号f。
6、当计数门打开时,DS1820对f0计数,计数门开通时间由高温度系数振荡器决定。芯片内部还有斜率累加器,可对频率的非线性予以补偿。测量结果存入温度寄存器中。一般情况下的温度值应为9位(符号点1位),但因符号位扩展成高8位,故以16位补码形式读出,表3.4-1给出了DS1820温度和数字量的对应关系。温度/输出的二进制码对应的十六进制码+125000000001111101000FAH+2500000000001100100032H+1/200000000000000010001H000000000000000000000H-1/21111111111111111FFFFH-25111111111
7、1001110FFCEH-551111111110010010FF92HDS1820温度与数字量对应关系表温度与数字量对应关系表温度测量电路斜率累加器计数器1计数器2低温度系数晶振高温度系数晶振=0=0预置温度寄存器预置比较停止置位/清零加1(2)(2)温度测量原理温度测量原理DS1820测量温度时使用特有的温度测量技术,如图。集成温度传感器集成温度传感器 五、温度变送器温度变送器 温温度度变变送送器器有有三三个个品品种种:直直流流毫毫伏伏变变送送器器、热热电电偶偶温度变送器温度变送器和和热电阻温度变送器热电阻温度变送器。将将输输入入的的直直流流毫毫伏伏信信号号及及被被测测温温度度信信号号转转
8、换换为为4mA4mA20mA20mA DCDC和和IVIV5VDC5VDC输输出出的的统统一一信信号号的的装装置置称称为为变变送送器器。这这三三种种变变送送器器在在线线路路结结构构上上都都分分为为量量程程单单元元和和放放大大单单元元两两个个部部分分,其其中放大单元是通用的,量程单元随品种、测量范围而变。中放大单元是通用的,量程单元随品种、测量范围而变。所谓变送器所谓变送器集成温度传感器集成温度传感器 五、温度变送器温度变送器 温温度度变变送送器器有有三三个个品品种种:直直流流毫毫伏伏变变送送器器、热热电电偶偶温度变送器温度变送器和和热电阻温度变送器热电阻温度变送器。集成温度传感器集成温度传感器
9、 五、温度变送器温度变送器 温温度度变变送送器器有有三三个个品品种种:直直流流毫毫伏伏变变送送器器、热热电电偶偶温度变送器温度变送器和和热电阻温度变送器热电阻温度变送器。集成温度传感器集成温度传感器 五、温度变送器温度变送器 温温度度变变送送器器有有三三个个品品种种:直直流流毫毫伏伏变变送送器器、热热电电偶偶温度变送器温度变送器和和热电阻温度变送器热电阻温度变送器。集成温度传感器集成温度传感器 六、一体化温度变送器一体化温度变送器 一一体体化化温温度度变变送送器器是是温温度度传传感感元元件件与与变变送送电电路路的的紧紧密密结结合合体体。它它是是一一种种小小型型固固态态化化温温度度变变送送器器,
10、与与热热电电偶偶或或热热电电阻阻安安装装在在一一起起,不不需需要要补补偿偿导导线线或或延延长长线线,由由直直流流24V24V供供电电,用用两两线线制制方式连接,输出方式连接,输出4mA4mA20mADC20mADC标准信号。其原理框图如标准信号。其原理框图如下下。一体化温度变送器原理框图一体化温度变送器原理框图 温度传感器温度传感器典型应用典型应用 一、金属表面温度的测量金属表面温度的测量二、热电偶炉温控制系统温度传感器温度传感器典型应用典型应用 三、采用集成温度传感器的数字式温度计采用集成温度传感器的数字式温度计温度传感器温度传感器典型应用典型应用 四、电动机保护器电动机保护器磁敏传感器磁敏
11、传感器 n磁敏传感器是基于磁电转换原理的传感器。早在1856年和1879年就发现了磁阻效应和霍尔效应,但作为实用的磁敏传感器则产生于半导体材料发现之后。60年代初,西门子公司研制出第一个实用的磁敏元件;1966年又出现了铁磁性薄膜磁阻元件;1968年索尼公司研制成性能优良、灵敏度高的磁敏二极管;1974年美国韦冈德发明了双稳态磁性元件。目前上述磁敏元件已得到广泛的应用。n磁敏传感器主要有磁敏电阻磁敏电阻、磁敏二极管磁敏二极管、磁敏三极管磁敏三极管和霍尔式磁敏传感器霍尔式磁敏传感器。6.1 磁敏电阻器磁敏电阻器 磁磁敏敏电电阻阻器器(Magnetic Resistance)是是基基于于磁磁阻阻效
12、效应应的的磁磁敏敏元元件件,也也称称MR元元件件。磁磁敏敏电电阻阻的的应应用用范范围围比比较较广广,可可以以利利用用它它制制成成磁磁场场探探测测仪仪、位位移和角度检测器、安培计以及磁敏交流放大器等。移和角度检测器、安培计以及磁敏交流放大器等。一、磁阻效应一、磁阻效应 若若给给通通以以电电流流的的金金属属或或半半导导体体材材料料的的薄薄片片加加以以与与电电流流垂垂直直或或平平行行的的外外磁磁场场,则则其其电电阻阻值值就就增增加加。称称此此种种现现象象为为磁磁致致电电阻阻变变化化效效应应,简简称称为为磁磁阻效应。阻效应。在外加磁场作用下,某些载流子受到的洛伦兹力比霍尔电场作在外加磁场作用下,某些载
13、流子受到的洛伦兹力比霍尔电场作用力大时,它的运动轨迹就偏向洛伦兹力的方向;这些载流子用力大时,它的运动轨迹就偏向洛伦兹力的方向;这些载流子从一个电极流到另一个电极所通过的路径就要比无磁场时的路从一个电极流到另一个电极所通过的路径就要比无磁场时的路径长些,因此增加了电阻率。径长些,因此增加了电阻率。当温度恒定时,在磁场内,磁阻与磁感应强度当温度恒定时,在磁场内,磁阻与磁感应强度 B 的平方成的平方成正比。如果器件只是在电子参与导电的简单情况下,理论推导正比。如果器件只是在电子参与导电的简单情况下,理论推导出来的磁阻效应方程为出来的磁阻效应方程为式中式中 B 磁感应强度为磁感应强度为B时的电阻率;
14、时的电阻率;0 零磁场下的电阻率;零磁场下的电阻率;电子迁移率;电子迁移率;B 磁感应强度。磁感应强度。当电阻率变化为当电阻率变化为B 0时,则电阻率的相对变化为:时,则电阻率的相对变化为:/0=0.2732B2=K2B2由此可知,磁场一定时由此可知,磁场一定时电子迁移率越高电子迁移率越高的材料(如的材料(如InSb、InAs和和NiSb等半导体材料),其磁阻效应越明显。等半导体材料),其磁阻效应越明显。当材料中仅存在一种载流子时磁阻效应几乎可以忽略,此时霍耳效应更为强烈。若在电子和空穴都存在的材料(如InSb)中,则磁阻效应很强。磁阻效应还与磁敏电阻的形状、尺寸密切相关。这种与与磁敏电阻磁敏
15、电阻形状、尺寸有关的磁阻效应称为磁阻效应的几何磁形状、尺寸有关的磁阻效应称为磁阻效应的几何磁阻效应阻效应。若考虑其形状的影响。电阻率的相对变化与磁感应强度和迁移率的关系可表达为长方形长方形磁阻器件只有在磁阻器件只有在L(长度长度)b(宽度)的条件下,才表现(宽度)的条件下,才表现出较高的灵敏度。把出较高的灵敏度。把Ll的纵长方形片,由于电子运动偏向一侧,必然产生霍尔效应,当霍尔电场EH对电子施加的电场力fE和磁场对电子施加的洛伦兹力fL平衡时,电子运动轨迹就不再继续偏移,所以片内中段电子运动方向和长度l的方向平行,只有两端才是倾斜的。这种情况电子运动路径增加得并不显著,电阻增加得也不多。LbB
16、B几何磁阻效应II(a)(b)图(b)是在Lb长方形磁阻材料上面制作许多平行等间距的金属条(即短路栅格),以短路霍尔电势,这种栅格磁阻器件如图(b)所示,就相当于许多扁条状磁阻串联。所以栅格磁阻器件既增加了零磁场电阻值、又提高了磁阻器件的灵敏度。实验表明,对于InSb材料,当B=1T时,电阻可增大10倍(因为来不及形成较大的霍尔电场EH)。磁敏电阻通常使用两种方法来制作:磁敏电阻通常使用两种方法来制作:一一种种是是在在较较长长的的元元件件片片上上用用真真空空镀镀膜膜方方法法制制成成,如如图图(a)所所示示的的许许多多短短路路电电极极(光栅状光栅状)的元件;的元件;另另一一种种是是由由InSb和
17、和NiSb构构成成的的共共晶晶式式半半导导体体(在在拉拉制制 InSb单单晶晶时时,加加入入1的的Ni,可可得得InSb和和NiSb的的共共晶晶材材料料)磁磁敏敏电电阻阻。这这种种共共晶晶里里,NiSb呈呈具具有有一一定定排排列列方方向向的的针针状状晶晶体体,它它的的导导电电性性好好,针针的的直直径径在在1 m左左右右,长长约约100 m,许许多多这这样样的的针针横横向向排排列列,代代替替了了金金属属条条起起短短路路霍霍尔尔电电压压的的作作用用。由由于于InSb的的温温度度特特性性不不佳佳,往往往往在在材材料料中中加加人人一一些些N型型碲碲或或硒硒,形形成成掺掺杂杂的的共共晶晶,但但灵灵敏敏度
18、度要要损损失失一一些些。在在结结晶晶制制作作过过程程中中有有方方向向性性地地析析出出金金属属而而制制成成磁磁敏敏电电阻阻,如如上上图图(b)所示。所示。除除此此之之外外,还还有有圆圆盘盘形形,中中心心和和边边缘缘处处各各有有一一电电极极,如如上上图图(c)所所示示。磁磁敏敏电阻大多制成圆盘结构。电阻大多制成圆盘结构。二、磁敏电阻的结构二、磁敏电阻的结构 各种形状的磁敏电阻,其磁阻与各种形状的磁敏电阻,其磁阻与磁感应强度的关系如右图所示。由图磁感应强度的关系如右图所示。由图可见,圆盘形样品的磁阻最大。可见,圆盘形样品的磁阻最大。磁敏电阻的灵敏度一般是非线性磁敏电阻的灵敏度一般是非线性的,且受温度
19、影响较大的,且受温度影响较大;因此,使用;因此,使用磁敏电阻时必须首先了解如下图所磁敏电阻时必须首先了解如下图所示的持性曲线。然后,确定温度补偿示的持性曲线。然后,确定温度补偿方案。方案。磁阻元件的电阻值与磁场的极性无关,它只随磁场强度的增加而增加磁阻元件的温度特性不好,在应用时,一般都要设计温度补偿电路。磁敏电阻器的应用:磁敏电阻器的应用:1 作控制元件作控制元件 可将磁敏电阻用于交流变换器、频率变换器、功率电压变换器、可将磁敏电阻用于交流变换器、频率变换器、功率电压变换器、磁通密度电压变换器和位移电压变换器等电路中作控制元件。磁通密度电压变换器和位移电压变换器等电路中作控制元件。2作计量元
20、件作计量元件 可将磁敏电阻用于磁场强度测量、位移测量、频率测量和功率因可将磁敏电阻用于磁场强度测量、位移测量、频率测量和功率因数测量等诸多方面。数测量等诸多方面。3作开关电路作开关电路 在接近开关、磁卡文字识别和磁电编码器等方面。在接近开关、磁卡文字识别和磁电编码器等方面。4作运算器作运算器 可用磁敏电阻在乘法器、除法器、平方器、开平方器、立方器和可用磁敏电阻在乘法器、除法器、平方器、开平方器、立方器和开立方器等方面使用。开立方器等方面使用。5作模拟元件作模拟元件 可在非线性模拟、平方模拟、立方模拟、三次代数式模拟和负阻可在非线性模拟、平方模拟、立方模拟、三次代数式模拟和负阻抗模拟等方面使用。
21、抗模拟等方面使用。磁敏电阻的应用磁敏电阻的应用 根据铁磁根据铁磁物体对地磁的物体对地磁的扰动,可检测扰动,可检测车辆的存在,车辆的存在,可用于包括自可用于包括自动开门,路况动开门,路况监测,停车场监测,停车场检测,车辆位检测,车辆位置监测,红绿置监测,红绿灯控制等。灯控制等。锑化铟锑化铟(InSb)磁阻传感器在磁性油墨鉴伪点钞机中的应用磁阻传感器在磁性油墨鉴伪点钞机中的应用 InSb伪伪币币检检测测传传感感器器安安装装在在光光磁磁电电伪伪币币检检测测机机上上,其其工工作作过过程程如如上上图所示,电路原理图如下图所示。图所示,电路原理图如下图所示。电路工作原理图InSb伪币检测传感器工作原理与输
22、出特性 当纸币上的磁性油墨当纸币上的磁性油墨没有进入位置没有进入位置1时,设输出时,设输出变化为零,如果进入位置变化为零,如果进入位置1,由于,由于R2电阻增大,则输电阻增大,则输出变化为出变化为0.3mV左右;如果左右;如果进入位置进入位置3时,则仍为时,则仍为0;如果进入位置如果进入位置4,则为,则为-0.3mV,如果进入位置,如果进入位置5,则仍为则仍为0,就这样产生输出,就这样产生输出特性,经过放大、比较、特性,经过放大、比较、脉冲展宽、显示,就能检脉冲展宽、显示,就能检测伪币,达到理想效果。测伪币,达到理想效果。半导体半导体InSbInSb磁敏无接触电位器磁敏无接触电位器 半半导导体
23、体InSbInSb磁磁敏敏无无接接触触电电位位器器是是半半导导体体InSbInSb磁磁阻阻效效应应的的典典型型应应用用之之一一。与与传传统统电电位位器器相相比比,它它具具有有无无可可比比拟拟的的优优点点:无无接接触触电电刷刷、无无电电接接触触噪噪音音、旋旋转转力力矩矩小小、分分辨辨率率高高、高高频频特特性性好好、可可靠靠性性高高、寿寿命命长长。半半导导体体InSbInSb磁磁敏敏无无接接触触电电位位器器是是基基于于半半导导体体InSbInSb磁磁阻阻效效应应原原理理,由由半半导导体体InSbInSb磁磁敏敏电电阻阻元元件件和和偏偏置置磁磁钢钢组组成成;其其结结构构与与普普通通电电位位器器相相似
24、似。由由于于无无电电刷刷接接触触,故故称称无接触电位器。无接触电位器。磁敏无接触电位器工作原理示图和输出特性曲线090-90 该电位器的核心是差分型结构的两个半园形磁敏电阻;它们被安装在该电位器的核心是差分型结构的两个半园形磁敏电阻;它们被安装在同一旋转轴上的半园形永磁钢上,其面积恰好覆盖其中一个磁敏电阻;随同一旋转轴上的半园形永磁钢上,其面积恰好覆盖其中一个磁敏电阻;随着旋转轴的转动,磁钢覆盖于磁阻元件的面积发生变化,引起磁敏电阻值着旋转轴的转动,磁钢覆盖于磁阻元件的面积发生变化,引起磁敏电阻值发生变化,旋转转轴,即能调节其阻值。其工作原理和输出电压随旋转角发生变化,旋转转轴,即能调节其阻值
25、。其工作原理和输出电压随旋转角度变化的关系曲线如图所示。度变化的关系曲线如图所示。6.3 磁敏二极管和磁敏三极管磁敏二极管和磁敏三极管 磁敏二极管、三极管是继霍耳元件和磁敏电阻磁敏二极管、三极管是继霍耳元件和磁敏电阻之后迅速发展起来的新型磁电转换元件。之后迅速发展起来的新型磁电转换元件。霍尔元件和磁敏电阻均是用霍尔元件和磁敏电阻均是用N型半导体材料制成型半导体材料制成的体型元件。磁敏二极管和磁敏三极管是的体型元件。磁敏二极管和磁敏三极管是PN结型的结型的磁电转换元件,它们具有输出信号大、灵敏度高磁电转换元件,它们具有输出信号大、灵敏度高(磁灵敏度比霍耳元件高数百甚至数千倍)(磁灵敏度比霍耳元件
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